【課題】処理対象基板とランプとの間に空気が流入することが抑制され、従って、処理対象基板に対して高い効率で光を照射することができる光照射装置を提供する。
【解決手段】基板搬送路に沿って搬送される処理対象基板の一面に向けて光を照射するエキシマランプが内蔵されたランプハウスと、前記処理対象基板と前記エキシマランプとの間に不活性ガスを供給するガス供給手段とを備えてなり、前記基板搬送路における前記ランプハウスの上流側に当該ランプハウスに隣接して圧力緩衝空間が形成された光照射装置であって、基板搬送路における圧力緩衝空間の上流側には、処理対象基板における光が照射される一面に沿って流れる空気を排出する空気排出手段が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】省スペースで簡素な構成にして、ベルトコンベアに、皿の搬送と皿の下面のクリーニングという二つの機能を持たせることができ、コンベア上に皿入り化粧料を次々に供給するだけで各皿入り化粧料の皿の少なくとも下面を高速かつ大量に確実にクリーニングできる皿のクリーニング装置を提供すること。
【解決手段】連続駆動され皿Ｐを一方向に搬送するベルトコンベア１０と、ベルトコンベア１０の搬送面上方に位置し、皿Ｐに当接して該皿の移動を停止するストッパ１７と、ベルトコンベア１０のベルト搬送面に植設されたクリーニングブラシ１５と、を有し、ストッパ１７により皿Ｐの移動が停止した状態でベルトコンベア１０が連続駆動することによりクリーニングブラシ１５が皿Ｐの下面を清掃する。 （もっと読む）

【課題】騒音が小さく、エネルギー浪費量が少なく、再汚染の可能性が低く、幅広の鋼板に適用可能であり、かつ長期間の連続使用にも耐えられる板表面の液体除去装置及び鋼板表面の液体の除去方法を提供する。
【解決手段】板表面１１ａに付着した液体１２を吸収可能な多孔質弾性体層２がロール面３ａに備えられた水切ロール３と、多孔質弾性体層２を押し潰すように水切ロール３に押し当てられる絞りロール４と、を具備しており、絞りロール４によって多孔質弾性体層２から絞り出された液体１２が、絞りロール４及び水切ロール３の回転軸方向に沿って排出されるように構成された鋼板表面の液体除去装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】薄くされたチップを積層して半導体装置を製造する際に、処理対象の上面に存在する異物によって積層させるチップが割れてしまうことを防ぐ異物検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、異物検査装置２０は、下地検査部２２１および下地検査部２２１を支持する支持部２２２を有する検知ヘッド２２と、下地データ格納部２３３、検査制御部２３２および異物存在判定部２３４を有する制御部２３と、を備える。下地データ格納部２３３は、配線基板８０または配線基板８０の最上層のチップの配置位置を示す下地配置領域を含む下地データを格納する。検査制御部２３２は、検知ヘッド２２を検査対象上の所定の位置に接触させながら所定の力で押圧するように制御する。異物存在判定部２３４は、下地検査部２２１から取得した検査データから、下地データを参照して下地配置領域のうち周囲よりも圧力が高まっている領域を異物存在領域として抽出する。 （もっと読む）

【課題】基板がエアー洗浄部に接触することにより損傷を受けることを防止可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】上側エアー洗浄部５は、搬送路の途中に設けられた洗浄領域４の上方に配置され、基板２の上面にカーテン状にエアーを噴き付けつつ、噴き付けたエアーを吸入することにより基板２を洗浄する。下側エアー洗浄部は、搬送路の下方において上側エアー洗浄部５と対向する位置に配置され、基板２の下面にカーテン状にエアーを噴き付けつつ、噴き付けたエアーを吸入することにより基板２を洗浄する。上側エアー洗浄部５および下側エアー洗浄部は、端辺３が伸びる方向に対して基板２上において交差するようにカーテン状にエアーを噴き付ける。洗浄領域４には基板案内部１３が配置され、下側エアー洗浄部によるエアーの吸入によって基板２が下側エアー洗浄部に接触することを、基板案内部１３が基板２の下面を支持することによって防止する。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の表面に固着したカレットを除去する。
【解決手段】フッ化水素及び水蒸気を含む反応ガスを大気圧近傍下でガラス板９０に接触させて、ガラス板９０の表面部分９１ｅ，９２ｅを構成するＳｉＯ_２のエッチング反応を起こさせる。エッチング反応の度合いを、カレット９３，９４の表面部分９３ｅ，９４ｅがエッチングされるとともに表面部分９３ｅ，９４ｅより内側の部分９３ａ，９４ａが残留する程度に調節する。その後、ガラス板９０を洗浄流体４３にて洗浄する。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘り優れた液体除去性能が発揮されるロール、及びそのロールを搭載した洗浄装置を提供する。
【解決手段】鋼板、非鉄金属板、樹脂板、あるいはフィルム状の対象物に付着した水分、油分、あるいは薬品成分等の液体を除去、搾取、洗浄する為のロール１において、前記ロール１はロール部２及び台座３を有し、前記台座３は前記ロール部２が外周に形成される本体部７、及び前記本体部７の両端に回転支持部８を有し、前記ロール部２は不織布１３にて形成されてあると共に、外周面の表面状態は研削及び／又は研磨加工が施されることにより、前記ロール１を前記対象物に当接させた時に回転方向によって摩擦係数が大となる表面状態と、摩擦係数が小となる表面状態を有しており、前記ロール部２は前記対象物の搬送方向にたいして、摩擦係数が小となる表面状態の回転方向にて前記対象物に当接するものである。 （もっと読む）

【課題】シート状の被搬送物の搬送および洗浄を適切に行なう。
【解決手段】シート洗浄機１０は、シート状の被搬送物１に接触して回転可能な送りローラ１２と、送りローラ１２の回転軸１２ａに平行な回転軸１６ａ，１７ａを有し、互いに接触可能かつ被搬送物１を狭持可能な１対の第１洗浄ローラ１６および第２洗浄ローラ１７と、第２洗浄ローラ１７を回転駆動する洗浄ローラ駆動モータ１８と、第２洗浄ローラ１７から第１洗浄ローラ１６へ動力を伝達する洗浄ローラ用アイドルギヤユニット２０と、第２洗浄ローラ１７の表面に洗浄液を供給する洗浄液タンク１９と、を備え、第１洗浄ローラ１６は、送りローラ１２に接触して回転可能である。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価な構成で、ノズルを揺動できて、ワーク全体に対して、圧力流体を均一に噴出させることができるようにする。
【解決手段】ワークが搬送される搬送コンベア２と、該搬送コンベア２によって搬送されるワークに付着した塵埃を除去するための作業処理空間Ｓが内部に設けられた本体３と、本体３内に配置される、ワークに対して加圧された圧力流体を噴出する噴出口６０を有するノズル６と、該ノズル６に圧力流体を供給する圧力流体供給手段９と、本体３に接続されて、ノズル６から噴出される圧力流体によって除去される塵埃を吸引する集塵機１１とを備えた塵埃除去装置において、前記ノズル６を、弾性素材により湾曲して作製し、一端部を固定端６ａとするとともに、他端部を自由端６ｂとし、該他端部６ｂに前記噴出口６０を形成する。 （もっと読む）

【課題】排気効率およびスペース効率を改善し、液切り乾燥直後の乾いた基板にミストが付着するのを十全に防止する。
【解決手段】上部および下部エアナイフ１２２Ｕ，１２２Ｌがそれらの間を通過する基板Ｇに対してナイフ状の鋭利な高圧エア流を吹き付けることにより、両エアナイフ１２２Ｕ，１２２Ｌの上流側の空間に多量のミストが発生する。基板Ｇの上で発生したミストの大部分は、下流側のＦＦＵ１３６から隙間Ｋを通って廻ってくる空気および入口１１８から入ってくる空気と一緒に上部排気口１２４に吸い込まれる。基板Ｇの下で発生したミストは、その全部がＦＦＵ１３６から廻ってくる空気および入口１１８から入ってくる空気と一緒に下部排気口１２６，１２８に吸い込まれる。 （もっと読む）

【課題】紫外線ランプを収容するケーシング内のガスの置換効率を向上させることにより、ガスの置換時間を短縮するとともに、当該置換におけるガスの使用量を低減する。
【解決手段】ワークＷに紫外線を照射する紫外線ランプ２と、紫外線ランプ２を収容し、ワークＷに対向して開口する開口部３１を有するケーシング３と、ケーシング３内にガスを供給するガス供給機構４とを備え、ケーシング３の内面又は内部空間に、ガス供給機構４により供給されたガスを紫外線ランプ２の周囲を一方向に循環させるための循環案内面３ｘが設けられている。 （もっと読む）

【課題】高い洗浄能力を維持しつつ洗浄水の使用量を飛躍的に低減できる容器洗浄機を提供する。
【解決手段】倒立状態で移動する筒状容器Ｃの内面に洗浄水を噴射して洗浄する容器洗浄機において、加圧気体と洗浄水とを混合して扇形パターンの気水混合ミストを筒状容器Ｃの内面に噴射する複数の２流体ノズル２と、洗浄水のみを筒状容器の内面に噴射する１流体ノズル３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体封口用マスクを良好に洗浄することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る洗浄方法は、上面１ａから下面１ｂにかけて厚さ方向Ｄ１に貫通している複数の貫通孔５を有するマスク１の洗浄方法であって、マスク１を厚さ方向Ｄ１に直交する搬送方向Ｄ２に搬送する工程と、搬送されるマスク１の洗浄面３（上面１ａ及び下面１ｂ）に洗浄液１４が供給された状態で、洗浄面３と平行かつ搬送方向Ｄ２と交差する方向Ｄ３に延びる軸回りに回転するローラブラシ１２ａ，１２ｂのブラシ１２ｃを洗浄面３に接触させる洗浄工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体封口用マスクを良好に洗浄することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る洗浄方法は、上面１ａから下面１ｂにかけて厚さ方向Ｄ１に貫通している複数の貫通孔５を有するマスク１の洗浄方法であって、マスク１を厚さ方向Ｄ１に直交する搬送方向Ｄ２に搬送する工程と、搬送されるマスク１の上面１ａ及び下面１ｂに対し、厚さ方向Ｄ１に対して搬送方向Ｄ２の上流側に傾斜する方向Ｄ６に洗浄液３４を供給する洗浄工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】シートガラスの表面の洗浄度を向上することができる洗浄ブラシ体およびシートガラスの製造方法を提供する。
【解決手段】シートガラスの搬送中に、一方向に並んだ複数の洗浄ブラシを回転させることにより、前記シートガラスを洗浄する。前記洗浄ブラシのそれぞれは、放射状に延びる複数の羽根ブラシ部を備える。前記複数の洗浄ブラシのそれぞれの前記羽根ブラシ部のそれぞれは、接触しないように、同期して回転する。前記羽根ブラシ部の少なくとも１つの回転方向前方のエッジには、ガラス面に対して摺動して洗浄する前方摺動体要素が前記エッジに沿って連続して延在するように形成される。さらに、前記羽根ブラシ部の少なくとも１つの回転方向後方のエッジから、前記洗浄ブラシ体の放射方向内側に傾斜した方向に連続して延在するように後方摺動体要素が形成される。これにより、前記洗浄ブラシ体の回転中、前記シートガラスの表面上に洗浄液の流れが形成される。 （もっと読む）

【課題】洗浄中に板状部材の位置ズレを発生させることなく、板状部材の表裏面に固着したカレット等の異物を確実に除去することができる洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄対象である搬送中の板状部材２の表裏面を挟むように搬送経路の両側にそれぞれ千鳥状に配置された複数の洗浄手段３ａ、３ｂを備え、板状部材２に洗浄液を供給しつつ洗浄手段３ａ、３ｂを回転させて搬送中の板状部材２を洗浄する洗浄装置１であって、複数の洗浄手段３ａ、３ｂは、搬送経路の一方側に配置された１つの洗浄手段３ａと、該洗浄手段３ａと同軸上で相対向するよう搬送経路の他方側に配置された１つの洗浄手段３ｂとからなる組を複数含み、かつ複数の凸部が所定の間隔をおいて連続して配置された洗浄面を有し、同一組を構成する洗浄手段３ａ、３ｂは、洗浄面の回転方向が逆であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ランニングコストや設備投資の増大、さらにはガラス基板の生産性低下を極力招くことなく、ガラス基板の有効面を効果的に清浄化することができる技術を提供する。
【解決手段】搬送されるガラス基板Ｇの有効面に対し、洗浄液２１を供給しつつ、洗浄ヘッド１５を回転させながら押し当てることにより、ガラス基板Ｇの有効面に付着した異物を取り除く洗浄工程において、洗浄ヘッド１５または洗浄ヘッド１５を保持する第１保持部材１３の少なくとも一方の膨張収縮を利用して、ガラス基板Ｇに対する洗浄ヘッド１５の接触圧を調整する。具体的には、洗浄ヘッド１５がある程度摩耗したときに、洗浄液２１の供給温度を上昇させて、洗浄ヘッド１５または第１保持部材１３の少なくとも一方を熱膨張させ、洗浄ヘッド１５の摩耗によって低下したガラス基板Ｇに対する洗浄ヘッド１５の接触圧を再度高める。 （もっと読む）

【課題】 ワーク表面に均一な濃度で処理ガスを吹き付けることができる表面処理用ノズル装置を提供する。
【解決手段】
ノズル装置のガス通路は、処理ガスが供給されるガス供給口と、上記ガス供給口からの処理ガスを分け、一直線上に間隔をおいて水平に並んだ多数の分岐下流端１２ｂへと送る通路分岐部と、これら分岐下流端１２ｂの配列方向と平行をなして直線的に連続して延びる合流部８０と、流れ方向変更部９０と、吹出スリット６１とを有している。流れ方向変更部９０は、多数の分岐下流端１２ｂから合流部８０へ送られてきた処理ガスを、下向きに送る第１通路部分９１と、上向きに送る第２通路部分９２と、下向きに送る第３通路部分９３とを有し、この第３通路部分９３からの処理ガスが吹出スリット６１からワークＷに向かって下向きに吹き付けられる。 （もっと読む）

【課題】被照射物に付着した有機物等の汚染物と大気中に含まれる汚染物質との反応生成物が被照射物に付着することを防止または抑制することができ、従って、所要の光洗浄処理を確実に達成することができる光照射装置を提供する。
【解決手段】エキシマランプと、このエキシマランプを取り囲むよう設けられた、当該エキシマランプからの光を外部に出射する開口および内部のガスを排出するガス排出口を有するランプハウスと、このランプハウスの開口から当該ランプハウスの内部に大気を導入し、当該ランプハウスのガス排出口から排出するガス排出機構とを備えてなり、前記エキシマランプには、その放射光が前記ランプハウス内におけるガス流通路を形成する壁面に照射されないよう当該放射光を遮蔽する光遮蔽手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧力制御された複数の区画でナノ材料の秤量・包装および容器の洗浄を分担して行うことにより、作業者のナノ材料からの暴露危険性を低減するナノ材料秤量包装装置を提供する。
【解決手段】ナノ材料を秤量して包装容器に充填する区画Ａと、前記区画Ａから移送された包装容器の外側を洗浄する区画Ｂと、前記区画Ｂから移送された包装容器を保管する区画Ａと、前記各室間を仕切る仕切壁と、前記各室と調整弁を介してダクトで接続され各室を陰圧に保つ吸引ファンと、各室の圧力を区画Ａ＜区画Ｂ＜区画Ａに保つように前記ダクトの調整弁を制御する制御装置を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）