【課題】固体状のクリーニング対象物の表面に堆積・付着した微細なゴミを、クリーニング対象物を液中に浸すことなく、かつ非接触で除去することができる超音波を用いたクリーニング方法を提供する。
【解決手段】本発明の超音波を用いた非接触クリーニング方法は、固体状のクリーニング対象物の表面に付着した微細な塵埃等の固形微小物を除去するために、気相中で超音波を対抗する面から非接触でクリーニング対象物の表面に照射することで、固形微小物を振動させてはじき出し、もしくは剥離させた後に遊離させ、音圧の節にリフトアップさせて捕捉しもしくは跳ね飛ばして除去可能な状態とした後、除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄ムラや洗浄媒体の漏出等の問題を来たすことなく大面積同時クリーニング化に対応でき、クリーニングの自由度も維持できる乾式クリーニング筐体を提供する。
【解決手段】筐体５０の開口部１８が洗浄対象物に当てられて塞がれると、吸気手段によって筐体５０内が負圧化され、インレット２４から高速気流が流入して旋回空気流が生じ、これによって洗浄媒体５が飛翔して洗浄がなされる。筐体５０の中央部には中空円筒状の流路制限部材１６が設けられ、その両端部には多孔性の分離板１４が設けられている。流路制限部材１６が吸引流路として機能するため、開口部１８が離されたとき、筐体内の洗浄媒体５は両方の分離板１４に吸着される。これにより、洗浄時における洗浄媒体の軸心方向の分布が均一となり、洗浄ムラが抑制される。 （もっと読む）

【課題】表面処理電気器具、例えば、真空掃除機のためのブラシバーを提供する。
【解決手段】本発明は、支持体と、支持体に溶接された少なくとも１つの保持部材と、保持部材によって支持体上の所定位置にクランプ締めされた少なくとも１つの剛毛タフトとを含む表面処理電気器具のためのブラシバーに関する。保持部材を支持体に取り付けるための溶接の使用は、ブラシバーの内側にモータを位置決めするために有利である支持体の壁厚の減少を考慮するものである。 （もっと読む）

【課題】ドライ洗浄とウエット洗浄とを組み合わせてマスク部材をクリーニングする際に、その洗浄プロセスを円滑に運転させることができ、マスク部材を効率的にクリーニング処理を行えるようにする。
【解決手段】ロードステージ１０と、レーザ光を用いたドライ洗浄ステージ１１と、洗浄液にマスク部材４を浸漬させて行う第１のウエット洗浄ステージ１２と、マスク部材４に対してシャワー洗浄を行う第２のウエット洗浄ステージ１３と、マスク部材４に熱風を供給して行う乾燥ステージ１４と、アンロードステージ１５とから構成されるクリーニング装置において、ロードステージ１０からドライ洗浄ステージ１１にマスク部材４を搬送・移載する同期式マスク搬送手段２０Ｃと、ステージ１１〜１５間にマスク部材４を搬送・移載する非同期式マスク搬送手段２０Ａとが設けられている。 （もっと読む）

【課題】サイドブラシが壁面等の障害物に接触してもサイドブラシ装置等の破損を招くことなく円滑な床面清掃が得られるサイドブラシ装置を備えた自走式清掃ロボットを提供する。
【解決手段】走行装置を備えたロボット本体２に設けられるサイドブラシ装置３０Ｌ、３０Ｒが、基端が揺動自在にロボット本体２の下面に支持されて前方に延在すると共に先端部にサイドブラシモータによって回転駆動されるサイドブラシ４７Ｌ、４７Ｒを支持するサイドブラシ支持装置３１Ｌ、３１Ｒを備え、サイドブラシ４７Ｌ、４７Ｒと同軸上の環状の回転バンパ６２を設ける。清掃作業中に回転バンパ６２が障害物に接触した際に、回転バンパ６２が障害物に押圧付与されて回転バンパ６２がサイドブラシ装置３０Ｌ、３０Ｒを障害物から離反する方向に誘導する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置の内部や、半導体製造装置のガス給排気系に配設されている排気バルブあるいは半導体製造装置やガス給排気系に配設されている圧力制御バルブなど複雑な構造部分に付着している付着物を安全に取り除く汚染表面清掃技術を提供する。
【解決手段】半導体製造装置１およびそれにつながるガス給排気系の内部壁面部分を、多関節型に形成したアーム１２部分の先端部に清掃具１４を装着してなる清掃ロボット２で清掃するようにした。 （もっと読む）

【課題】産業用コントローラなどの装置内部に侵入し基板に付着してしまった塵埃を除去する有効な装置は無かった。
【解決手段】電子部品が実装されたボードに付着堆積した塵埃を除去する塵埃除去装置であって、塵埃除去装置の電源回路に、手動操作による第１開閉装置、設定期間毎に反復実行できるタイマーによる第２開閉装置、上記塵埃の堆積量を検知するセンサにより制御される第３開閉装置のうち、少なくとも２種の開閉装置を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】エアナイフの下流側に設備を追加することなく、基板を乾燥させる能力を向上させる。
【解決手段】表面又は裏面に洗浄液２が供給された基板１を移動しながら、基板１の上方又は下方に基板１の基板移動方向と直交する方向の幅に渡って設けたエアナイフ３０から、基板１の表面又は裏面へエアを吹き付ける。基板１の上方又は下方のエアナイフ３０より上流側に設けた第１の吸引ノズル４０により、エアナイフ３０からのエアにより押し流された洗浄液１を基板１の表面又は裏面から吸引する。基板１の表面又は裏面のエアナイフ３０からのエアが当たる部分では、洗浄液２の液膜の厚さが薄く制御され、エアナイフ３０からのエアによって洗浄液２の液膜が容易に除去される。 （もっと読む）

【課題】多量の洗浄液を使用することなく、圧力調整弁のバルブ内流路を確実に洗浄することができる圧力調整弁の洗浄方法および圧力調整弁の洗浄装置を提供する。
【解決手段】機能液タンクから１次室７に導入した機能液を、２次室８の１つの面を構成するダイヤフラム１３により大気圧基準で圧力調整し、２次室８から機能液滴吐出ヘッド４１に供給する圧力調整弁１の、内部を洗浄する圧力調整弁１の洗浄方法であって、１次室７および２次室８を含む圧力調整弁１のバルブ内流路に洗浄液を通液して洗浄を行う前洗浄工程と、前洗浄工程の後、バルブ内流路に洗浄液を充填した状態でこれを放置する放置工程と、放置工程の後、再度バルブ内流路に洗浄液を通液して洗浄を行う後洗浄工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】洗浄液が周囲に飛散しにくく、磁気記録面上での磁気ヘッドの低浮上化に対応できる高い清浄度を有する磁気記録媒体用基板の得られる磁気記録媒体用基板の洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体用基板１上に洗浄液を供給する洗浄液ノズル４と、多孔質材料からなる洗浄具３、３と、洗浄具３、３、を磁気記録媒体用基板１上で摺動させる摺動手段と、磁気記録媒体用基板１上から洗浄具３、３を介して洗浄液を吸引して排出する洗浄液排出手段７とを備える磁気記録媒体用基板１の洗浄装置とする。 （もっと読む）

【課題】ドライアイス洗浄時に乱気流の発生を抑えつつ異物の除去が可能なフィルム洗浄装置を提供する。
【解決手段】ロール状に巻かれたウェブフィルムＷを巻き出す巻出し装置２と、ウェブフィルムＷを液体で洗浄する第１洗浄部３１、第２洗浄部３３と、洗浄したウェブフィルムＷを乾燥する第１乾燥部３２、第２乾燥部３４と、乾燥したウェブフィルムＷに対して気体とともにパウダー状のドライアイスを吹き付ける吹付けノズル４１を有し、吹付けノズル４１でドライアイスを吹き付けてウェブフィルムＷを洗浄するドライアイス洗浄部４と、ドライアイス洗浄したウェブフィルムＷをロール状に巻き取る巻取り装置６と、を備え、吹付けノズル４１は、ドライアイスの吹付け方向がウェブフィルムの洗浄面に対して斜めに傾けて設置されている。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽の容積を小型化するとともに洗浄媒体を洗浄槽に滞留させることなく飛翔させて表面が複雑な形状をした洗浄対象物でも効率良く洗浄する。
【解決手段】洗浄対象物４を保持した保持部３を洗浄槽ユニット２の外側に配置して洗浄槽ユニット２の洗浄槽６を小型化する。洗浄槽ユニット２は洗浄槽本体９の開口部の外縁に設けられたプール部材１９で保持部３を保持して一定間隙２２で吸引気流１７の流入路を形成する。洗浄槽６内の空気を洗浄槽本体９に接続された吸引装置１６で吸引してプール部材１９と保持部３の間隙２２に洗浄槽６に向かう吸引気流１７を発生させ、洗浄媒体６を洗浄槽６内に回収して、飛翔した洗浄媒体６が洗浄槽６外に漏れることを防ぐとともに洗浄媒体６を有効に利用して洗浄効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】筒体に付着したスケールを、ブラシを用いて効率良く除去することができる筒体用スケール除去装置を提供すること。
【解決手段】先端にブラシ２を支持するロッド１０，４０と、ロッド１０，４０に対して軸中心の回転力を付与するためのモータ１１，４１と、モータ１１，４１の出力軸とロッド１０，４０との間に連結されモータ１１，４１の回転をロッド１０，４０の軸中心の揺動運動へと変換する変換手段１２，４２とを備え、ブラシ２は、揺動運動することによって筒体１に付着したスケールを除去する。 （もっと読む）

【課題】内部に形成された狭隘部を洗浄対象部位に含む被洗浄ワークを対象として、十分な洗浄性能を確保することが可能な洗浄方法および洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被洗浄ワークであるノズル部品５を加熱して少なくとも洗浄対象部位であるニードル孔５ｇの被洗浄面である内表面５ｊの表面温度を洗浄液１１についてライデンフロスト現象が発生する温度に保持しながら、ニードル孔５ｇ内に洗浄液１１を供給し、内表面５ｊに洗浄液１１が蒸気層１１ｂを介して液滴１１ａの状態で接触して流動するライデンフロスト現象を発生させ、液滴１１ａが内表面５ｊに沿って流動することによって異物３２を捕集し、異物３２を液滴１１ａと共にニードル孔５ｇから排出させる。 （もっと読む）

【課題】吸気装置が運転され続けたためにタンク内に徐々に水が吸い込まれてフィルタが水に浸ってしまうという不具合を解消することができる集塵機を提供すること。
【解決手段】水を含んだ粉塵を吸引する吸気装置７と、
該吸気装置７によって吸込口３から吸引される塵埃を収納するタンク２と、
該タンク２内の水位を検出する水面検出手段（電極２７ａ，２７ｂ）とを有し、
前記タンク２内の水位が予め定めた閾値を超えたときに、運転状態にある前記吸気装置７を停止状態にする集塵機１において、
前記タンク２内の水位が予め定めた閾値を超えた状態で、前記吸気装置７が運転状態とならないようにする制御手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生領域の体積を大きくしたプラズマ発生装置。
【解決手段】プラズマ発生装置１１０は、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）を原料とする焼結体から成る筐体部１１を有する。筐体部１１は、スリット状のガス導入口１１ｉ及び複数個の円筒状のガス噴出口１１ｏを有する。ガス導入口１１ｉからプラズマ化領域Ｐの直上までは、スリット幅（２．Ａの前後方向、図２．Ｂの左右方向）を１ｍｍとし、内径１〜２ｍｍのガス噴出口１１ｏはプラズマ化領域Ｐの長手方向に一直線状に形成されている。プラズマ化領域Ｐの断面は一辺２〜５ｍｍの正方形とした。電極２ａ及び２ｂは各々向き合った表面に凹部（ホロー）を有する。商用交流電圧である、６０Ｈｚ、１００Ｖを用いて約９ｋＶに昇圧し、２０ｍＡで電極２ａ、２ｂ間に印加し、アルゴンをガス導入口１１ｉから導入すると、電極２ａ及び２ｂ間を４ｃｍ迄離間しても、プラズマ化が確認された。 （もっと読む）

【課題】水により洗い流すことなく輸送管内を洗浄することができ、作業を行う者の肉体的負担も少ない生コンクリート輸送管洗浄方法とこれに用いる洗浄用具を提供する。
【解決手段】柔軟性及び保水性を有する多孔質の部材により構成され、輸送管の内径よりも大きい幅に形成された弾性体と、弾性体の内部に設けられ、輸送管の内径よりも小さい幅に形成された錘とを有する洗浄用具の該弾性体に水を含浸させる含浸工程と、洗浄対象の輸送管を略水平にした状態で、弾性体に水を含浸させた洗浄用具を該輸送管の一方の端部に詰めて配置する配置工程と、該輸送管を洗浄用具を配置した側の端部を上方になるように傾けて他方の端部から生コンクリートを排出させる傾け工程とを有し、生コンクリートの排出に伴い、生コンクリートに吸引されて洗浄用具が輸送管内を下方に移動して輸送管の内壁面を洗浄する方法とする。 （もっと読む）

【課題】 集塵容量を変更可能にした場合でも集塵能力の低下を抑制することができる集塵機を提供する。
【解決手段】 タンク４は、下タンク４１と、フィルタ装置７を支持する上タンク４２と、下タンク４１と上タンク４２との間を覆うシール部材４３とから成る。シール部材４３は、下タンク４１に固定される一端部４３Ａと、上タンク４２に固定される他端部４３Ｂとから成る。下タンク４１のねじ部４１ａと、スクリュリング８の突起８Ｄとは係合している。上タンク４２は、スクリュリング８に形成された支持溝８ａと、突起４２Ｄとを係合することにより、スクリュリング８に支持されている。スクリュリング８を回動させると、上タンク４２は上下方向に移動する。このとき、シール部材４３は、下タンク４１と上タンク４２との位置に対応して変形し、常に下タンク４１と上タンク４２との間を覆っている。 （もっと読む）

【課題】 ＩＣ試験装置のテストヘッドに使用される水冷式冷却機構の洗浄装置を提供する。
【解決手段】 水冷式冷却機構に洗浄液を循環させて洗浄する洗浄液循環機構と、
前記洗浄液循環機構で使用した洗浄液を前記水冷式冷却機構からエアー圧で除去する洗浄液除去機構と、
前記水冷式冷却機構に洗浄用の水を循環させ、洗浄液を洗浄する水洗浄循環機構と、
前記水洗浄循環機構で使用した洗浄用の水を前記水冷式冷却機構からエアー圧で除去する洗浄用水除去機構と
を備える。
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