【課題】電子製品用の基板に付着した異物を除去する異物除去装置において、エアー射出による異物への除去作用を維持しながらも異物の拡散による再汚染を防止し、充分な異物除去能力を得ることができる。
【解決手段】この発明の異物除去装置においては、異物除去処理を行う際に基板１上部に隙間を空けて対向して配置される異物飛散防止板３と、異物飛散防止板３の外周に設けられる囲い板４と、異物飛散防止板３に開口して設けられるエアー射出部５と、エアー射出部５と囲い板４の間に開口して設けられるメインエアー吸引部６およびサブエアー吸引部７とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】管状部材の内部から開口側へ洗浄液を噴射させることにより管状部材の内面を洗浄するにあたり、洗浄ムラを生ずることなく、洗浄液の管状部材内部への逆流を防止して、洗浄効果をより高めることのできる洗浄ノズルを提供する。
【解決手段】ノズル先端側から順次、ノズル周方向にわたり形成され、ノズル先端側から後端側に向かい洗浄液を噴射する噴射スリット１１と、ノズル周方向に複数にて配置され、ノズル先端側から後端側に向かい洗浄液を噴射する噴射孔１２と、を備える洗浄ノズルである。噴射孔１２の形成方向ａとノズル軸方向ｚとがねじれの関係にあり、かつ、噴射孔１２の出口中心とノズル軸とを通る平面Ｘにおいて見た、噴射スリット１１の形成方向のノズル軸方向ｚとなす角θ_１と、噴射孔１２の形成方向ａのノズル軸方向Ｚとなす角θ_２とが、θ_１≧θ_２で示される関係を満足する。 （もっと読む）

【課題】管状部材の内部から開口側へ洗浄液を噴射させることにより管状部材の内面を洗浄するにあたり、洗浄液の管状部材内部への逆流を防止して、洗浄効果をより高めることのできる洗浄ノズルを提供する。
【解決手段】ノズル周方向にわたり形成され、ノズル先端側から後端側に向かい洗浄液を噴射する噴射スリットを備える洗浄ノズルである。噴射スリットとして、ノズル先端側から順次、第一および第二のスリット１１，１２が設けられてなり、かつ、ノズル軸方向断面における、第一のスリット１１の形成方向のノズル軸方向となす角θ_１、および、第二のスリット１２の形成方向のノズル軸方向となす角θ_２が、θ_１≧θ_２で示される関係を満足する。 （もっと読む）

【課題】 複数階建物の専有部排水管と共用部排水立管を洗浄することのできる洗浄方法を提供する。
【解決手段】 複数階建物の専有部排水管７１と共用部排水立管７２を、回転ノズル装置１０の先端部に遊動式ガイド機構２０を介して先頭部材２５を備え、高圧水発生装置６０からの高圧水が供給される洗浄器具１で洗浄する。回転ノズル装置として、二つの噴射孔を備える二孔式回転ノズル装置を使用する。そして、回転ノズル装置と中間案内部材２１と先頭部材のそれぞれの長さを共用部排水立管の内径よりも短く構成したところの洗浄器具を、専有部排水管のトラップ７１ａから挿入して、専有部排水管および共用部排水立管を通し、噴射孔から噴射する高圧噴射水によって専有部排水管および共用部排水立管を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】部品の母材を傷付けることなくパリレン膜を効率よく除去することができる除膜方法を提供する。
【解決手段】成膜装置を用いて成膜対象物に対しパリレン膜を成膜したとき、この成膜装置の構成部品Ｂに付着したパリレン膜Ｐを除去する除膜方法において、パリレン膜Ｐが付着した構成部品Ｂたる防着板の表面にペレット状のドライアイスを吹き付けて衝突させるブラスト工程を含む。このブラスト工程に先立ち、防着板を加熱する加熱工程を更に含ませてもよい。 （もっと読む）

【課題】 低コストで確実にフレキシブルコンテナバッグの外周面を洗浄する。
【解決手段】 内部にフレキシブルコンテナバッグ１２を収容する本体２内に設けられたフック８が、コンテナバッグ１２を、その上下方向に通る軸αの回りに回転自在に吊り下げている。本体２に設けられた回転用送風管２２が、膨らませた状態のフレキシブルコンテナバッグ１２が、軸αの回りに回転するように、フレキシブルコンテナバッグ１２の外周に回転用気体を噴出する。本体２内に設けられたブラシ２４が、回転しているフレキシブルコンテナバッグ１２の外周面に付着している付着物を除去する。 （もっと読む）

【課題】基板がエアー洗浄部に接触することにより損傷を受けることを防止可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】上側エアー洗浄部５は、搬送路の途中に設けられた洗浄領域４の上方に配置され、基板２の上面にカーテン状にエアーを噴き付けつつ、噴き付けたエアーを吸入することにより基板２を洗浄する。下側エアー洗浄部は、搬送路の下方において上側エアー洗浄部５と対向する位置に配置され、基板２の下面にカーテン状にエアーを噴き付けつつ、噴き付けたエアーを吸入することにより基板２を洗浄する。上側エアー洗浄部５および下側エアー洗浄部は、端辺３が伸びる方向に対して基板２上において交差するようにカーテン状にエアーを噴き付ける。洗浄領域４には基板案内部１３が配置され、下側エアー洗浄部によるエアーの吸入によって基板２が下側エアー洗浄部に接触することを、基板案内部１３が基板２の下面を支持することによって防止する。 （もっと読む）

【課題】固体表面に堆積したパーティクルを効率的に捕集し得るパーティクル捕集装置及び方法の提供。
【解決手段】略筒形状の筐体１２の内部空間に、略円柱形状の超音波発生器１４をＯリング８０を介在して収容し、筐体１２は一端部を有し、当該一端部において開口１２ｂされた空間Ｓを画成し、超音波発生器１４は該筐体１２の一端部に画成された開口１２ｂに向けて超音波を発生し、該空間Ｓにガスを供給するガス供給部、該空間Ｓの排気を行う吸引部を備えると共に、前記開口１２ｂを囲むように筐体１２の一端部に弾性を有するシール部材２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価な構成で、ノズルを揺動できて、ワーク全体に対して、圧力流体を均一に噴出させることができるようにする。
【解決手段】ワークが搬送される搬送コンベア２と、該搬送コンベア２によって搬送されるワークに付着した塵埃を除去するための作業処理空間Ｓが内部に設けられた本体３と、本体３内に配置される、ワークに対して加圧された圧力流体を噴出する噴出口６０を有するノズル６と、該ノズル６に圧力流体を供給する圧力流体供給手段９と、本体３に接続されて、ノズル６から噴出される圧力流体によって除去される塵埃を吸引する集塵機１１とを備えた塵埃除去装置において、前記ノズル６を、弾性素材により湾曲して作製し、一端部を固定端６ａとするとともに、他端部を自由端６ｂとし、該他端部６ｂに前記噴出口６０を形成する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で測定値に影響を与えることなく、洗浄時に砂や結晶等の固形物がセンサに衝突するのを防いで、その破損を防止することができる水質検出器の洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄部１４の内部に配置された第１のエア流路１５と、第１のエア流路１５に連通する第２のエア流路１６と、第１のエア流路１５と第２のエア流路１６の連接部位近傍に連通する第３のエア流路１７と、第２のエア流路１６に連通してセンサ１３の方向に開口された洗浄エア噴出口１８と、第３のエア流路１７に連通する異物排出口１９とを具備する洗浄装置とする。 （もっと読む）

【課題】外径が異なるチューブバンドルであっても、十分に洗浄することができるチューブバンドル洗浄装置を提供する。
【解決手段】チューブバンドルＴの長手方向に延在するようにガイドレール１が配置されている。アーム支持体１０の盤体１１の下面から、チューブバンドルＴの一方の側面側に第１のアーム２０が延設されると共に、チューブバンドルＴの他方の側面側に第２のアーム２０Ａが延設されている。ノズル３５から高圧水を噴射させ、アーム支持体１０をガイドレール１に沿ってチューブバンドルＴの他端側まで移動させる。次に、ベース３０の位置をピッチＰの２倍（２Ｐ）分だけアーム２０，２０Ａに沿って移動させて固定した後、アーム支持体１０を上記と同様に移動させる。これを繰り返すことにより、チューブバンドルＴのすべてのチューブｔの外面が洗浄される。 （もっと読む）

【課題】使用者の誤使用や装置の誤動作に伴う非正常事象を回避することができるプラズマ発生装置及びこれを用いた洗浄浄化装置を提供する。
【解決手段】洗浄浄化装置４０は、プラズマ発生装置１の使用時に発生する非正常事象を検知し、その検知結果に基づいてプラズマ放電を制御する。 （もっと読む）

【課題】洗浄起因の不良を抑制した電子写真用ローラの製造方法、および、円筒体表面の液体を効率的に除去することのできる乾燥方法を提供する。
【解決手段】芯金と、芯金の両端部の周面以外の周面を被覆する１層以上の弾性層とを有する電子写真用ローラの製造方法であって、（１）芯金の周面に形成した弾性層の周面を液体で洗浄する工程と、（２）弾性層の周面を乾燥させる工程と、を有し、工程（２）が、弾性層の周囲に気体の渦流を生じさせることにより、弾性層の周面に付着した液体を除去する工程を含む。液体で洗浄された円筒体の周囲に、円筒体と同心に気体の渦流を生じさせて、該円筒体の周面に付着した液体を除去する工程を有する円筒体の乾燥方法。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体封口用マスクを良好に洗浄することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る洗浄方法は、上面１ａから下面１ｂにかけて厚さ方向Ｄ１に貫通している複数の貫通孔５を有するマスク１の洗浄方法であって、マスク１を厚さ方向Ｄ１に直交する搬送方向Ｄ２に搬送する工程と、搬送されるマスク１の洗浄面３（上面１ａ及び下面１ｂ）に洗浄液１４が供給された状態で、洗浄面３と平行かつ搬送方向Ｄ２と交差する方向Ｄ３に延びる軸回りに回転するローラブラシ１２ａ，１２ｂのブラシ１２ｃを洗浄面３に接触させる洗浄工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体封口用マスクを良好に洗浄することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る洗浄方法は、上面１ａから下面１ｂにかけて厚さ方向Ｄ１に貫通している複数の貫通孔５を有するマスク１の洗浄方法であって、マスク１を厚さ方向Ｄ１に直交する搬送方向Ｄ２に搬送する工程と、搬送されるマスク１の上面１ａ及び下面１ｂに対し、厚さ方向Ｄ１に対して搬送方向Ｄ２の上流側に傾斜する方向Ｄ６に洗浄液３４を供給する洗浄工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】軽量化を実現できるとともに、清掃対象体たるフィルタに衝突することがなく、かつ、圧縮空気のエネルギーロスが少ないフィルタ清掃用ノズルシステム等を提供すること。これにより、清掃効果のばらつきを抑えるものである。
【解決手段】フィルタ清掃用ノズルシステム１００は、圧縮気体の流路となる気体供給管１１０と、上開口部が気体供給管１１０に連通し、貫通孔が形成された有底筒状の圧縮気体を噴出するノズル１２０と、貫通スリットが側壁部に形成された筒状部材１３０ａとその下端部に設けられる下部固定部材１３０ｂとを備えたノズルガイド１３０とを備える。更に、ノズルガイド１３０に連通する鉛直貫通管と、鉛直貫通管を介して清掃対象体たるフィルタＦに連通する水平貫通管のほか、フィルタキャップ１４０とフィルタＦとの間に介装され、ノズルガイド１３０を貫入させてこれを固定するガイドストッパー１５０を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】 マスクブランク用基板の洗浄時に、ガラス基板内部に潜傷が発生することを抑制でき、しかも基板主表面に存在するパーティクルを確実に排除できるマスクブランク用基板等の基板の洗浄方法を提供する。
【解決手段】 液体中に配置された基板の少なくとも一つの表面に向かって、気泡又は洗浄用粒子を含む加圧した洗浄液体を噴射ノズルから噴射し、前記基板の少なくとも一つの表面を洗浄することを含むことを特徴とする、基板の洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置において、被洗浄体に付着性の強い汚れが付いていたとしても、洗浄媒体の滞留を低減して移動させることができ、洗浄品質を向上させることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】気流を前記洗浄媒体および前記被洗浄体に吹きつける洗浄ノズルが非定常的な気流を発生させることにより、気流の向きや強さを変化させることができ、被洗浄体に貼り付いた洗浄媒体に対して様々な方向から気流を作用させることができるようにした。 （もっと読む）