【課題】 気体のような圧力流体の一方向流れにより吸入力を発生させ基板表面の液体異物等を容易に除去することができ、特に、基板全体の表面に対し均一な吸入力が働くようにして、液体異物の除去のための吸入効率のみならず、基板の処理品質を一層向上させることができる吸入ユニットアセンブリーを提供する。
【解決手段】 気体のような圧力流体の流れ雰囲気によって発生する周囲の圧力差を利用して異物を除去することができる吸入ユニットアセンブリーであって、圧力気体発生手段と、前記圧力気体発生手段と連通する供給流路を有し、片側に排出空間部を備える気体供給ユニットと、前記圧力気体発生手段から発生する圧力気体が前記供給流路から排出空間部へ流れるよう誘導するガイド流路を有するガイドユニットと、前記ガイド流路と連通して前記圧力気体の流れにより負圧が形成される吸入流路を有する流入ユニットとを備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、配管の内壁に沿いノズル部材が螺旋状に摺動できるように複数のノズル孔の配置および口径について配慮するとともに、同ノズル孔の傾斜角にも配慮して、十分な洗浄作用が行われるようにした高圧洗浄用ノズル部材を提供することを課題とする。
【解決手段】 丸味を帯びた前進抵抗の少ない前面を有するノズル本体10ａの背面10ｃの中心部には、配管内洗浄用高圧ホースの先端外周の雄ねじ部に螺合しうる雌ねじ孔11が形成され、ノズル本体10ａの内部液溜からノズル本体背面10ｃの周縁部まで外方へ傾斜するように直線状に配設された大径と小径のノズル孔14ａ，14ｂ；15ａ，15ｂ；16ａ，16ｂが２個ずつ対をなすようにして設けられている。 （もっと読む）

化学薬品の使用量をできるだけ低減し、簡易、かつ、効率よく実施できるアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法を提供する。
アルカリ可溶型感光性樹脂の付着した被洗浄体（８０）に、ドライアイス噴射装置（４０）内でドライアイス粒子を噴射する。剥離片は電解酸性水槽（６０）及び、回収槽（７０）でフィルター回収を行う。次いで被洗浄体（８０）は電解酸性水噴霧装置（５０）内で剥離残渣の洗浄を行い、水洗槽（９０）にて電解酸性水の中和及び洗浄を行う。なお、アルカリ可溶型感光性樹脂の剥離、及び、回収に使用した電解酸性水は再利用可能であるため、廃液の排出量を大幅に削減できる。 （もっと読む）

洗浄すべき対象物の表面から汚染物質を除去するための、高圧ガス供給源に流体的に接続されるように適合した洗浄装置（１０）。この装置は、ガスを加速するための高圧出口（２１）を備えた所定の微小な横方向スケールの少なくとも１つの高圧通路（２２）を備える。該高圧出口は少なくとも１つの狭いリップ（１２）によって特徴付けられ、出口および狭いリップは活性表面を画定している。洗浄装置の活性表面が、表面から所定の微小な間隙を空けてそれにほぼ平行に離されたとき、したがって狭いリップと洗浄すべき対象物の表面との間の喉部を画定し、ガスを喉部のところでほぼ音速まで加速したとき、汚染物質に作用する横方向の空気力学的な除去力が生成される。 （もっと読む）

加圧された気体と清浄化水溶液との２相混合物により、配管等を清浄化する装置及び方法を提供する。２相清浄化混合物はモジュール内で形成され、該モジュールから送り出され、清浄化すべき配管（又は流路）表面において、所定の小滴寸法、速度及び小滴密度を決定する。小滴は清浄化すべき流路の壁部に衝突し、該流路における汚染物質を断片化し、浸食し及び除去する。汚染物質は、２相フローによって流路からフラッシュアウトされる。清浄化溶液の流れは、定常的であっても、搏動してもよい。この発明の装置及び方法は、食品、飲料、医薬品及び同様の加工産業において有用である。 （もっと読む）