【課題】ヘッドの洗浄及び検査を効率的に行うことを可能とするヘッド検査洗浄装置およびヘッド検査洗浄方法を提供する。
【解決手段】ヘッド検査洗浄装置１は、溶剤供給部５からインクジェットヘッド３に圧力を印加した溶剤２０を供給し、インクジェットヘッド３のノズル１１から溶剤２０を線状に吐出させてノズル１１の洗浄を行うと共に、投影検査部６により溶剤２０の投影画像の画像解析を行って溶剤２０の飛翔状態を測定し、インクジェットヘッド３の良否を判定する。ヘッド検査洗浄装置１は、インクの溶剤を用いてヘッドの洗浄と検査を同時に行うことで、洗浄工程及び検査工程の簡略化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 管路の内壁に付着した水あか等の固形物を効果的に除去できる装置を提供する。
【解決手段】 排水管１内に、該排水管路１に嵌脱自在に栓体３を嵌着して滞留室４を設る。該滞留室４の滞留水中に、駆動装置１０によって回動するコイル状ワイヤー６の先端に設け、しかも、前記排水管１の内壁に摺接する洗浄ヘッド７を装置し、該洗浄ヘッド７の後方には、前記コイル状ワイヤー６に嵌挿された、圧送空気の案内管の周側に設けたエアー注入口８を装置する。 （もっと読む）

【課題】エアーナイフから気体を基板に吹き付けた際に、基板上の処理液がミスト状のパーティクル等が基板に付着することなく、且つ、基板がヒーター等の他の乾燥装置や乾燥工程を必要することなく乾燥できる基板処理装置を提供することである。
【解決手段】
チャンバー内に基板を搬送する複数の搬送ローラーとその搬送ローラーで搬送されてきた基板の表面または裏面に付着しているミストまたは異物を飛ばすエアーナイフが基板の上方または下方あるいは両方に設けられ、異物やミスト状のパーティクルを排気する複数の排気口がチャンバーの下方に設けられている基板処理装置であって、
前記エアーナイフの前方近傍にエアーナイフで飛ばされた異物やミスト状のパーティクルを吸引し、排気する吸引スリットを有する排気ユニットが設けられていることを特徴とする基板処理装置である。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ状の物品の一方の表面上の、縁部側の所定の部分を、或る液体で処理し、しかも、（ウエハの外縁から測定して）２ｍｍより多い縁部領域を処理する可能性を示すこと。
【解決手段】 洗浄ガスの大部分をウエハ状の物品（Ｗ）の縁部領域でウエハ状の物品（Ｗ）から導き出すガス排出装置（４）が周囲に設けられ、また、第２の主面上の液体が縁部付近の所定の部分を濡らし、続いて、液体がウエハ状の物品（Ｗ）から除去される。 （もっと読む）

【課題】広い範囲に亘ってドライアイス粒子を均一に噴射でき、しかも簡単な構造で安価に実施できるようにする。
【解決手段】ガス導入室(５)内の液化炭酸ガスをオリフィス弁(６)から出口路(19)へ流出させてドライアイス粒子を生成し、このドライアイス粒子を噴射筒(３)先端の噴射口(26)から噴出させるドライアイス噴射装置である。出口路(19)と噴射筒(３)先端との間に複数本の細管(20)を配置し、各細管(20)内に噴射通路を形成する。細管(20)の一方の端部(21)を互いに束ね合わせて出口路(19)へ接続し、噴射通路を出口路(19)内に連通させる。細管(20)の他方の端部(23)を任意の形状に配置し、この端部(23)に噴射通路の開口端を噴射口(26)として開口する。 （もっと読む）

噴射ノズル（１２）がキャリアガス用の流路（１４）の下流端に形成されているキャリアガス用の流路（１４）と、前記流路に同軸に収納されている膨張チャンバー（２６）に開口している液体二酸化炭素用の供給路（２２）とを有する噴射装置において、前記膨張チャンバー（２６）がパイプ（２０）で形成されており、前記パイプ（２０）が前記流路中のキャリアガスの流れが通過するホルダ（１８）に前記パイプ（２０）の上流端で保持されており、前記供給路（２２）は、前記流路へ延びて、前記流路の軸に平行に延び且つ前記膨張チャンバーに開口している注入路（２４）に開口していることを特徴とする噴射装置。
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本発明は、大気圧のもとで生成されたプラズマで表面を処理するための装置および方法に関する。本発明の装置は、持ち運び可能な手持ち機器として構成されており、当該装置は、プラズマビーム（１８）を生成するプラズマノズル（１６）を有しており、当該プラズマノズルは、ノズル開口部（１７）と、当該ノズル開口部の上流側に配置された少なくとも１つの電極−対向電極対（２７、２８）を含んでおり、当該電極対の作用電極表面はそれぞれ誘電性コーティング（２９、３０）を有しており、ここで前記電極（２７）と前記対向電極（２８）の間には、作動空間（３４）が定められており、当該作動空間内では作動ガスが誘電体バリアガス放電によって、少なくとも部分的にイオン化され、当該装置は、前記電極−対向電極対（２７、２８）と電気的に接続されている高電圧発生器（１９、２０）を有しており、前記装置は圧送手段（１５）を有しており、当該圧送手段は、作動ガス源から前記作動空間（３４）内へ、および前記ノズル開口部（１７）を通るガスフローを形成し、ここで、前記作動ガス源は、周辺空気であり、前記装置は、前記高電圧発生器（１９、２０）および前記圧送手段（１９）を給電する、給電網に依存しないエネルギー源（１２）を有している。
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【解決手段】 洗浄システム１は、クランクケース２を支持したパレット３を洗浄位置Ｂまで搬送する搬送手段６と、クランクケース２を洗浄する洗浄手段７とを備えている。
パレット３には固定通路１２を設けてあり、その一端にフレキシブルチューブ１３の一端１３Ａが接続されている。フレキシブルチューブ１３の他端１３Ｂは、クランクケース２の油穴４の開口に接続されている。上記パレット３が搬送手段６により洗浄位置Ｂの液槽２２内に浸漬されると、固定通路１２と吐出通路２４とが重合して相互に連通する。その後、ポンプ２３から吐出される洗浄液が吐出通路２４、固定通路１２およびフレキシブルチューブ１３を介してクランクケース２の油穴４に直接給送される。
【効果】 クランクケース２の油穴４を効率的かつ確実に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】高層マンション等の共用立管の内部洗浄を容易かつ短時間に行える立管洗浄装置および立管洗浄方法を提供する。
【解決手段】先端に洗浄ノズル１５を設けた高圧ホース１４を共用立管２０の上部から管内に挿入し、洗浄ノズル１５を最下部まで到達させる。そして、高圧流体の供給源１１から接続ホース１６を介して高圧水を高圧ホース１４に供給し、高圧ホース１４をその中心軸回りに回転させるとともに、洗浄ノズル１５から高圧水を噴射しながら、ホース進退装置１３とホースガイド１９により垂直上方に螺旋状に洗浄ノズル１５を共用立管２０の最上部まで移動させて、立管内壁の付着物、堆積物、錆等を粉砕あるいは剥離する。 （もっと読む）

【課題】モータユニットに付着した塵埃や汚染物質を、ユニットが完成した状態でも、軸受などに対して影響を及ぼすことなく効果的に除去することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】超臨界状態よりも低い圧力のチャンバ内で、超臨界二酸化炭素を噴出する第１のノズルと、超臨界二酸化炭素を吸引回収する第２のノズルとが一体になったノズルユニットを、被洗浄物の被洗浄表面に対して相対的にトラバースさせ、被洗浄面に対して第１のノズルから超臨界二酸化炭素を噴出すると共に、第２のノズルから、超臨界二酸化炭素と共に被洗浄物の表面から剥離した粉粒体または被洗浄物の表面から溶解した汚染物質を吸引回収する。これにより軸受オイルの二次汚染することなく確実に洗浄できると共に、被洗浄物に大きな荷重を与えないので、変形を防止できる。 （もっと読む）

【課題】先端にノズルが取り付けられたランスを揺動させる揺動機構を遠隔操作することによって安全に洗浄作業を行うことができる高圧水洗浄装置を提供すること。
【解決手段】先端にノズル２８が取り付けられたランス２９を揺動させながら前記ノズル２８から噴射される高圧水によって縦型配管内を洗浄する高圧水洗浄装置において、前記ノズル２８を揺動させる揺動機構６と、該揺動機構６を遠隔操作する操作ユニット３６を設ける。又、前記揺動機構６は、前記ノズル２８の揺動範囲を規制するスイング調整板を有する。更に、前記ノズル２８への高圧水供給ラインにフートバルブ（高圧逃がし弁）４９を設け、該フートバルブ４９の操作によって前記ノズル２８への高圧水の供給停止を可能とする。又、前記揺動機構６を直交座標軸方向に移動可能に支持する。 （もっと読む）

【課題】回転するブラシにより効率よく洗浄対象物を洗浄することができるようにする。
【解決手段】ブラシ装置１０は内側筒状軸２０、外側筒状軸３０およびブラシ４０を備えている。内側筒状軸２０は回転しないように配設され、外側筒状軸３０は内側筒状軸２０を回転中心として回転可能に配設され、ブラシ４０は外側筒状軸３０の外面３２に固定され、内側筒状軸２０の内面２１と外面２２との間を貫通する孔２３が形成され、外側筒状軸３０の内面３１と外面３２との間を貫通する孔３３が形成され、内側筒状軸２０に空気が吹き込まれる。 （もっと読む）

【課題】凹みの有無にかかわらず被洗浄面の洗浄効果を向上させること。
【解決手段】プラズマ励起ガス洗浄装置を構成するプラズマ照射器１は、プラズマ照射ノズル２から被洗浄面１１ａにプラズマ励起ガスＰ／Ｇを照射することにより被洗浄面１１ａを洗浄する。プラズマ照射ノズル２には、その外周を取り囲むように設けられた噴射口３ａを有するガス噴射ノズル３が設けられる。プラズマ照射ノズル２からプラズマ励起ガスＰ／Ｇを照射するときに、ガス噴射ノズル３の噴射口３ａから窒素ガスＮ／Ｇを噴射するようになっている。これにより、照射されるプラズマ励起ガスＰ／Ｇの外周をガスカーテンＧ／Ｃにより取り囲みながらプラズマ励起ガスＰ／Ｇを被洗浄面１１ａに照射するようになっている。 （もっと読む）

【課題】ワークを機械的に加工した加工部位に発生する微細なバリを高いバリ取り品質で効率よく除去することができるバリ取り洗浄装置およびバリ取り洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】樹脂基板８を切断した切断面に発生したバリを除去して洗浄するバリ取り洗浄において、ラバールノズルを応用したアイスブラストノズル２２によって、洗浄水と圧縮空気を用いて洗浄水の凍結粒子２３ａおよび過冷却状態の液滴２３ｂを含む洗浄媒体２３を生成し、樹脂基板８に対して噴射する。これにより、銅などの延性に富む金属の微細なバリを対象とする場合にも、高いバリ取り品質で効率よく除去することができる。 （もっと読む）

【課題】局所的な送風を行えて、かつ安定した送風能力を実現する。
【解決手段】外径１０ｍｍ以下の中空の筐体１２に、針電極１０と対向電極１１とによって構成される複数の送風部を設ける。各送風部は、送風方向に沿って直列に配置される。筐体１２は屈曲した形状とされ、屈曲箇所に送風部が配される。駆動回路１３から針電極１０に高電圧を印加すると、両電極１０、１１間に放電が生じる。イオン風が発生して、筐体１２内に風が流れる。屈曲箇所では、送風部により風が加速される。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板、マスク基板、半導体ウェーハ等の基板をブラシで洗浄する際、ブラシ自体を劣化させずに清浄な状態で洗浄し、かつブラシ内部にまで入り込んだ汚染物を除去し、ブラシによる洗浄効果を安定させるとともに、ブラシの交換頻度を低減させうる機構を具備することによって、基板を清浄な状態で洗浄することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】ブラシの裏面からブラシ内を被洗浄物に接触する面に向かって洗浄液を流すことによって、ブラシ内部にまで入り込んだ汚染物を除去しつつ、ブラシの劣化を避けることができる機構を備える洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】駆動部と洗浄部とを分離して使い勝手の良い構成にしつつ、駆動部内部に潤滑油を必要とせず潤滑油によってタンク内を汚すおそれのない、優れた洗浄性能を有するタンク洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄部１に連結されたドライブシャフト（駆動伝達棒）３１と、タンク外に設けられ、駆動伝達棒３１を介して洗浄部１を旋回させる駆動部２と、駆動部２の上部に連結され洗浄水１００を取り込む洗浄水取込部４と、洗浄部１と駆動部２とを連結し、内部に駆動伝達棒３１が貫通され、洗浄水取込部４から取り込まれた洗浄水１００が流入する連結筒３２とを備える。洗浄水取込部４から取り込まれた洗浄水１００が、駆動部２のの内部に流入した後、連結筒３２を介して洗浄部１に供給される。駆動部２の内部には、洗浄水取込部４から取り込まれた洗浄水１００によって回転駆動力を得て駆動伝達棒３１を回転させるギア機構を有する。 （もっと読む）

【課題】 スラリー配管内面の合成ゴムライニング面に付着したスケールをライニング表面に損傷を与えることなく除去・洗浄すると共に、除去したスケールや発生した濁水の回収を周囲の環境に負荷を与えることなく安全に行え、作業の均質化を図るライニング配管内の洗浄方法を提供せんとする。
【解決手段】 管１内を移動し、内壁の円周面に沿って回転しながら、剥離用ノズル８から管内面に一定角度で高圧水を噴射して付着したスケール１６を剥離すると共に、管の中心線に沿って剥離方向へ高圧水を粉砕用ノズル９から噴射して剥離したスケール１６Ａを粉砕し、さらに、前記剥離・粉砕のための噴射方向と反対方向へ高圧洗浄水を洗浄用ノズル７で噴射してスケール１６Ｂを管１内から排出し洗浄する。 （もっと読む）

【課題】大きな騒音を生ずることなく、また、洗浄能力を低下させることなく効率的に高速流の圧力流体をフィルム状物の表面の剥離洗浄に用いられるようにする。
【解決手段】本装置１では、バックアップロール２とクリーニングヘッド３の凹部３ａとの間に形成されたギャップＧ、換言すれば、ロール２に吸着されたフィルム状物Ｗと上記凹部３ａとの間に形成されたギャップＧに、この凹部３ａの開口口から噴出する高速流のエアが流入して凹部３ａの上流側端側及び下流側端側に二分されてこのギャップＧを通過し、フィルム状物Ｗに付着したダストなどを剥離する。このとき、フィルム状物Ｗは、ロール２に吸着されているので、高速流のエアを作用させても当該ロール２から剥離されない。そして、ダストなどを含む排出エアは、排気ダクト７ａ_１，７ａ_２を通って排気マニホールド６ａ_１，６ａ_２で吸引され外部に排出される。 （もっと読む）

【課題】レンズに付着した異物を確実に除去することができるレンズのクリーニング方法およびレンズのクリーニング装置を提供すること。
【解決手段】レンズのクリーニング方法は、レンズＬに付着した異物を除去するレンズＬのクリーニング方法であって、弾性材１２をワイピングシート１３で覆った拭取り部１５を有し、拭取り部１５が突条であって延在方向がレンズＬの直径より短く形成されたクリーニングユニット４を用い、レンズＬに対しクリーニングユニット４を、相対的に回転接触且つ往復接触させて拭取り動作を行うものである。 （もっと読む）