【課題】容器を確実に洗浄することが可能な洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄装置１００は、容器Ｃの洗浄に関連した第１の処理（本洗浄処理）を実行するために開閉自在に設けられた開口１２２、１２４を有する密閉可能な本洗浄室１２０と、本洗浄室１２０から隔離して配置され、容器Ｃの洗浄に関連した第２の処理（乾燥処理）を実行するために開閉自在に設けられた開口１３２を有する密閉可能な第乾燥室１３０（１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃ）と、各処理室の開口１３２を介して、本洗浄室１２０の内部に搬入された容器Ｃを乾燥室１３０の内部に移送するロボット１５０と、を具備する。 （もっと読む）

【解決手段】 パレット３の水切りを行う水切り手段３９は、コンテナ２を吊り下げて保持する保持機構４１と、パレット３を支持した両搬送コンベヤＣ７，Ｃ８を退没位置まで下降させる昇降機構４２と、パレット３を支持して高速回転させる遠心脱水機構４３とを備えている。
保持機構４１によってコンテナ２を保持し、その後、昇降機構４２によって両搬送コンベヤＣ７、Ｃ８を下降させると、コンテナ２からパレット３が離隔するとともに十字フレーム４７上に支持される。次に、パレット３を支持した十字フレーム４７を高速回転させることで、パレット３の水切りが行われる。
【効果】 水切り後の乾燥工程においてパレット３とコンテナ２を容易に乾燥させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板の縁部を対象とする縁部洗浄において、表裏均一で良好な洗浄効果を確保することができる基板洗浄装置および基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板の縁部を挟み込む２つの押圧部材のそれぞれの押圧面に洗浄液を供給する第１洗浄剤供給機構、第２洗浄剤供給機構の第１開閉バルブ２９，第２開閉バルブ３０を制御して、表裏それぞれの押圧面に対して２つのノズルによって洗浄剤を供給する個別の塗布動作を、予め定められたインターバル時間Ｔ３で規定される所定のタイムラグによって時間的に隔てられた異なるタイミングにて行う。これにより、供給タンクから洗浄剤の供給対象となる縁部の表裏両面に至る液送配管が異なる場合にあっても、表裏均一で良好な洗浄効果を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】 洗浄処理の効率化のために容器を井げた状に組んだり、井げた状に組まれた容器をばらして向きを揃えることを効率的に行う。
【解決手段】多段に積み重ねられた多段積重ね容器１３を井げた状に組んだ２枚ずつの井げた状２枚組容器１５として井げたばらし部２３に搬送し、井げたばらし部２３で１枚ずつばらし、向きを揃え、ごみ除去後、井げた組み部２７で２枚ずつ重ね、向きを互いに変えて井げた状に組んだ井げた状２枚組容器１５として洗浄部２９に搬送し、洗浄後、遠心脱水部３１で遠心脱水し、段積み部３３で段積みし、多段積重ね容器１３として排出する。 （もっと読む）

【課題】パルスレーザを用いて有機ＥＬ用マスクを走査してレーザクリーニングを行う場合に、有機ＥＬ用マスクに過剰なエネルギーを作用させることなく高い洗浄度でクリーニングを行うことを目的とする。
【解決手段】レーザ光を走査して有機ＥＬ用マスク２に付着した蒸着物質を除去する有機ＥＬ用マスククリーニング方法であって、有機ＥＬ用マスク２に対してレーザ光を間欠的に照射して走査を行うときに、レーザ光を照射することにより除去される蒸着物質の円形の除去領域を部分的に重ねることでクリーニングエリアの全面に除去領域が及ぶようになし、且つ１つの除去領域の中心と他の除去領域とが重ならないように走査している。 （もっと読む）

【課題】異物を除去するためのレーザ光照射装置及び受光装置を利用して基板の位置合わせを行い、基板に対して適正な後処理を施すことができる異物除去方法を提供する。
【解決手段】異物除去装置に設けられた異物を除去するためのレーザ光照射部３４からステージ３３に載置されて回転するウエハＷの端部にずれ測定用のレーザ光を照射し、照射したレーザ光のうちウエハＷの端部に遮られたレーザ光を除く残りのレーザ光をパワーメータ３５で受光してレーザ光の出力を検出し、回転するウエハＷの回転角を検出し、検出したレーザ光の出力データと回転角データとに基づいてウエハＷのずれ量を算出し、算出したずれ量に基づいてウエハＷのずれを補正し、その後、ウエハＷの端部にレーザ光照射部３４から洗浄用のレーザ光を照射すると共に異物と反応する処理ガスを噴射してウエハＷに付着した異物を分解、除去する。 （もっと読む）

【課題】硬化層が形成されたレジストを、基層にダメージを与えないように除去する。
【解決手段】レジスト除去方法は、イオンが注入されているレジストに、当該イオンの注入によって形成されたレジストの硬化層にアルカリ可溶性を生じさせる程度の紫外光を照射する照射工程と、前記レジストをアルカリ溶液に接触させて当該レジストをシリコン基板から剥離させる除去工程と、を含む。レジストには、１×１０^１４〜５×１０^１５個／ｃｍ^２のイオンが注入されており、前記照射工程における紫外光の照射量を少なくとも１８００ｍＪ／ｃｍ^２とし、前記除去工程では、６０℃以上に加熱された前記アルカリ溶液を用いる。 （もっと読む）

【課題】パレット上に打抜かれた段ボールを積重ねてその切断端面を掃除機のアタッチメントによって吸引して紙粉を除去する従来の工程を省略することが可能であって、新たな紙粉の除去工程を設けることなくしかも打抜かれた段ボールから紙粉を除去する。
【解決手段】打抜かれた段ボールの抜きズレの検査のための検査台１０のケース２２の内部を空洞にし、吸引用ブロア３０によって吸引除去して内部を負圧にしておき、上面板１５の小孔１６、１７によって段ボール１１に付着している紙粉を吸引除去し、フィルタ３３によって捕捉して空気から分離する。そのときに上方に配置された除電機３７および送風機４２によって上方からイオン化された空気を吹きかけ、段ボール１１の静電気を中和する。 （もっと読む）

【課題】体積の異なるびんをより効率的に洗浄し得る洗びん方法を提供する。
【解決手段】ラベルが貼付されたびんを洗浄槽（２、３）内の洗浄液に浸漬してびんからラベルを剥離し、ラベル滓を洗浄液と共に洗浄槽からオーバーフローにより排出してクッションタンク（６）に移送し、およびクッションタンク（６）からラベル滓および洗浄液を抜き出して濾過し、ラベル滓が除去された洗浄液を洗浄槽（２、３）に戻す洗びん方法において、この洗びん方法を第１体積のびんに対して実施した後、第１体積と異なる第２体積のびんに対して実施する際に、第１体積より第２体積が大きいときは、洗浄槽（２，３）内の洗浄液を、その体積差に対応する分だけ多くオーバーフローにより排出してクッションタンク（６）に貯留し、第１体積より第２体積が小さいときは、濾過によりラベル滓が除去された洗浄液を、その体積差に対応する分だけ多く洗浄槽（２，３）に戻す。 （もっと読む）

【課題】液体容器の容器本体内部を短時間で効率よく確実に洗浄できる容器洗浄装置を提供すること。
【解決手段】保護用函体１内にプラスチック製の液体取出口２ｏ付き容器本体２を収納してなる液体容器３の容器本体２内部を洗浄する容器洗浄装置であって、 作業床部６と左右側壁部７，８と後側壁部９と天井部１０と前面側出入口１１とからなるクリーンブース４を設け、作業床部６には、床部６上面から垂直上向きに所要高さ突出して先端ノズルヘッド１５ａからイオンを含む清浄なエアを噴射させる静電ブローノズル１５を設けると共に、このノズル１５を囲繞して床部６上面に近い位置でノズル１５周囲に環状の吸引排出口１６ａを形成する洗浄済みエア吸引排出管１６を設け、クリーンブース４内の上部側にはイオン放出口１２ａ及び清浄エア放出口１３ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】露光前のウェハの裏面全面を効率よく洗浄する。
【解決手段】処理容器１１０の一の側面には、搬送機構１０１の搬送アーム１２０に保持されたウェハＷを搬入出させる搬入出口１１１が形成されている。処理容器１１０内には、搬送アーム１２０に保持されたウェハＷの裏面の付着物を静電気によって捕集するために帯電可能な帯電部材１３０と、当該ウェハＷの裏面に気体を噴射できる気体噴射ノズル１４０が設けられている。処理容器１１０の底面であって、帯電部材１３０の周囲には、処理容器１１０内の雰囲気を排気する排気口１５０が形成されている。処理容器１１０内であって、搬入出口１１１側の内側面には、ウェハＷの裏面の付着物を検査する検査機構１６０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】カード状物を連続搬送しながらも、カード状物の端面に付着した付着物を除去する。
【解決手段】カード状物の端面をクリーニングするカード状物のクリーニング装置であって、カード状物をカード状物の表面に対して垂直方向に搬送するスタッカ３０と、スタッカ３０内を搬送されているカード状物の端面に当接してカード状物の端面に付着した付着物を除去する粘着テープ２１とを有する。 （もっと読む）

【課題】廃液処理の問題がなく設備費などを抑えながら、清浄効率や効果に優れた表面清浄化方法及び装置を提供する。
【解決手段】水中燃焼による表面清浄化方法であり、被洗浄物を保持しかつ被洗浄物表面を冠水ないしは水中に浸すとともに、燃焼炎を被洗浄物表面に該表面上の水を排除しながら照射し、該燃焼炎及び該燃焼炎にて発生する活性種に被洗浄物表面を曝すことにより該被洗浄物表面の汚染物を除去するようにした。また、前記燃焼炎は、保炎器を介して前記被洗浄物側へ照射されるとともに、前記被洗浄物が所定温度となるよう制御されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 瓶のサイズが異なっても瓶の外面を均一に洗浄することができる洗瓶装置を提供する。
【解決手段】 本発明の洗瓶装置は、洗浄される瓶を収容するキャリア２ａと、洗浄液を噴出するノズル３ｂと、瓶の開口部先端を押し上げるリフトアップ板４と、を含む。キャリア２ａは、上面及び下面が開口した筒状であって、洗浄される瓶を収容して、洗瓶装置内の循環経路を循環する。ノズル３ｂは、循環経路において瓶が倒立状態で収容される部位を通過するキャリア２ａに収容される瓶に上方から洗浄液をかける。リフトアップ板４は、ノズル３ｂと対向して設置され、上下方向に移動可能であって、上方に移動したときにキャリア２ａに収容される瓶の開口部先端を押し上げる。また、リフトアップ板４の上面には、瓶の開口部先端を位置決めする凹部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】より安定したスクラブ洗浄を実現し、パーティクルの少ない良好な円盤状基板を製造する。
【解決手段】洗浄液を供給しながら円盤状基板１０の表面をスクラブ洗浄する洗浄装置であって、円盤状基板１０の第１面に接触可能な円筒状の第１の多孔質ローラ１１０ａと、円盤状基板１０の第２面に接触可能な円筒状の第２の多孔質ローラ１１０ｂと、第１の多孔質ローラ１１０ａと第２の多孔質ローラ１１０ｂとの軸間距離を変える方向であるｘ方向にこれらを移動する軸間方向移動機構とを備え、この軸間方向移動機構は、第１の多孔質ローラ１１０ａと第２の多孔質ローラ１１０ｂとを予め定められた軸間位置で停止させ、円盤状基板１０に接触させる。 （もっと読む）

【課題】 大型マスク基板を容易に洗浄、搬送することができ、且つコンパクトな洗浄槽により、広い作業スペースを必要とせず、操作性の良い洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄装置の門方基板操作部は、洗浄槽６０を跨いで門方を形成し、大型ガラス基板８５を洗浄槽６０内に降下させ、且つ降下した大型ガラス基板８５を洗浄槽６０内から上昇させる基板昇降部と、洗浄槽６０に対して移動動作を行う基板搬送部とを有し、洗浄槽６０の両側に設置された２本のガイドレール４０−１、２上を移動する。 （もっと読む）

【課題】この発明は半導体ウエハの上面と下面とを同時に、しかも確実に洗浄することができる基板の処理装置を提供することにある。
【解決手段】一側面に出し入れ口２が形成された処理槽１と、この処理槽内の上記出し入れ口と対向する位置に設けられ処理槽内に搬入された半導体ウエハ１０の搬入方向と交差する径方向の両端部を保持してこの半導体ウエハを回転駆動する保持駆動手段８と、保持駆動手段に保持された半導体ウエハに処理液を供給する洗浄ノズル１２４，１２５と、処理槽内の上記保持駆動手段よりも内方に設けられ先端部に上記半導体ウエハの板面を洗浄する洗浄ブラシ７１，１２２を有するアーム６３，１２１およびこのアームを上下方向に駆動するとともに洗浄ブラシが半導体ウエハの径方向に沿って移動するよう上記アームを揺動駆動する駆動手段を有するツールユニット６１，６２とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】部品の点数を削減することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理システム１０は、ウエハＷに化学反応処理を施す第２のプロセスモジュール２８を有し、第２のプロセスモジュール２８は、ウエハＷを収容する処理容器３３と、処理容器３３の上部に係合することによりウエハＷの処理室（チャンバ）を画成する上蓋３５とを有し、上蓋３５の内部には、弗化水素ガスを導入するガス導入孔４０が形成され、このガス導入孔４０は、一端４０ａがＧＤＰ３６に接続するように形成され、他端４０ｂがガス導入孔４２の他端４２ｂと接続するように形成され、処理容器３３の内部には、弗化水素ガスを導入するガス導入孔４２が形成され、このガス導入孔４２は、一端４２ａが弗化水素ガスの供給源から弗化水素ガスを導入するガス導入管４３に接続するように形成され、他端４２ｂがガス導入孔４０の他端４０ｂと接続するように形成される。 （もっと読む）

【課題】
洗浄効率を向上させかつブラシの交換のメンテナンスが容易なディスク洗浄ブラシ、ディスク洗浄機構およびディスク洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、孔の外形よりも大きい外形を有する所定の長さの多孔質のブラシ部材を各孔に弾性変形により縮小させて挿着して回転ブラシとしている。いずれかの多孔質のブラシ部材が摩耗して接触圧が均一でない部分が発生したときには、多孔質のブラシ部材単位でそれを取り外して摩耗していない新しい多孔質のブラシ部材を取り付ければそれでメンテナンスが済む。 （もっと読む）

【課題】天板に上部開口及びエア抜き口を有するコンテナ容器の洗浄乾燥装置及び方法において、エア抜き口のノズル部周辺を含めた自動洗浄を可能とすると共に、装置自体の配置スペースを抑え、かつコンテナ容器の洗浄及び乾燥を効率良く行う。
【解決手段】洗浄乾燥装置１０は、コンテナ容器１内に進入して温水又はスチームを多方向に噴射しつつ回転するメインノズル１７と、エア抜き口７の上方からそのノズル部７ａに温水を噴射する複数のサブノズル３４とを備え、各ノズル１７，３４から温水を噴射してコンテナ容器１内及びエア抜き口７を洗浄した後、前記メインノズル１７からスチームを噴射して前記コンテナ容器１内を昇温させると共に、前記メインノズル１７からのスチーム噴射により昇温した前記コンテナ容器１内に除菌エアを送入して乾燥させる。 （もっと読む）