【課題】 簡素かつコンパクトな構成で、被洗浄面に対して、均一で高い洗浄度が確保できる洗浄装置を提供すること。
【解決手段】
洗浄装置本体２と、洗浄装置本体２の内側に形成される洗浄槽３と、洗浄槽３の内周壁４と、内周壁４に８個設けられる吐出口５と、吐出口５に連通する８個の吐出経路６と、内周壁４に８個設けられる第１の排出口７と、第１の排出口７に連通する第１の排出経路８と、洗浄槽３の上方で内側に突設されピストンＷとのクリアランスが１．０〜１．５ｍｍとなる洗浄液噴出防止壁９と、を備える洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を図ることのできる洗浄装置を得る。
【解決手段】洗浄装置１０には、洗浄対象物２２を洗浄する洗浄部１３と、当該洗浄部１３内に液体を導入する導入路１７ｅと、洗浄部１３内の液体を洗浄部１３から排出する排出路１７ａと、を少なくとも有する循環路１８が形成されている。そして、循環路１８の洗浄部１３以外の部位に、電圧を印加することで放電を行う電極５１ａ、５１ｂを設けた。 （もっと読む）

【課題】 基板の表裏両面を均一に処理することが可能な基板処理装置および基板処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 処理槽１１にエッチング液を貯留するエッチング液供給工程と、ガラス基板１００を搬送ローラ２１により搬送してエッチング液が貯留された処理槽１１内に進入させる基板搬入工程と、ガラス基板１００の下面からエッチング液を吐出することによりガラス基板１００を搬送ローラ２１より上方で、かつ、処理槽１１に貯留されたエッチング液の液面より下方の位置まで浮上させるエッチング液吐出工程と、エッチング液の吐出を停止してガラス基板１００を搬送ローラ２１と当接する位置まで下降させる基板下降工程と、処理槽２１に貯留されたエッチング液を排出するエッチング液排出工程と、ガラス基板１００を搬送ローラ２１により搬送して処理槽１１より退出させる基板搬出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】通風部材の清掃成果を向上させながらも清掃作業時間の短縮も図ることができる洗浄装置等の提供。
【解決手段】洗浄装置１は、フィルタ１７を清掃するものであり、送風部５と、送水部７と、フィルタを支持する支持部９と、送風部からの送風及び送水部からの送水を制御する制御部１３とを備える。制御部は、フィルタに対する第１の送風と、その第１の送風の後、フィルタに対する送水と、その送水の後、フィルタに対する第２の送風とを行うように、送風部の送風及び送水部の送水を制御する。 （もっと読む）

【課題】水蒸気中の不純物を低減することで基板上の微粒子等を確実に除去すること。
【解決手段】純水ＰＷを加熱沸騰させて水蒸気を発生させる石英ガラス製の水蒸気発生容器１１０と、水蒸気発生容器１１０に純水ＰＷを供給する純水供給部４００と、水蒸気発生容器１１０で発生した飽和水蒸気ＳＶを加熱して過熱水蒸気ＨＶを生成する石英ガラス製の過熱水蒸気生成容器１５０と、過熱水蒸気生成容器１５０で発生した過熱水蒸気ＨＶを基板Ｗの表面に噴射させる基板処理装置３００とを備えている。 （もっと読む）

【課題】処理対象基板を良好に迅速に基板処理溶液で処理することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１００は、溶液保持容器１３０に収容されている基板処理溶液ＴＬに処理対象基板ＰＢが浸漬される。このような溶液保持容器１３０に溶液供給機構１４１が基板処理溶液ＴＬを上方から下方に落下させて順次供給する。このように上方から下方に落下する基板処理溶液ＴＬを溶液乱流機構１４２が処理対象基板ＰＢの一面の基板処理領域ＴＳに圧送する。このため、処理対象基板ＰＢの一面の基板処理領域ＴＳは基板処理溶液ＴＬが単純に上方から下方へ落下するだけではなく、乱流となって圧送されることになる。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡易でメンテナンス作業も容易な超音波洗浄システムを提供する。
【解決手段】 超音波洗浄槽１１内の液体に洗浄容器２０の一部が接触し得るように支持する容器支持部材としてのローラ部材１３，１４を超音波洗浄槽１１外に備えてなる。従って、洗浄容器２０をローラ部材１３，１４に支持させた状態で回転させると、超音波洗浄槽１１内の液体を介して洗浄容器２０内に超音波が照射され、洗浄容器２０内の被洗浄物の汚れを除去することができる。本発明によれば、ローラ部材１３，１４が超音波洗浄槽１１外に配置されているため、ローラ部材１３，１４のシール対策は簡易でよく、メンテナンス作業も容易で、製造コスト、メンテナンスコストの低減に寄与する。 （もっと読む）

【課題】複数の半導体ウエハ等といった複数の被処理物を処理液に浸漬するに際して、これら被処理物の間で処理具合にばらつきが生じないようにする。
【解決手段】処理装置１が、処理液３０が貯留される処理槽２と、処理槽２内に配置され、処理槽２内で回転する回転車４と、被処理物３２をそれぞれ保持し、回転車４に取り付けられ、回転車４の第１の回転軸６を中心にした円周方向に沿って配列された複数の保持具１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークを保持する専用の台が不要にし、洗浄の死角となる部分を少なくする。
【解決手段】円筒状のワークＷを挟み込む位置に配置し、ワークＷの回転軸線と平行な軸線回りに回転し、ワークＷの外周面に接触する少なくとも３個以上の円筒状のローラ５２、５３、６３、６７と、少なくとも３個以上のローラ５２、５３、６３、６７のうち少なくとも１個を回転駆動する流体モータ８８、８９と、ワークＷに向けて流体を噴出させるノズル２０、２１、２２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】医療用器材等の洗浄対象物に付着した錆やスケールを確実に除去することができるとともに、洗浄対象物の腐食が生じないようにし、かつ作業者の危険性を減らすことができる洗浄方法および洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄対象物に、酸性洗浄剤により洗浄を施し、酸性洗浄剤による洗浄終了後に、洗浄対象物に、アルカリ性洗浄剤により洗浄を施し、アルカリ性洗浄剤による洗浄終了後に、アルカリ性洗浄剤を水または温水ですすぐことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】濾材の質及びこれ付着している汚れの質にあわせて確実に且つ均一に除去して洗浄することができる濾材の洗浄システムならびに濾材の洗浄方法を提供することができるようにする。
【解決手段】濾材吸引用ジェットポンプに加圧ポンプからの高圧の洗浄水を供給する主圧力水供給路を分岐し、分岐された副圧力水供給路を補助ジェットポンプに連結し、当該補助ジェットポンプの吐出口を濾材吸引用ジェットポンプの吐出口と分級部分とを連結する送給路を介して、若しくは直接分級部分に連通させるとともに、前記主圧力水供給路及び副圧力水供給路に高圧の洗浄水の流水量を制御する水量制御手段を設けて構成した。 （もっと読む）

方法および組成物は、タンパク質汚れを除去しおよび表面上に汚れの再付着を防止するために提供される。本方法は、洗浄サイクルの洗浄ステップの間、タンパク質除去／抗再付着剤を導入すること、洗浄サイクルの洗浄ステップの間、洗浄組成物を導入すること、洗浄サイクルの間、タンパク質除去／抗再付着剤および洗浄組成物で基質の表面を洗浄すること、並びにその後、リンス助剤で基質の表面をリンスすることを含む。タンパク質除去／抗再付着剤は、ポリ糖を含み、および洗浄組成物は、アルカリ性ソースおよび界面活性成分を含む。本組成物は、実質的にリン含有化合物ではなく、および約０．０５重量％未満のアルカリ土類金属を含む。 （もっと読む）

【課題】薄板部材を破損させることなく効率良く薄板部材を洗浄することを可能とする薄板部材洗浄装置を提供する。
【解決手段】流水プレート５２０の流水孔５２０ａから降り注がれた水道水は、回転支持部材５４０Ａに設けられた外側回転羽根５４３および内側回転羽根５４４に当接することで、回転支持部材５４０Ａを回転させる。また、メッシュ部材保持部５４５Ａに保持されたメッシュ部材１６０に注がれた水道水は、メッシュ部材１６０の回転による遠心力に基づき、メッシュ部材１６０の表面および裏面を流れ、メッシュ部材１６０に付着している薬液カスを除去される。メッシュ部材１６０から除去された薬液カスは、そのまま水道水により流体排出用開口部５５０ａから薄板部材洗浄装置５００Ａの外部に排出される。 （もっと読む）

【課題】簡略且つ小型の構成で洗い残しや洗浄ムラの発生を防止する。
【解決手段】底部フレーム１上に洗浄室６を有する洗浄用ケース１００の底面２に回転軸１１が貫通して下部を駆動装置により駆動し、上端に回転軸の直径方向に延びる回転板１２を固定した回転駆動機構９を設け、下面に備えた自在車輪１６で走行可能な台フレーム１７上に介護用機器を収容可能な篭体１８を備えたケージ台車２００の下部に突出され、ケージ台車が洗浄室に進入する際に回転板の長手方向両側面に係合するガイド板と、ケージ台車の中心が回転軸の軸線上に到達すると回転板の前後端に係合してケージ台車の移動を拘束する係止部材と、係止部材の係合を解除する係合解除フレームとを有する係脱機構を設け、洗浄室内に備えて回転軸の軸線Ｓに向かい且つ洗浄室内の上下をカバーするようカーテン状に洗浄液を噴射する噴射ノズル３４を設ける。 （もっと読む）

タンパク質汚れを除去し、かつ表面上への汚れの再堆積を防止するための方法及び組成物が提供される。該組成物は、約１質量％〜約９０質量％の糖類、約１質量％〜約８０質量％のアルカリ源及び約１質量％〜約１０質量％の界面活性剤成分を含む。該糖類は、サッカリド又は非サッカリド系糖類でよい。該組成物は、リン含有化合物を実質的に含まず、かつ約０．０５質量％未満のアルカリ土類金属を含む。 （もっと読む）

【課題】 従来、洗浄室内のテーブルにワークをセットし、ワークの全周面を、上下・左右側面・下面の四方向に設けた洗浄、乾燥ノズルを、公転と自転を介して、一気に洗浄、乾燥する構成であり、洗浄等のエリアーが広く、効率的な洗浄等が図れる。しかし、構造上で、小型のワーク、小ブロックの洗浄等は構造上で適する。しかし、大型ワークの洗浄、乾燥と、オーバーホールに関しては、必ずしも、十分とは考えられない。

【解決手段】 本発明は、ワークの全周面を、上下・左右側面・下面の四方向に設けた洗浄、乾燥ノズルを、公転と自転を介して、一気に洗浄、乾燥する構成であるが、この公転を、フレームに設けた回転枠体でする構造として、その洗浄、乾燥エリアーの拡大を図り、大型ワークの洗浄、乾燥と、オーバーホールに有効な、全面洗浄装置を帝位供する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成ながら、洗浄ムラや乾燥ムラを有効に抑制できる洗浄装置、乾燥装置及び洗浄システムを提供する。
【解決手段】シャッター１３により開口１１，１２を遮蔽した後、バルブＶ１を開放すると、チャック２０に固定された部品Ｗ（ここでは洗浄物）に対して、細孔３１ｅ、３１ｆと細孔３１ｇ、３１ｈを介して、液体供給源ＷＰから供給された温水が連続的に噴射される。又、バルブＶ２を周期的に開閉することで、細孔３１ｉ、３１ｊと細孔３１ｋ、３１ｍを介して、空気圧源ＡＰから供給された空気が間欠的に噴射される。これにより、空気と温水とが混じり合った状態で、部品Ｗの表面が洗浄されるので高い洗浄効果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】比較的少ない量の洗浄液で攪拌機の洗浄を行うことのできる攪拌機の洗浄用装置を提供する。
【解決手段】回転駆動源に連結された回転駆動軸及び回転駆動軸に固定された攪拌翼を有する攪拌機を洗浄液によって洗浄するために用いられる攪拌機の洗浄用装置において、隙間を隔てた内筒及び外筒を有し洗浄液が収容される二重構造容器体と、二重構造容器体の下方側に設けられ内筒の内側空間と隙間とを連通する下側開口部と、二重構造容器体の上方側に設けられ内筒の内側空間と隙間とを連通する上側開口部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微細化した水粒子の粒径が大きくなることを防止して、被洗浄面に水膜が形成されることを防止し、被洗浄ノズルを効率的に洗浄可能なノズル洗浄装置を提供する。
【解決手段】複数の被洗浄ノズル１を着脱自在に保持するノズルホルダ１１と、微細化した水粒子と圧縮空気とを混合してなる二流体を生成する二流体生成装置１２と、二流体生成装置１２に接近配置され、ノズルホルダ１１に保持した被洗浄ノズル１へ向けて二流体を噴き付ける二流体噴射ノズル１３と、二流体噴射ノズル１３が被洗浄ノズル１に順次対面するように、二流体生成装置１２及び二流体噴射ノズル１３をノズルホルダ１１に対して相対移動させる移動手段１４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】粉粒体から障害物質を効率的に除去するとともに、難溶性の炭酸塩が析出してスケールによる配管の詰まりやポンプの故障等の虞を低減することができる粉粒体処理システムを提供する。
【解決手段】
粉粒体を洗浄しながら微粒物と中粒物に分級する湿式選別手段２から排出された微粒物と洗浄排水を固液分離する微粒物分離手段４と、微粒物分離手段４で固液分離された洗浄排水を湿式選別手段２へ返送する第一の循環経路３と、湿式選別手段２で分級された中粒物を再洗浄する再洗浄手段５から排出された洗浄排水を再洗浄手段５へ返送する第二の循環経路７と、再洗浄手段５に新規水を供給する新規水供給経路８と、再洗浄手段５から排出された洗浄排水の一部を、洗浄水として第一の循環経路３に供給する洗浄排水供給経路９と、湿式選別手段２から排出された洗浄排水に含まれる特定物質を除去するための炭酸イオンを生成する炭酸イオン生成手段６を備える。 （もっと読む）