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Fターム[3B116CD11]の内容

清浄化一般 (18,637) | 補助処理 (1,921) | 換気,排気 (145)

Fターム[3B116CD11]に分類される特許

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【課題】処理対象基板とランプとの間に空気が流入することが抑制され、従って、処理対象基板に対して高い効率で光を照射することができる光照射装置を提供する。
【解決手段】基板搬送路に沿って搬送される処理対象基板の一面に向けて光を照射するエキシマランプが内蔵されたランプハウスと、前記処理対象基板と前記エキシマランプとの間に不活性ガスを供給するガス供給手段とを備えてなり、前記基板搬送路における前記ランプハウスの上流側に当該ランプハウスに隣接して圧力緩衝空間が形成された光照射装置であって、基板搬送路における圧力緩衝空間の上流側には、処理対象基板における光が照射される一面に沿って流れる空気を排出する空気排出手段が設けられていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ガラス壜をスターホイールによって円形軌道に沿って搬送している間にガラス壜を自転させ、この自転中にガラス壜の底部から底部のやや上方の壜胴下部までの検査エリアにエアを吹き付けることにより、ガラス壜の検査エリアに付着した水滴を確実に除去することができるガラス壜の水滴除去装置を提供する。
【解決手段】液体が充填された複数のガラス壜1を複数のポケット3aで支持して円形軌道に沿って搬送するスターホイール3と、スターホイール3により支持されたガラス壜1に接触しながら走行してガラス壜を自転させるベルト16と、スターホイール3により円形軌道に沿って搬送されるガラス壜1の側方に配置され、ガラス壜1に向けて空気を吹き付けるエアブローユニット20とを備え、エアブローユニット20の前面20fは円形軌道に沿うように配置され、エアブローユニット20の前面20fには空気を噴出する複数のノズル20nが設けられている。 (もっと読む)


【課題】スライムの洗浄速度が速く、スライムの洗浄時間を短縮することができ、スライムの除去効率を向上させることができるスライムの洗浄方法を提供する。
【解決手段】スライムの洗浄方法は、水タンク等の機器又は水配管等の内壁面に付着したスライムに洗浄剤としての過酸化物を作用させてスライムの洗浄を行うにあたり、該洗浄を減圧状態で行うものである。過酸化物としては、酸素と水に分解する過酸化水素が最も好ましい。その過酸化水素を過酸化水素水として用い、過酸化水素水中の過酸化水素の濃度は0.1〜10質量%であることが好ましい。また、減圧状態の圧力は0.001〜0.09MPaに設定され、スライムの洗浄は酸性条件下で行われる。 (もっと読む)


【課題】スケールの溶解率を高めることができるとともに、スケールの溶解時間を短縮することができ、スケールの除去効率を向上させることができる酸によるスケールの洗浄方法を提供する。
【解決手段】酸によるスケールの洗浄方法は、機器又は配管の内壁面に付着したスケールに洗浄剤としての酸を作用させて発泡させながらスケールの洗浄を行うにあたり、該洗浄を減圧状態で行うものである。前記洗浄剤の酸は無機酸又は有機酸であり、無機酸としては塩酸、スルファミン酸等が挙げられ、有機酸としてはクエン酸、グリコール酸等が挙げられる。減圧状態における圧力は0.001〜0.09MPaであることが好ましい。また、洗浄時における洗浄液のpHは5以下であることが望ましい。 (もっと読む)


【課題】排気効率およびスペース効率を改善し、液切り乾燥直後の乾いた基板にミストが付着するのを十全に防止する。
【解決手段】上部および下部エアナイフ122U,122Lがそれらの間を通過する基板Gに対してナイフ状の鋭利な高圧エア流を吹き付けることにより、両エアナイフ122U,122Lの上流側の空間に多量のミストが発生する。基板Gの上で発生したミストの大部分は、下流側のFFU136から隙間Kを通って廻ってくる空気および入口118から入ってくる空気と一緒に上部排気口124に吸い込まれる。基板Gの下で発生したミストは、その全部がFFU136から廻ってくる空気および入口118から入ってくる空気と一緒に下部排気口126,128に吸い込まれる。 (もっと読む)


【課題】少なくとも1台のエレベーター等の稼働を確保しながらも、エレベーターシャフト等に付着するアスベスト等の付着物の処理を実行可能にする。
【解決手段】物体を上下昇降する複数の昇降軌道が水平方向の左右に並列して設定された内部空間を有する中空構造体内において、付着物を処理する際に前記中空構造体に取り付けられる設備であって、内部空間を、互いに隣り合う昇降軌道同士の間で水平方向の左右に仕切って、処理のための作業空間を密閉区画する仕切り部材を備えており、仕切り部材は、鉛直方向の上下及び水平方向の前後に延出する気密性部材と、水平方向の左右における気密性部材の一方の面に接触することにより気密性部材の形状を平面形状に保持する保持部材とを備え、仕切部材の外周縁は、内部空間の天井部、床部、前後の側壁にそれぞれ密着固定されており、保持部材は、一端部及び他端部が中空構造体に固定された複数の部材を有している。 (もっと読む)


【課題】洗浄後の欠陥の発生が極めて少ないフォトマスク関連基板を得られる洗浄方法及び洗浄装置提供することを目的とする。
【解決手段】フォトマスク関連基板の洗浄方法において、少なくとも、前記フォトマスク関連基板の表面の異物をあらかじめ除去する前処理工程と、該前処理工程の後に前記フォトマスク関連基板にUV光を照射するUV照射工程と、該UV照射工程の後に前記フォトマスク関連基板を湿式で洗浄する湿式洗浄工程とを行うことを特徴とするフォトマスク関連基板の洗浄方法。 (もっと読む)


【課題】特に可搬性を有するハンディタイプの乾式クリーニング装置において、狭い空間内で高速に飛翔する洗浄媒体の摩擦帯電による洗浄能力低下問題を解消する。
【解決手段】乾式クリーニング筐体としての筐体4は、通気路としてのインレット24内に洗浄液を噴霧する加湿手段としての噴霧手段50を備えている。筐体の開口部18が洗浄対象物20で塞がれると吸引装置による吸引によって筐体4内が負圧化し、インレット24から気流が流入して旋回空気流30が形成され、洗浄媒体5が飛翔して洗浄対象物20に衝突する。バルブ56を開くと噴霧ノズル52の洗浄液がインレット24内にミスト状に噴霧される。噴霧されたミストは、旋回空気流30と合流し、筐体内に拡散する。拡散したミストは、洗浄媒体5に付着し、洗浄媒体5の摩擦による帯電を抑制する。 (もっと読む)


【課題】圧力制御された複数の区画でナノ材料の秤量・包装および容器の洗浄を分担して行うことにより、作業者のナノ材料からの暴露危険性を低減するナノ材料秤量包装装置を提供する。
【解決手段】ナノ材料を秤量して包装容器に充填する区画Aと、前記区画Aから移送された包装容器の外側を洗浄する区画Bと、前記区画Bから移送された包装容器を保管する区画Aと、前記各室間を仕切る仕切壁と、前記各室と調整弁を介してダクトで接続され各室を陰圧に保つ吸引ファンと、各室の圧力を区画A<区画B<区画Aに保つように前記ダクトの調整弁を制御する制御装置を備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】トンネル式洗浄機において、流体排気通路で洗浄機の各チャンバからの均等な蒸気排気を容易にし、各チャンバからの熱損失を最小限にするため最適化される。
【解決手段】トンネル式洗浄機には、トンネル式洗浄機のチャンバを分離する間隔を保つ二重壁カーテンが含まれ、チャンバ間およびトンネル式洗浄機外への流体および熱移動が防止される。二重壁カーテンにはトンネル式洗浄機の操作の間にカーテンが互いに粘着することを抑制する表面が含まれる。またトンネル式洗浄機には種々の寸法の物品に対し乾燥効率を均等にする空気マニホールドが含まれる。 (もっと読む)


【課題】予備のNFを用いることによって、フッ素セルのオンサイトでの使用の困難性を克服して、安全で、連続的に、規制を遵守する方法でフッ素を与える。
【解決手段】次の工程を有する反応チャンバーの洗浄方法:
(a)目的の基材に材料を堆積させるための反応チャンバーを与える工程;
(b)上記反応チャンバーの内部で、上記目的の基材に上記材料を堆積させる工程;
(c)上記堆積を周期的に中断する工程;
(d)上記反応チャンバーの内部と、フッ素及び窒素の混合物とを接触させて、上記反応チャンバーの上記内部を洗浄する工程;及び
(e)上記フッ素及び窒素の混合物が使用できない場合に、切り替えを行って、上記反応チャンバーの内部と三フッ化窒素とを接触させる工程。 (もっと読む)


【課題】作業空間における作業員の安全を確実に確保することができる付着物除去方法を提供する。
【解決手段】地下に凹部を有する建物内の作業空間において、粒状のドライアイスを吹き付けて被洗浄面に付着している付着物を当該被洗浄面から脱落させ、前記作業空間内の空気を、前記ドライアイスが昇華した結果発生した二酸化炭素と共に、前記凹部から当該作業空間外へ排出する。 (もっと読む)


【課題】ロール状に巻かれたテープ状部材を走行させながら洗浄ガスによって洗浄する洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】テープ状部材が巻装された供給リール29と、供給リールに巻装されたテープ状部材を巻き取る巻取りリールと、巻取りリールと供給リールとの間に設けられ内部にテープ状部材が通されていて、巻取りリールによって巻き取られることでテープ状部材が内部を走行するよう配置された洗浄チャンバと、洗浄チャンバに気体を供給する気体供給管2及び洗浄チャンバ内に供給された気体を紫外光によって励起して洗浄ガスを生成する紫外光照射部を有し、紫外光照射部によって生成された洗浄ガスでテープ状部材の洗浄チャンバ内を走行する部分を洗浄する洗浄ガス供給手段を具備する。 (もっと読む)


【課題】洗浄ムラや洗浄媒体の漏出等の問題を来たすことなく大面積同時クリーニング化に対応でき、クリーニングの自由度も維持できる乾式クリーニング筐体を提供する。
【解決手段】筐体50の開口部18が洗浄対象物に当てられて塞がれると、吸気手段によって筐体50内が負圧化され、インレット24から高速気流が流入して旋回空気流が生じ、これによって洗浄媒体5が飛翔して洗浄がなされる。筐体50の中央部には中空円筒状の流路制限部材16が設けられ、その両端部には多孔性の分離板14が設けられている。流路制限部材16が吸引流路として機能するため、開口部18が離されたとき、筐体内の洗浄媒体5は両方の分離板14に吸着される。これにより、洗浄時における洗浄媒体の軸心方向の分布が均一となり、洗浄ムラが抑制される。 (もっと読む)


【課題】移動の際に洗浄液が飛散しにくく設置スペースが狭いノズル洗浄装置、および当該ノズル洗浄装置を備える電子部品実装機を提供することを課題とする。
【解決手段】ノズル洗浄装置5は、洗浄液Lが貯留される洗浄槽600を有しノズル8の被洗浄部82を洗浄する洗浄部60と、洗浄部60の上方に配置され洗浄後の被洗浄部82に気体Gを吹き付けることにより、被洗浄部82を乾燥させる乾燥部61と、洗浄部60と乾燥部61との間に配置され、洗浄部60と乾燥部61とを連通、遮断可能に仕切るシャッター620を有するシャッター部62と、を有する装置本体6を備える。洗浄モードにおいてはシャッター620を開け被洗浄部82を洗浄し、乾燥モードにおいてはシャッター620を閉じ被洗浄部82を乾燥させる。 (もっと読む)


【課題】固化状態でない付着物に対しても良好な乾式クリーニングを実現できる乾式クリーニング装置を実現する。
【解決手段】可撓性で薄片状の洗浄片cpの集合による洗浄媒体を空気流により飛翔させ、クリーニング対象物obに当てて行なう乾式クリーニング装置であって、クリーニング筐体10と、吸気手段と、温度制御手段104と、を有し、クリーニング筐体10は、内部に洗浄媒体を保持して飛翔させるための空間を有し、開口部101と、吸気口10D1と、内部において洗浄媒体を飛翔させるための旋回空気流TAを形成するための通気路103と、洗浄片cpの吸気口側への移動を阻止しつつ除去された除去物を通過させる多孔手段102とを有し、温度制御手段は、クリーニング筐体の通気路103を通って流入する空気流の温度を、クリーニング対象物obに付着した付着物の硬性を高める温度に制御する手段である。 (もっと読む)


【課題】マイクロ波の損失を極力低減し、高密度プラズマを効率良く生成できるプラズマ生成装置を提供する。
【解決手段】プラズマ生成装置100は、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生装置21と、マイクロ波発生装置21に接続され、マイクロ波の伝送方向に長尺をなすとともに、該伝送方向に直交する方向の断面が矩形をした中空状の矩形導波管22と、矩形導波管22に接続されてその内部へ処理ガスを供給するガス供給装置23と、矩形導波管22の一部分であって、内部で生成したプラズマを外部で放出するアンテナ部40とを備えている。アンテナ部40は、その断面において短辺をなす壁40aに1又は複数のスロット孔41を有しており、大気圧状態の矩形導波管22内に供給された処理ガスをマイクロ波によってプラズマ化し、スロット孔41から外部の被処理体へ向けて放出する。 (もっと読む)


【課題】効率よく、かつ医療器具の細部分まで洗浄できる医療器具の洗浄方法および医療器具の洗浄装置を提供する。
【解決手段】医療器具にオゾンガスを接触させること、および、医療器具を洗浄液で洗浄する液体洗浄工程をさらに含むこと、また、前記液体洗浄工程で用いた洗浄液を貯水する工程を含み、前記貯水工程で貯水された洗浄液を前記液体洗浄工程で再利用することにより、前記医療器具を洗浄する。また、オゾンガスを発生させるオゾンガス発生部16と、前記オゾンガスを利用して前記医療器具を洗浄する洗浄部17とを備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】薄膜の表面に付着された塵埃を簡単な構成で確実に剥離して除去できる薄膜表面の塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】薄膜の走行を案内する複数のローラと、走行途中の薄膜の表面に付着した塵埃を除去する塵埃除去部を備えた薄膜表面の塵埃除去装置において、前記塵埃除去部は前記ローラの間を走行する薄膜を伸縮させる伸縮付与手段と、伸縮によって薄膜から剥離した塵埃を捕捉する捕捉手段を備え、伸縮付与手段は、薄膜の走行を案内する一部のローラを振動させて薄膜を伸縮させる振動子を備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】外気圧より低い気圧に維持される低圧室内において低コストで被洗浄面に付着した付着物を除去すること。
【解決手段】外気圧より低い気圧の低圧室内に設置されるコンプレッサーが前記低圧室内において取り込んだ空気を圧縮して吐出することにより、前記低圧室内における被洗浄面にドライアイス粒を噴射し、該噴射による衝突エネルギにより前記被洗浄面に付着した付着物を除去する付着物除去方法であって、前記コンプレッサーが単位時間あたりに取り込む空気量と、前記コンプレッサーが単位時間あたりに吐出する空気量とをほぼ同量としたことを特徴とする。 (もっと読む)


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