【課題】処理対象基板とランプとの間に空気が流入することが抑制され、従って、処理対象基板に対して高い効率で光を照射することができる光照射装置を提供する。
【解決手段】基板搬送路に沿って搬送される処理対象基板の一面に向けて光を照射するエキシマランプが内蔵されたランプハウスと、前記処理対象基板と前記エキシマランプとの間に不活性ガスを供給するガス供給手段とを備えてなり、前記基板搬送路における前記ランプハウスの上流側に当該ランプハウスに隣接して圧力緩衝空間が形成された光照射装置であって、基板搬送路における圧力緩衝空間の上流側には、処理対象基板における光が照射される一面に沿って流れる空気を排出する空気排出手段が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】付着物が付着した管内壁への研削材の衝突エネルギーを高め、錆除去の研削力とその効率をさらに向上させるとともに、円錐形部材の円錐面の摩耗をできるだけ少なくする。
【解決手段】管（１０１）の入口端から、先端に噴射口（１３ｃ）を備える可撓性の加圧ホース（１３）を挿入し、噴射口から噴射した研削材を、管内壁（１０７）に噴射しながら前記加圧ホースを前記管の長手方向に移動させ、かつ、噴射中に、前記管の出口端から前記管内を吸引する管内壁の研掃方法である。ここで、最大径が前記管の内径よりも小径なラッパ形状の偏向面（２３）を有する偏向部材（２１）が、前記管と一体移動するように前記噴射口近傍に取り付けてある。偏向面が、噴射口からの噴射により衝突してきた研削材を前記内壁方向に偏向させるので、研削材の衝突エネルギーを高め、また、円錐面の摩耗を少なくする。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象物の表面形状の違いに拘らず、単一の部材で且つ簡単なセッティング操作で洗浄媒体の飛散を防止でき、洗浄装置に対する洗浄対象物の保持操作の容易化を実現できるとともに、洗浄対象物の表面形状の違い毎に用意することの無駄を無くすことができる洗浄媒体飛散防止部材を提供する。
【解決手段】洗浄対象物４は洗浄対象物保持体１２の保持ピン３２に支持されて洗浄槽６の開口部６ａに対向して保持されている。洗浄対象物保持体１２の上方から、低反発性ウレタンスポンジを芯材とする洗浄媒体飛散防止部材２２Ａが挿入され、押圧手段２４により押圧される。洗浄媒体飛散防止部材２２Ａは洗浄対象物４の表面形状に沿って変形し、これにより、洗浄槽６で空気流により飛翔する洗浄媒体５が飛散してその数量が少なくなることが防止される。 （もっと読む）

【課題】管状部材の内部から開口側へ洗浄液を噴射させることにより管状部材の内面を洗浄するにあたり、洗浄液の管状部材内部への逆流を防止して、洗浄効果をより高めることのできる洗浄ノズルを提供する。
【解決手段】ノズル周方向にわたり形成され、ノズル先端側から後端側に向かい洗浄液を噴射する噴射スリットを備える洗浄ノズルである。噴射スリットとして、ノズル先端側から順次、第一および第二のスリット１１，１２が設けられてなり、かつ、ノズル軸方向断面における、第一のスリット１１の形成方向のノズル軸方向となす角θ_１、および、第二のスリット１２の形成方向のノズル軸方向となす角θ_２が、θ_１≧θ_２で示される関係を満足する。 （もっと読む）

【課題】今までは洗濯機に水を送るだけのポンプとして使っていたため、洗濯水としてしか利用出来なかった。しかも風呂として使用した汚れた水がそのまま洗濯槽へ運ばれていただけだった。
【解決手段】ポンプに汚れを落とすためのヘッドブラシと、水をきれいにするためのフィルター、手を濡らさないためのとってを取付ける。ホースの先にシャワーヘッドを取り付けることにより、洗濯水以外の利用を可能にした。 （もっと読む）

【課題】管状部材の内部から開口側へ洗浄液を噴射させることにより管状部材の内面を洗浄するにあたり、洗浄ムラを生ずることなく、洗浄液の管状部材内部への逆流を防止して、洗浄効果をより高めることのできる洗浄ノズルを提供する。
【解決手段】ノズル先端側から順次、ノズル周方向にわたり形成され、ノズル先端側から後端側に向かい洗浄液を噴射する噴射スリット１１と、ノズル周方向に複数にて配置され、ノズル先端側から後端側に向かい洗浄液を噴射する噴射孔１２と、を備える洗浄ノズルである。噴射孔１２の形成方向ａとノズル軸方向ｚとがねじれの関係にあり、かつ、噴射孔１２の出口中心とノズル軸とを通る平面Ｘにおいて見た、噴射スリット１１の形成方向のノズル軸方向ｚとなす角θ_１と、噴射孔１２の形成方向ａのノズル軸方向Ｚとなす角θ_２とが、θ_１≧θ_２で示される関係を満足する。 （もっと読む）

【課題】部品の母材を傷付けることなくパリレン膜を効率よく除去することができる除膜方法を提供する。
【解決手段】成膜装置を用いて成膜対象物に対しパリレン膜を成膜したとき、この成膜装置の構成部品Ｂに付着したパリレン膜Ｐを除去する除膜方法において、パリレン膜Ｐが付着した構成部品Ｂたる防着板の表面にペレット状のドライアイスを吹き付けて衝突させるブラスト工程を含む。このブラスト工程に先立ち、防着板を加熱する加熱工程を更に含ませてもよい。 （もっと読む）

【課題】処理液等の薬液の無駄な消費を無くし、且つ、タクトタイムを短縮し、生産性を向上する。
【解決手段】円柱状または円盤状に形成され、その周面に前記ノズル先端の長手方向に沿って平行に形成された複数の払拭部１１ａを有し、所定方向に臨む一の払拭部によりノズル先端３ａを狭持すると共に、前記ノズル先端の長手方向に沿って移動可能に設けられた払拭体１１と、前記払拭体を前記ノズル先端の長手方向に沿って移動させる払拭体移動手段１３，１４，１５と、前記ノズル先端の側方に移動された前記払拭体を軸周りに回転させ、前記一の払拭部に代えて他の払拭部を前記所定方向に臨む状態とする払拭体回転手段１７，１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】チップ部品に付着した異物を確実に、しかも効率よく除去することが可能なチップ部品浄化装置を提供する。
【解決手段】筒状で、チップ部品の供給部２と、排出部３を備え、外周壁４の少なくとも一部が、気体を通過させる通気性部材から構成され、傾斜した姿勢で、軸心回りに回転する浄化装置本体１０と、浄化装置本体の近傍に配設され、気体を浄化装置本体の外周壁を経て浄化装置本体の内部の、異物が付着したチップ部品１に吹き付ける気体吹き付けノズル５とを具備した構成とし、傾斜した姿勢で浄化装置本体を回転させ、供給部から供給されたチップ部品を転動させながら排出部に向かって浄化装置本体の内部を通過させるとともに、転動しながら浄化装置本体を通過するチップ部品に、気体吹き付けノズルから気体を吹き付けることにより、チップ部品に付着した異物を除去する。 （もっと読む）

【課題】清掃対象表面に付着した汚染物質を効率的に清掃して分離回収する。
【解決手段】清掃対象Ａ表面に対向して周縁部が接触配置される清掃ヘッド１と、清掃流体Ｆが清掃ベッド１の内部空間１ｃを介して循環する流体循環配管２と、清掃流体Ｆが補充可能に貯留される貯留タンク３と、貯留タンク３に貯留される清掃流体Ｆを流体循環配管２に循環させる循環駆動源４と、清掃流体Ｆに対し汚染物質Ｃがイオン結合する塵物質Ｗから分離可能となる特性の分離因子を供給する分離因子供給手段５と、流体循環配管２を循環する清掃流体Ｆを加圧した状態で清掃ヘッド１の流体吐出口１ａから清掃ヘッド１の内部空間１ｃに吐出させる加圧吐出手段６と、流体循環配管２のうち清掃ヘッド１の流体回収口１ｂから貯留タンク３に至る途中に設けられ、循環する清掃流体Ｆ中に含まれる塵物質Ｗと汚染物質Ｃとを分離した状態で回収する回収手段７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】液化炭酸ガスの無駄を抑えて、安定してドライアイススノーを生成して噴射させることができるドライアイススノー装置およびドライアイススノーの噴射方法を提供する。
【解決手段】真空断熱容器である炭酸ガス貯蔵容器を有し、冷却ユニットに設けられた圧力測定ユニットで測定された炭酸ガスの圧力に基づいて炭酸ガスを冷却する制御を行なう制御ユニットを備えたドライアイススノー噴射装置と、炭酸ガスの冷却前の圧力に基づいて炭酸ガスを冷却する工程を含むドライアイススノーの噴射方法である。 （もっと読む）

【課題】固体表面に堆積したパーティクルを効率的に捕集し得るパーティクル捕集装置及び方法の提供。
【解決手段】略筒形状の筐体１２の内部空間に、略円柱形状の超音波発生器１４をＯリング８０を介在して収容し、筐体１２は一端部を有し、当該一端部において開口１２ｂされた空間Ｓを画成し、超音波発生器１４は該筐体１２の一端部に画成された開口１２ｂに向けて超音波を発生し、該空間Ｓにガスを供給するガス供給部、該空間Ｓの排気を行う吸引部を備えると共に、前記開口１２ｂを囲むように筐体１２の一端部に弾性を有するシール部材２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】スリットコータのスリット部を清掃する能力を一層向上することができる清掃具及び清掃装置を提供すること。
【解決手段】被塗布面Ｋａ上に塗工液を塗布するスリットコータ１のスリット部２４を清掃する清掃具７であって、スリット部２４に挿入され、スリット部２４を構成する一対の壁部２４１，２４１に付着した塗工液を清掃する清掃部材７３と、一対の壁部２４１，２４１の少なくとも一方に向けて清掃部材７３を付勢する付勢部７４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガラス壜をスターホイールによって円形軌道に沿って搬送している間にガラス壜を自転させ、この自転中にガラス壜の底部から底部のやや上方の壜胴下部までの検査エリアにエアを吹き付けることにより、ガラス壜の検査エリアに付着した水滴を確実に除去することができるガラス壜の水滴除去装置を提供する。
【解決手段】液体が充填された複数のガラス壜１を複数のポケット３ａで支持して円形軌道に沿って搬送するスターホイール３と、スターホイール３により支持されたガラス壜１に接触しながら走行してガラス壜を自転させるベルト１６と、スターホイール３により円形軌道に沿って搬送されるガラス壜１の側方に配置され、ガラス壜１に向けて空気を吹き付けるエアブローユニット２０とを備え、エアブローユニット２０の前面２０ｆは円形軌道に沿うように配置され、エアブローユニット２０の前面２０ｆには空気を噴出する複数のノズル２０ｎが設けられている。 （もっと読む）

【課題】効率良く、ＵＶ樹脂をはがし取ることが可能なドライアイスペレットを用いた洗浄方法を提供する。
【解決手段】固定治具に固定される洗浄対象物に対して、ドライエアーを用いて、ドライアイスペレットを吹き付け、前記対象物の表面を洗浄する。前記ドライエアーは、露点が、−６０°ないし−８０°である。前記ドライエアーと前記ドライアイスペレットを前記対象物の表面に噴射するノズルを有し、前記ノズルと前記対象物の表面との間の間隔は、５ｍｍないし７０ｍｍである。前記ノズルの断面形状は、円形形状、あるいは、楕円形状、あるいは長方形である。前記ドライアイスペレットは、直径が１ｍｍないし３ｍｍで、長さが１ｍｍないし５ｍｍ、より好ましくは、長さが１ｍｍないし５ｍｍである。前記対象物は、製品分解後の液晶表示パネルの上偏光板、タッチパネル、あるいは、フロントウィンドウのいずれかである。 （もっと読む）

【課題】 しつこい汚れに対しても、生地を傷めることなく比較的短時間でクリーニングできるようにする。
【解決手段】 ベッド１のある場所において、そのスプリングマットレス２の表面を作業者ｈが持ち運び可能な吸引装置で吸引して塵・埃を除去し、その塵・埃が除去されたスプリングマットレス２の表面に洗浄剤を散布し、その洗浄剤が散布されたスプリングマットレス２の表面に作業者ｈが持ち運び可能なスチーム洗浄機５でスチーム５ａを噴射し、そのスチーム５ａが噴射されたスプリングマットレス２の表面にハンドポリシャー６で振動を繰り返し加えて汚れを分解し、その汚れが分解されたスプリングマットレス２の表面を作業者ｈが持ち運び可能な汚水吸引装置で吸引して汚水を除去し、その汚水が除去されたスプリングマットレス２の表面を作業者ｈが持ち運び可能な乾燥装置で赤外線を照射して乾燥する。 （もっと読む）