【課題】洗浄対象物に付着した付着物を、水又は溶剤を使わずに固体洗浄媒体を用いて除
去する装置はすでに提案されているが、はんだ付け工程で発生するフラックスの固着、画
像形成装置で用いられるＯＰＣドラムの感光体層、又は定着ローラの離型層のような樹脂
製の膜を除去するのに適した洗浄装置は未だ実用化されていない。
【解決手段】洗浄対象物の樹脂製の膜よりも鉛筆硬度が大きい薄片状の洗浄媒体Ｍを用い
、これを高速気流で飛翔させて洗浄対象物に衝突させることで、膜状の付着物の方が凹み
易く、かつ接触力が洗浄媒体Ｍの端部に集中するため、質量が小さいにもかかわらず膜状
の付着物に洗浄媒体Ｍが食い込む。その結果、複雑な形状の部品の洗浄、膜状の付着物の
除去、又は洗浄媒体の清浄度を高め洗浄品質を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】ディスポーザーと連結した排水管（専有部横枝管）に堆積した堆積物を短時間にかつ簡単に洗浄できるディスポーザー連結排水管の洗浄方法を提供する。
【解決手段】ディスポーザー１３と連結した専有部横枝管１５内の空気をノズル手段２０により排出して、専有部横枝管１５内に負圧を発生させ、次にシンク１０の排水口１１を閉塞する栓１７を抜き、シンク１０内に留めた水１８を専有部横枝管１５内に発生した負圧により、専有部横枝管１５内に吸引流入させ、この吸引流入した水の流入力とノズル手段２０から噴射された洗浄液の噴射力との合力により専有部横枝管１５内に堆積した堆積物Ｅを押し出す。 （もっと読む）

【課題】ワークに対して異常放電が生じるのを防止しつつ、効率よくプラズマ処理を施すことができるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置１は、ワーク１０の上方に設けられた電極ユニット２と、通電手段３と、処理ガス供給手段４と、冷却手段５とを有している。電極ユニット２は、長手形状の柱状体で構成された電極本体２１１と、この電極本体２１１の内部に、長手方向に沿って設けられた貫通孔２１２とを備えるアース電極２１と、貫通孔２１２に挿通された電極棒２２１を備える印加電極２２とを有する。貫通孔２１２と電極棒２２１との間には隙間が形成されており、この隙間がプラズマ生成空間２７として機能する。また、アース電極２１には、プラズマ生成空間２７を外部に開放するスリット２８が形成されている。このスリット２８からプラズマＰを噴出することにより、ワーク１０にプラズマ処理が施される。 （もっと読む）

【課題】柱状の対象物品の被洗浄部分に対して均一にプラズマを照射することができて耐久性の高いプラズマ噴射ノズルを提供する。
【解決手段】対象物品Ｗの被洗浄部分Ｃ_１，Ｃ_２を囲うように突出する突出部３の内側面に、突出部３の先端に向かって延びるプラズマ噴射口６を設ける。プラズマ噴射口６は、その長手方向先端側６ａの開口寸法が基端側６ｂの開口寸法よりも狭く形成されている。 （もっと読む）

【課題】キャピラリ内でのパーティクルの発生を防止できるドライアイススノー洗浄装置を提供する。
【解決手段】供給源から供給された液化炭酸ガスを膨張させ冷却させるオリフィス３と、上記オリフィス３から噴射ノズル１に至るキャピラリ２と、上記キャピラリ２が接続されてドライアイススノーを噴射する噴射ノズル１と、上記噴射ノズル１に対してドライアイススノーの噴射ガスを供給する噴射ガス供給管４とを備え、上記キャピラリ２における噴射ガス供給管４の合流部よりも上流側の部分に、キャピラリ２を外側から加温する加温手段を設けたことにより、キャピラリ２内面をドライアイスの温度よりも高い温度に保ってキャピラリ２内面に薄いガス層を形成し、固体のドライアイスがキャピラリ２内面に衝突することを防止してパーティクルの発生を防止する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、処理対象物の表面に損傷を負わせないつつも、処理対象物の表面に強固に付着した微細汚染物を効果的に除去することのできるスリット型超音速ノズルおよびこれを備えた表面処理装置を提供するところにある。
【解決手段】本発明はスリット型超音速ノズルおよびこれを備えた表面処理装置に係り、処理対象物１０の表面から異物を脱離可能な高速のガスを噴射するノズルにおいて、前記処理対象物１０の幅方向に沿って延設されるノズル本体１１１と、前記ノズル本体１１１に供給された高圧のガスが前記ノズル本体１１１の長手方向に沿って均一に分布可能となるように前記処理対象物１０の幅方向に連続する流路を有して前記ノズル本体１１１の内部に形成される圧力均配路１１２と、前記ノズル本体１１１および圧力均配路１１２の一方の端部に前記処理対象物１０の幅方向に連続するように開放形成され、前記圧力均配路１１２を介して高圧のガスを供給されて衝撃波を生じさせる超音速ガスジェットを生成し、前記処理対象物１０に向けて噴射するスリット１１３と、を備ええてなることを技術的要旨として、処理対象物の表面に損傷を負わせないつつも、処理対象物の表面に強固に付着した微細汚染物を効率よく除去することのできるスリット型超音速ノズルおよびこれを備えた表面処理装置に関する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】基板の表面からパーティクル汚染物質を洗浄するための装置及び方法は、粘弾性材料の層を表面上に塗布することを含む。粘弾性材料は、薄い膜として塗布され、実質的な液体様特性を示す。粘弾性材料を塗布された表面の第１のエリアには、粘弾性材料を塗布された表面の第２のエリアがその加えられる力を実質的に受けないように、外力が加えられる。外力は、粘弾性材料の固体様特性にアクセスするために、粘弾性材料の固有時間よりも短い持続時間にわたって加えられる。固体様特性を示す粘弾性材料は、表面上に存在するパーティクル汚染物質の少なくとも一部と少なくとも部分的に相互作用する。粘弾性材料は、固体様特性を示している間、パーティクル汚染物質の少なくとも一部と併せて表面の第１のエリアの領域から除去される。 （もっと読む）

【課題】エアナイフの下流側に設備を追加することなく、基板を乾燥させる能力を向上させる。
【解決手段】表面又は裏面に洗浄液２が供給された基板１を移動しながら、基板１の上方又は下方に基板１の基板移動方向と直交する方向の幅に渡って設けたエアナイフ３０から、基板１の表面又は裏面へエアを吹き付ける。基板１の上方又は下方のエアナイフ３０より上流側に設けた第１の吸引ノズル４０により、エアナイフ３０からのエアにより押し流された洗浄液１を基板１の表面又は裏面から吸引する。基板１の表面又は裏面のエアナイフ３０からのエアが当たる部分では、洗浄液２の液膜の厚さが薄く制御され、エアナイフ３０からのエアによって洗浄液２の液膜が容易に除去される。 （もっと読む）

【課題】ワークに付着した粉塵類をエアブローによって除去してワークを自動的に清掃することが可能な清掃装置を提供すること。
【解決手段】エアブローノズル１は、先端に吸入口３ａが設けられた中空状ノズル本体２の内部に細長いノズルパイプ１１を挿入すると共に同ノズルパイプの先端部１１ａを吸入口３ａに臨むように配置し、ノズルパイプ１１の後端部に圧縮空気を供給するエアホース１５を接続し、ノズル本体２の排出口にルーツ式真空ポンプとフィルタとからなる真空回収装置３０に一端側を接続したフレキシブルホース２７の他端側を接続するように設けられ、産業用ロボット３５のアーム３６の先端にエアブローノズル１を装着し、エアブローノズル１をワークｗに対して移動自在に制御するように設けた。 （もっと読む）

【課題】洗浄すべき配管を効率的に洗浄することが出来る配管洗浄装置及び配管洗浄方法を提供する。
【解決手段】加圧した洗浄液３を供給する洗浄液供給配管４の下流端部に設けられる導入部と、該導入部内径より小さい内径の流路絞り部と、該流路絞り部の下流側に設けられ、該流路絞り部内径より大きい内径の拡径部と、該拡径部の下流側に設けられ、所定の径の孔又は所定の幅のスリットが所定の数だけ設けられた細開口板と、前記流路絞り部か、もしくはその上流側の流路４に連通して設けられ、洗浄液３内にガスを供給するガス供給路10を有する微細気泡発生ノズル６の前記細開口板の下流側に液密的且つ気密的に被洗浄配管11が接続され、洗浄液供給配管４により供給される洗浄液３を微細気泡発生ノズル６を流通させて微細気泡混合洗浄液とし、該微細気泡混合洗浄液を被洗浄配管11内を流通させて該被洗浄配管11内部を洗浄する構成とした。 （もっと読む）

【課題】大気圧プラズマ発生装置の組立及び分解を、容易とする。
【解決手段】固定台座１１０と、高圧電源部品１２０と、プラズマ発生本体１３０とを備える迅速分解式大気圧プラズマ発生装置１００において、固定台座は、対向する第１の端部１１２及び第２の端部１１４を備え、高圧電源部品は、固定台座に設置されると共に、高圧外スリーブ１２２及び第１の継手１２４を備える。なお、第１の継手は第１の端部に位置する。プラズマ発生本体は、内スリーブ１３２及び第２の継手１３４を含み、これらいずれもプラズマ発生本体の外表面に突設されていると共に、第２の継手が内スリーブに設置されている。プラズマ発生本体が固定台座の第１の端部に取り付けられると、高圧外スリーブが内スリーブを覆って、第２の継手が第１の継手と接続する。 （もっと読む）

【課題】 一対の通水用面材を有するケース内に夫々平行に配設された多数本の杆状の器具押さえパッドにより、洗浄するべきマイクロ器具を閉じ込めた状態でジェット洗浄などで洗浄するに用いられる洗浄器において、高さや太さの異なる全てのマイクロ器具を、その高さか太さに応じて器具押さえパッド間に円滑且つ安定良好に閉じ込め、洗浄し得られるようにした洗浄器を提供する。
【解決手段】 通水用多孔面材2bを有する筐体2内に、その対向枠壁間2a,2aに亘り杆状の器具押さえパッド3,3,…の多数本を平行に配設して成るケース1の一対をその各開口面を対向させて互いに開閉自在として成る洗浄器において、両ケース1,1の少なくともいずれか一方のケース1内に配設して成る各器具押さえパッド3をばね6により上下方向に可動自在に支持せしめた。 （もっと読む）

【課題】除塵能力の高い除塵装置、及び除電除塵装置を提供する。
【解決手段】対象物に気体を吹き付けて除塵する除塵装置１であって、気体を噴射する噴射手段（イオナイザ１６ａ、１６ｂ）と、噴射手段から噴射される気体を対象物８７の同一箇所に複数の方向から吹き付ける吹き付け手段（噴射ノズル１９ａ、１９ｂ）と、を備える。対象物８７の同一箇所に向けて複数の方向から気体を吹き付けるので、１方向からのみ気体を吹き付ける場合に比べて塵埃が飛散し易い。よって、対象物に付着した塵埃を除塵する能力が高い。 （もっと読む）

【課題】基板を良好に洗浄することができる基板洗浄ブラシ及び同基板洗浄ブラシを用いた基板処理装置並びに基板洗浄方法を提供すること。
【解決手段】本発明では、基板洗浄ブラシ（３２）を用いて基板（２）の洗浄を行う基板処理装置（１）において、基板洗浄ブラシ（３２）は、弾性を有するブラシベース部（３３）と、ブラシベース部（３３）の表面に形成した疎水性を有するベース表層部（３４）と、ベース表層部（３４）に間隔をあけて植毛した洗浄刷毛部（３５）とを有することにした。また、前記ブラシベース部（３３）を吸水素材で形成するとともに、前記ブラシベース部（３３）に洗浄液を供給する洗浄液供給手段（３９）を設けることにした。 （もっと読む）

【課題】基板の表面から除去した異物を周囲に飛散させることがなく、確実に異物を捕捉することができ、基板表面から異物を除去した後の清浄な状態を維持して次の工程に進めることができる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板１００を搬送する搬送手段２０と、搬送された基板１００の表面に対して供給するエアの吹き付け角度が調整可能なエア吹き出し口３６を有するエアブロー部３０と、エアブロー部３０にエアを供給するエア供給部４０と、エアブロー部３０から吹きつけられたエアにより基板表面から除去された異物をエアと共に収集し、異物のみを捕捉する集塵部５０と、を具備し、エアブロー部３０の外表面の一部には、エア吹き出し口３６からのエアと異物とを集塵部５０へ誘導するための誘導溝が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フィルム状物の表面の洗浄能力を高めつつ、しかも、洗浄後の脱水・乾燥をも一つの装置内で行えるようにする。
【解決手段】本装置１では、バックアップロール２に吸着されたフィルム状物Ｗとクリーニングヘッド３の凹部３ａとの間に形成されたギャップＧに、噴射通路８ｂを通って高速高圧の水流が、また、噴射通路９ｂを通って高速高圧のエア流が流入する。流入した水流は、図１の矢印で示すように、排気通路５ｂ及び排気通路６ｂに二分されてギャップＧから流出する。このとき、この水流によってフィルム状物Ｗに付着したダストなどが剥離洗浄される。一方、流入したエア流は、図１の矢印で示すように、排気通路５ｂ及び排気通路７ｂに二分されてギャップＧから流出する。このとき、このエア流によってもフィルム状物Ｗに付着したダストなどが剥離洗浄されるとともに、このエア流によって当該フィルム状物Ｗに付着した水分が脱水・乾燥される。 （もっと読む）

【課題】車両の表面に付着した水分を確実に除去することができるエアブロー装置を提供する。
【解決手段】搬送ライン３０の上を移動している車両Ｗに向けて高圧エアＺ１を吹き付けるエアブロー装置Ａに、高圧エアを供給するエア供給源に接続されたブロア配管２０と、ブロア配管２０に接続され、エア供給源から送り込まれた高圧エアを吹き出す吹出口が形成された吹き出しダクト１０と、吹き出しダクト１０を保持する保持手段とを設ける。また、吹き出しダクト１０は、保持手段により、搬送ライン３０の上方に、吹出口が搬送ライン３０と相対向するように保持される。また、エアブロー装置Ａは、吹き出しダクト１０の吹出口から、搬送ライン３０の上を移動している車両Ｗに、車両Ｗの進行方向（Ｘ方向）に対して斜め後方に向け、且つ進行方向（Ｘ方向）と相対向する方向に略扇状に広がる高圧エアＺ１を吹き付ける。 （もっと読む）

【課題】プラスチックフィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れまでも連続的に除去することができるフィルムの洗浄装置を提供する。
【解決手段】１又は２枚の平部材５３と、この平部材５３に形成され、平部材５３に平行に走行するフィルム１２の表裏面の少なくとも一方の面側に対して洗浄液を吹き付ける洗浄液吐出口５２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】除塵作業後の被除塵物に粉塵が再付着するのを抑止する。
【解決手段】粉塵拭き取り用又は粉塵掃き取り用のワイプ部材４を備える除塵ロボット６を設け、搬送手段により搬送される被除塵物２をワイプ部材４で除塵する除塵用動作を除塵ロボット６に実行させる構成にするとともに、被除塵物２から離れた位置に設定した清掃域でワイプ部材４の清掃が実施可能なように、除塵用動作後のワイプ部材４を清掃域に移動させる清掃用動作を除塵ロボット６に実行させる構成にする。 （もっと読む）

【課題】レーザー彫刻方式にて表面が凹凸パターンに形成されたフレキシブル円筒状印刷版を簡便に洗浄する方法の提供。
【解決手段】樹脂硬化物層表面にレーザー彫刻方式にて凹凸パターンが形成された印刷層を含有するフレキシブル円筒状印刷版の洗浄方法であって、（１）該印刷版の内周面を少なくとも２つのローラーで保持する装着工程、（２）２つのローラーの間隔を離し、該印刷版にテンションをかけつつ回転させながら洗浄液により洗浄する洗浄工程、を含むフレキシブル円筒状印刷版の洗浄方法。 （もっと読む）