【課題】イオン化空気の吹き付け圧力が有する鋸波形の鈍化を防止することができる除塵器を提供する。
【解決手段】除塵器１００は、相互に対向して配置されている一対の電極１１０であって、当該電極間に発生させた放電により、当該電極間の空気をプラスまたはマイナスの極性のイオンにする一対の電極と、前記電極１１０と対向して配置され、イオン化された空気を放出するノズル１０２と、ノズルとは反対側において前記電極と対向して配置され、空気に脈流を生じさせた状態で前記電極に直接的に前記空気を送る電磁弁ユニット１２０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板の改質等、ワークの処理などに使用されるプラズマ発生装置において、導波管にプラズマ発生ノズルが複数個取付けられ、複数の被処理ワークや大面積の被処理ワークに対応するにあたって、導波管内でのプラズマ点灯による不具合の発生を抑える。
【解決手段】プラズマ発生ノズル３１の受信アンテナ部３２０の先端３２１１に、そのエッジ３２１２をカバーする誘電体カバー３８を設けることで、プラズマ点灯自体を起り難くする。さらに、導波管内のプラズマ発光を検知する光センサを設け、点灯が生じても、制御手段がマイクロ波発生装置を停止させ、また処理ガス供給を停止させる。これによって、導波管内でのプラズマ点灯を防止し、プラズマ発生ノズル３１における受信アンテナの損耗などの前記導波管内でのプラズマ点灯による不具合の発生を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 作業者に大きな負担をかけることなく、短い時間で目詰まりを確実に減少させ解消できるフィルターの清掃機器を提供する。
【解決手段】 濾過機能を有する複数枚のプレートを積層しかつプレートの折り曲げ部によってプレートの相互の間隔を保持してなる構造のフィルターを清掃するにあたり、エアーが供給される密閉空間が形成されるとともに、密閉空間内に軸受が内蔵されたベースと、一端部がベースの軸受に回転自在に支持され、他端部分がベースから外方に延びる回転軸、回転軸の外周に取付けられ、フィルターの隣接するプレート間に挿入され、回転することによってフィルターのプレートに付着した粉塵を掻き落とすブラシと、回転軸に設けられ、密閉空間内に挿入された回転軸から周囲にエアーを吐出させるノズルを有するエアー吐出通路と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークの凹凸部に対する除塵性能を向上させた除塵装置を提供する。
【解決手段】エア吐出室１０４，１０５と、エア吸引室１０６と、内部空間がエア吐出室１０４，１０５に連通するノズルフード１１４と、このノズルフード１１４の内側に同心状に配置され、かつエア吸引室１０６に連通するエア吸引口１１６を有するエア吸引筒１１５とを備え、ノズルフード１１４の先端部とエア吸引筒１１５の先端部との間の隙間によってエア吐出口１１８を形成すると共に、ワーク３００が有する凸部３０１をエア吸引口１０６の内側に配置させ、エア吐出口１１８から凸部３０１方向にエアを吐出させてこのエアをエア吸引口１０６から吸引するようにした凸部用除塵ヘッド１００と、吐出ノズル２２０を除いてほぼ同様に形成された凹部用除塵ヘッド２００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板の改質等、ワークの処理などに使用されるプラズマ発生装置において、導波管にプラズマ発生ノズルが複数個取付けられ、複数の被処理ワークや大面積の被処理ワークに対応するにあたって、導波管内でのプラズマ点灯による不具合の発生を抑える。
【解決手段】導波管１０を与圧する通風ファン８０を設けるとともに、導波管１０内のプラズマ発光を検知する光センサ９８１を設け、前記与圧によってプラズマ発生ノズル３１側よりも導波管１０内でのプラズマ点灯を生じ難くするとともに、点灯が生じても、制御手段がマイクロ波発生装置を停止させ、また処理ガス供給を停止させる。これによって、導波管内でのプラズマ点灯を防止し、プラズマ発生ノズル３１における受信アンテナの損耗などの前記導波管１０内でのプラズマ点灯による不具合の発生を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 従来のエアクリーナ装置において、搬送ローラ２１上を移動して来る対象製品１７が噴出口１０の真下に来ると、噴出した加圧エアは、付着している微細ダストを上側から押え付けて、付着面からの剥離が不十分な為に捕集効率が悪く、更に、加圧エアが下側に回り込み、エアバランスを崩して、チャタリング（異常振動）を発生させる事で、生産ラインの稼働率の低下をもたらす。
【解決手段】 エアクリーナヘッドの加圧エアの噴出口の角度をダスト捕集面に対して、６０度以下にして、吸込口の角度は、ダスト捕集面に対して、従来通りのほぼ垂直にした構造を有することで、付着微細ダストが、付着面から剥離し易くなり、又、対象製品の上下のエアバランスも改善されて、チャタリング（異常振動）も解消される。 （もっと読む）

【課題】 噴射口を変更せずに高圧水の形状を変形することができる高圧水噴射装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係るウォータージェットハンドガン１０は、高圧水を噴射するノズルヘッド１２と、ノズルヘッド１２から噴射される高圧水の軌道線Ｌ上に配置され、噴射された高圧水の形状を変える変形部材スクレーパ２６の連結部３０とを備えている。従って、このウォータージェットハンドガン１０においては、スクレーパ２６の連結部３０によって、ノズルヘッド１２から噴射された高圧水の形状が変わるため、ノズルヘッド１２の噴射口１２ａの数や断面形状を変更することなく、高圧水の形状を変えることができる。 （もっと読む）

【課題】起動時間を大幅に短縮するとともに安定したドライアイススノーを噴射できるドライアイススノー洗浄装置を提供する。
【解決手段】加圧液化炭酸ガスを断熱膨張させることにより形成されたドライアイススノーを噴射ノズル１から被洗浄物に対して噴射して洗浄をする装置であって、供給された液化炭酸ガスを断熱膨張させるオリフィス３と、上記オリフィス３から噴射ノズル１に至る流通管２とを備え、上記流通管２の先端部よりも噴射ノズル１側の部分から分岐して流通管２とは離隔した状態で噴射ガス供給管４が連通し、上記流通管２の内径Ｄに対し長さＬが（Ｄ^２×１０００）±（Ｄ^２×１２５）未満となるよう設定した。 （もっと読む）

【課題】エアーを吸引する吸引ユニットのモーターの性能を向上させることなく、ノズルの塵埃物質の除去性能を向上させる。
【解決手段】ノズル１の先端に配置された開口部９によりエアーを吸引し、開口部９の前面に配置された乱流発生部２により開口部９が吸引するエアーに乱流を発生させ、開口部９により乱流したエアーとともに塵埃物質を吸引する。 （もっと読む）

【課題】霧化又は微粒化された洗浄液を直接被清掃面に吹き付けることによって汚れを除去でき、作動不良や故障の発生を回避するとともに、小型化、低コスト化及び省エネルギー化を図ることのできる吸引式清掃装置を提供する。
【解決手段】吸引作用を吸引部６に吸引流路９を介して及ぼす負圧発生部８と、汚れ及び汚濁液を遠心分離する遠心分離部１０を有する。浄水を霧化又は微粒化する霧化機構１７を有する。霧化又は微粒化された浄水を被清掃面Ｆに吹き付けられるため、高温蒸気を使用しなくても被清掃面Ｆの汚れを除去できる。 （もっと読む）

【課題】所定の角度で傾斜して搬送される基板を乾燥処理する際、基板が背面を支持した支持ローラから浮き上がるのを防止した基板の処理装置を提供することにある。
【解決手段】チャンバと、チャンバ内に設けられ基板の傾斜方向下側の背面を支持する支持ローラと、背面が支持ローラによって支持された基板の下端を外周面によって支持し回転駆動されて上記基板を所定方向に搬送する駆動ローラと、基板の傾斜方向上側の前面と下側の背面との高さ方向ほぼ全長にわたって対向して配置され基板の搬送方向上流側に向かって気体を噴射するエアーナイフ６１と、基板の前面のエアーナイフよりも基板の搬送方向上流側に前面と対向して設けられエアーナイフから噴射される気体が基板の前面に沿って流れるようガイドする前面整流板６４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、本体に内蔵したモータにより回転軸に取り付けられた洗浄ブラシを回転させると共に、回転軸に貫通した穴を開けたノズル先端から流体を噴射する洗浄モータノズルを提供する。
【解決手段】ホース取付金具５には圧力流体が供給され、回転軸７の貫通孔６からノズル嘴４のオリフィス孔１９を経て洗浄ブラシ３の中央開口から圧力流体が噴射される。一方、固定子９のコイルが励磁され、前記固定子９と対向している永久磁石の回転子８が回転する。前記回転子８が回転すると、前記回転子８が固定されている回転軸７が一体に回転し、前記回転軸７の先端に螺合されているノズル嘴４が一体となって回転する。したがって、前記ノズル嘴４の先端に螺着されている洗浄ブラシ３も一体となって回転する。このようにして、洗浄ブラシ３の回転及圧力流体の相乗剥離効果により汚れを落とすことができる。 （もっと読む）

【課題】被処理物の処理箇所のみに対して、安定して効率的にかつ簡単な構成及び制御にて生産性良く、低コストにて処理を行う。
【解決手段】プラズマヘッド１０に設けた反応空間１１に第１の不活性ガス１５を供給するとともに高周波電界を印加して反応空間１１から一次プラズマ１６を吹き出させ、第２の不活性ガスを主とし適量の反応性ガスを混合した混合ガス領域２０をプラズマヘッド１０内又はその近傍に形成するとともにこの混合ガス領域２０に一次プラズマ１６を衝突させて二次プラズマ２１を発生させ、発生した二次プラズマ２１を被処理物５の処理箇所に吹き付けて処理するプラズマ処理方法であって、プラズマヘッド１０と被処理物５を相対移動させて処理箇所を処理するに際して、一次プラズマ１６は連続して発生させ、処理箇所でのみ混合ガス領域２０を形成して二次プラズマ２１を発生させるようにした。 （もっと読む）

【課題】配管やノズルなどの細部やブロワの能力を対象物に対する必要な衝突力を満たすように最適な仕様に設計することができるエアブローのブロワ化設計プログラム、および当該エアブローのブロワ化設計装置を提供することを目的とする。
【解決手段】当該ブロワ化設計プログラムおよび当該ブロワ化設計装置は、改善前エアブロー条件を用いて対象物に対する衝突力を算出し、ブロワの最低エア圧に基づいて決定されたブロワの吹出しエア圧を改善後エアブロー条件として用いて当該衝突力と同一衝突力となるブロワ風量を算出し、エアブローの狙いに応じたノズル型式についての当該衝突力と同一衝突力となる最適口径などを算出することにより、必要な衝突力を満たしたエアブローの仕様およびノズルなどの細部仕様の最適設計をコンピュータを用いて実施することができる。 （もっと読む）

【課題】従来のエアーシャワー装置では、吹出風で人体に付着した花粉及び塵埃を除去する手段が一般的であるが、静電気により付着しているものは吹出風のみでは吹き飛びにくいため、すべて取りきれないという課題がある。また除電を実施する手段としてコロナ放電を行うものがあるが、人体に有害なオゾンが発生するため、人体の健康上に悪影響を及ぼすという課題がある。
【解決手段】微細な水滴を噴霧させる微細水噴霧手段４と、吹出風により人体に付着した花粉や粉塵を吹き飛ばす花粉分離手段５を備えたことで、人体に有害なオゾンを発生させずにムラ無く除電でき、確実に花粉や塵埃を吹き飛ばすことができる花粉除去装置１を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 カメラ本体内から異物を効果的に取り除くことを可能にしたダストブロワを提供する。
【解決手段】 弾性変形可能な中空の本体部２と、本体部２内に連通されたノズル部３とを備えるダストブロワ１であって、ノズル部３はエアー噴出ノズル３１とエアー吸引ノズル３２を備え、本体部２内にはエアー吸引ノズル３２から本体部２内に向けてのエアーの流れのみを許容する第１のバルブ２１と、本体部２内からエアー噴出ノズル３１に向けてのエアーの流れのみを許容する第２のバルブ２２と、本体部２内からエアー噴出ノズル３１に向けて流れるエアー中の異物を除去するための防塵フィルタ２３を備える。ノズル部３から噴出するエアーによりクリーニングを行い、本体部２内に吸引した異物がエアーと共に噴出されることを防止する。 （もっと読む）

【課題】基板端部を研磨することなく，またプラズマを発生させることなく，基板端部全周の洗浄を簡単な制御で一度に行う。
【解決手段】ウエハＷを載置する載置台２０４と，ウエハ端部を加熱する加熱手段２１０と，ウエハ端部に向けて紫外線を照射する紫外線照射手段２２０と，ウエハ端部表面に気体の流れを形成する流れ形成手段２３０とを設け，加熱手段と紫外線照射手段と流れ形成手段とはそれぞれ，ウエハ端部近傍にウエハを囲むように配置した。 （もっと読む）

本発明は、コーティングシステムにおいて洗浄工程を実行する方法に係る。該コーティングシステムは、コーティングされるべき製品を受容するよう水平方向に回転するよう取り付けられるドラムコンテナ（１４）、及び、多角形であり、エアダクト（５）によって個々に密封して覆われる穴あき側面積を有する。本発明はまた、かかる方法を実行する装置に係る。本発明は、軸方向に移動され得る洗浄ランス（１６）が、エアダクト（５）の内壁を洗浄及び／又は乾燥するようドラムコンテナの外壁上に配置されるエアダクト（５）を自動的に通過する、ことを特徴とする。

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【課題】充分な洗浄効果が得られ、効率的な洗浄作業を行うことの可能な蒸気洗浄具を提供する。
【解決手段】ノズル２と被洗浄面７との間の間隔を規制するための間隔規制部材をノズルの近傍に設ける。スプレーガン１の先端にノズル２を装着し、間隔規制部材としてのガイドロッド８をノズルの前方に突出させて装着し、その先端に形成した球状部８ａを被洗浄面に当接させて滑動させていきつつ洗浄作業を行う。ガイドロッドを前後方向に位置変更可能とする。あるいはデッキブラシや円形ブラシ等のブラシ本体に蒸気噴射機構を組み込み、ブラシとしてのフィラメント群を間隔規制部材として機能させ、かつノズル周囲に蒸気溜まりの漏れ防止機構を形成する。蒸気管をブラシの柄として機能させる。 （もっと読む）

【課題】 カムシャフトなどのような外周面に凹部と凸部を連ねる棒状ワークに付着した洗浄液や切削液などの水分を確実に除去することができる棒状ワークの水切り装置を提供する。
【解決手段】 外周面に凹部Ｗａと凸部Ｗｂを連ねるカムシャフトＷに付着した水分を除去するための水切り装置であって、カムシャフトＷの長さと同等かそれ以上の吐出幅Ｂのエア吐出口６を有し、このエア吐出口６が上方からカムシャフトＷの中心軸Ｗｃに対向するように配置された第１エアブローノズル１と、この第１エアブローノズル１から吐出されるエア２の方向と略直交する方向からカムシャフトＷの下部に向けてエア３を吐出する第２エアブローノズル４と、この第２エアブローノズル４をカムシャフトＷに沿って往復動させる移動手段を備えた。 （もっと読む）