【課題】基板から離脱した汚染物質による処理槽の汚染を防止することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】処理槽１０の下方に下部タンク４０を設けている。リフター５０によって基板Ｗを投入する前に、排液バルブ１５を開放して処理槽１０の底部から下部タンク４０に一旦全ての処理液を排出する。下部タンク４０から処理槽１０に処理液が再供給される過程において、全ての処理液が循環ライン２０に設けられたフィルタ２３を通過することとなるため、処理液に含まれている全ての汚染物質がフィルタ２３によって取り除かれる。このため、基板Ｗから処理液中に離脱した汚染物質が処理槽１０に付着して汚染するのを防止することができる。また、そのような汚染物質が基板Ｗに付着するのを防止することもできる。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクなどに用いられる石英基板の洗浄方法であって、シリカやセリアで研磨された後に、表面に残存するシリカやセリアを効率よく洗浄液で除去し、またステンレス製の洗浄キャリアの腐食が少ない洗浄方法を提供する。
【解決手段】研磨した石英ガラス基板をｐＨが２〜５、シリカのゼータ電位が−３０ｍＶ以上−２０ｍＶ以下、セリアのゼータ電位が−２０ｍＶ以上−１０ｍＶ以下、室温における石英ガラスのエッチング速度が０．３〜３．０ｎｍ／分であるフッ素化合物とホスホン酸とを含んでなる水溶液からなる洗浄液に浸漬して洗浄する。 （もっと読む）

【課題】固化した油脂分やロジンなどの樹脂分、その他付着物が付着した被洗浄面を簡単な洗浄方法により水系の洗浄液で綺麗に除去可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】印刷配線基板に対してクリーム半田を印刷するために用いたメタル版などの被洗浄面に、植物性油からなる液状の前処理油を塗布した後、アルカリ電解水からなる水系洗浄液で被洗浄面を洗浄する。また、洗浄液と圧縮空気とを噴射ノズル内において混合して、洗浄液を微細粒化しながら、この微細粒化した洗浄液を噴射ノズルから被洗浄面に向けて高速で噴き付けて被洗浄面を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】装置設計、コスト、メンテナンス等の負担を軽減し、洗浄工程に要する時間を軽減することが可能な、噴射蒸気により被洗浄物の洗浄を行なうスチームジェット用ノズルを提供する。
【解決手段】ノズル本体１０は、蒸気室１２と、空気室１４と、蒸気室１２に通じる蒸気入力口１５と蒸気噴射口１６と蒸気排気口１７と、空気室１４に通じる空気入力口１８とを有し、蒸気室内１２には、噴射用バルブ２０と排気用バルブ３０を有し、空気入力口１８から入力される圧縮空気により、噴射用バルブ２０と排気用バルブ３０を制御し、洗浄処理時には、蒸気入力口１５から入力された蒸気を、蒸気噴射口１６から噴出させ、待機時には、蒸気排気口１７から排気させる。 （もっと読む）

【課題】浸漬洗浄および噴射洗浄を組み合わせて小型ノズルの洗浄を１つずつ行うことができ、ハンダ粒子等を確実に除去できるノズル洗浄装置を提供する。
【解決手段】このノズル洗浄装置は、洗浄液を貯蔵する下部タンク２３と、下部タンクと連通する洗浄液収納部を下部に備えると共に、ノズル１７を保持する複数のノズル保持部５１を有しかつ下方への回転移動時にノズルを洗浄液収納部の洗浄液内に浸漬する回転板２１を備える縦タンク２２と、回転板の回転動作によるノズルの移動路に沿って配置され、１つのノズルに対して洗浄液を噴射する５方向ノズル１０２と、洗浄液収納部の洗浄液内であって回転板の回転動作によるノズルの移動路に沿って配置され、旋回流によりマイクロバブルを発生することにより１つのノズルを洗浄する旋回ノズル１９３を備える。 （もっと読む）

【課題】微細なパターンが形成された基板に対しても適切に洗浄することができる基板処理装置、および、基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、単一の基板Ｗを水平姿勢で保持する保持部１１と、微細気泡を含んだ気泡含有洗浄液を基板に供給する洗浄液ノズル１５と、洗浄液ノズル１５によって基板Ｗに気泡含有洗浄液を供給させて基板を洗浄する制御部１９と、を備える。気泡含有洗浄液によれば、基板面に与える衝撃を抑制しつつ、微細気泡の表面張力によって基板Ｗ上のゴミ、塵埃、その他の異物を除去することができる。したがって、基板Ｗに形成されたパターンを破壊することなく、基板を好適に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な装置構成で被処理体を容易に且つ確実にすることができる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】超音波洗浄装置１は、上部が開口された略直方体の箱状容器であって、その内部に洗浄液を貯留する洗浄槽１０と、内部に水を貯留すると共に洗浄槽１０を収容する外槽１５と、洗浄槽１０の内部に配設され、洗浄すべき被処理体としての半導体ウエハＡを支持する支持部材２０と、外槽１５の外部に配設され、洗浄槽１０内部に超音波を発振する超音波発振装置６０を備える。洗浄槽１０は、超音波発振装置６０からの超音波を透過する側面部１２ｂと、側面部１２ｂに対向して配され、超音波発振装置６０からの超音波を反射する側面部１２ａとを有している。そして、超音波発振装置６０は、外槽１５に貯留された水を介して洗浄槽１０に超音波を発振し、且つ洗浄槽１０の側面部１２ｂから側面部１２ａに向かって超音波を伝播させる。 （もっと読む）

【課題】低環境負荷で、より洗浄力の高い洗浄方法、その方法を実施するための洗浄ユニット、およびその洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄液としての電解アルカリ性水にマイクロバブルを発生させ、その液中で超音波を間欠照射させて処理することを特徴とし、洗浄ユニットは、洗浄液としての電解アルカリ性水を内部に蓄えるための洗浄槽（１０２）と、該洗浄槽（１０２）内にマイクロバブルを発生させるためのマイクロバブル発生ノズル（１０３）と、前記洗浄槽（１０２）の内部に蓄えた電解アルカリ性水中に超音波を照射可能な超音波振動子と、を具備したことを特徴とし、洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄液に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備し、洗浄ユニットとして、前記洗浄ユニットを用いたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に付着した塵埃などを効率良く除去すると共に、洗浄後にこれらが基板の表面に再付着することを防止した流水式洗浄方法及び流水式洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄槽２内で洗浄液Ｌを層流の状態で横方向に流し、この洗浄液Ｌに被洗浄物Ｗを浸漬させて洗浄を行う流水式洗浄方法であって、洗浄槽２内を流れる洗浄液Ｌの全体の流れに対して、洗浄槽２内の底面及び両側面に沿って流れる洗浄液Ｌの一部の流れを速くする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学素子表面に残った粘着剤を効果的に除去することができるクリーニング装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るクリーニング装置は、積載ホルダーに固定されている光学素子表面に残った粘着剤を除去することに用いられ、第一温度で前記光学素子に対して処理を行う第一筒状物と、前記第一筒状物の内部に位置し、第二温度で前記光学素子に対して処理を行う第二筒状物と、を備え、前記第二筒状物の側壁には、前記積載ホルダーを回転可能に回転させる第一：第二回転軸が設置される。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内で洗浄液を適切に循環させることが可能な洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄装置１は、被洗浄物２が浸漬される洗浄槽３と、被洗浄物２に向かって洗浄液を噴射する洗浄液噴射部材２０とを備えている。洗浄液噴射部材２０は、洗浄槽３の側面部３ｂに取り付けられている。この洗浄装置１では、洗浄液噴射部材２０の影響で洗浄槽３内の洗浄液の流れに乱れが生じるおそれを低減することができ、洗浄槽３内で洗浄液を適切に循環させることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】管状の医療器具の内部を効果的に洗浄でき、他の医療器具が汚染されず、洗浄作業者が心地よく使用でき、コンパクトで、効率のよい洗浄性能を有する医療器具用卓上洗浄装置の提供。
【解決手段】超音波発振手段を備える洗浄槽と、給水経路と、循環経路と、廃液経路を備え、管状の医療器具等を洗浄対象とし、洗浄槽から洗浄対象物を介し吸引タンクに繋がる吸引経路を備え、洗浄対象物の接続部と吸引タンクとの間にバルブを設け、吸引ポンプを前記吸引タンクに連結し、洗浄槽内に洗浄液を滞留し、吸引ポンプで吸引タンク内を負圧とし、洗浄対象物と吸引タンクとの間のバルブの開放で、洗浄槽と吸引ポンプの圧力差によって急激に移動する洗浄液により吸引経路に配置された洗浄対象物の内部の汚物等を吸引しタンク内へ押し流し、循環洗浄を可能とする医療器具用卓上洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】 一対の通水用面材を有するケース内に夫々平行に配設された多数本の杆状の器具押さえパッドにより、洗浄するべきマイクロ器具を閉じ込めた状態でジェット洗浄などで洗浄するに用いられる洗浄器において、高さや太さの異なる全てのマイクロ器具を、その高さか太さに応じて器具押さえパッド間に円滑且つ安定良好に閉じ込め、洗浄し得られるようにした洗浄器を提供する。
【解決手段】 通水用多孔面材2bを有する筐体2内に、その対向枠壁間2a,2aに亘り杆状の器具押さえパッド3,3,…の多数本を平行に配設して成るケース1の一対をその各開口面を対向させて互いに開閉自在として成る洗浄器において、両ケース1,1の少なくともいずれか一方のケース1内に配設して成る各器具押さえパッド3をばね6により上下方向に可動自在に支持せしめた。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に付着した塵埃などを効率良く除去すると共に、洗浄後にこれらが基板の表面に再付着することを防止した基板洗浄装置及び基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】浸漬槽２内に洗浄液Ｌを層流の状態で水平方向に流しながら、この浸漬槽２内の洗浄液Ｌに基板Ｗを保持したホルダ５０を浸漬させることによって、基板Ｗの洗浄を行う。このとき、基板Ｗの主面が洗浄液Ｌの流れる方向と平行となるように浸漬槽２内にホルダ５０を配置して、このホルダ５０よりも上流側を流れる洗浄液Ｌの一部に乱流を発生させながら、基板Ｗの洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】部品や製品などの被洗浄物を洗浄液中に浸積させて洗浄する被洗浄物の洗浄において、被洗浄物から除去した異物を確実に洗浄タンク本体１外に排出することができ、異物の再付着を防止することができる被洗浄物の洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の被洗浄物の洗浄方法は、洗浄タンク本体１の内壁の内、一対の対向する第１の内壁１１と第２の内壁１２のそれぞれに、該内壁の略全体に亘って所定の間隔で洗浄液ｍを通過させる複数の通孔１１ａ、１２ａを設け、通孔１１ａを介して洗浄液ｍを洗浄タンク本体１内に導入すると共に、通孔１２ａを介して洗浄液ｍを洗浄タンク本体１外へ排出することにより、該洗浄液ｍを第１の内壁１１から第２の内壁１２に向かって略水平方向に層流状態で流し、この流れの中途に被洗浄物ｂを配置して洗浄するものである。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄を効率的に行うとともに、洗浄装置の小型化、構成の簡素化を図った食器の洗浄方法および収納具を提供する。
【解決手段】被洗浄物２８を収納する収納具１４と、前記収納具を搬送する搬送手段と、前記収納具の搬送方向に沿って所定の間隔を与えて複数配置した洗浄水を噴射するノズルと、を備え、前記複数配置したノズルごとに、搬送する収納具の上方側より洗浄水を順次噴射するとともに、前記噴射した洗浄水を被洗浄物２８の略全体が浸漬するように収納具内１５に所定量貯水しながら収納具１４外に排水して、前記被洗浄物２８の洗浄を収納具１４の搬送方向に沿って順次行うものである。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄を効率的に行うとともに、洗浄装置の小型化、構成の簡素化を図った洗浄方法を提供する。
【解決手段】収納具の搬送方向に沿って複数配置したノズル１０、１１ごとに、搬送する収納具の上方側より洗浄水を順次噴射するとともに、前記噴射した洗浄水を被洗浄物２８の略全体が浸漬するように収納具内に所定量貯水しながら収納具外に排水し、前記貯水した洗浄水中において、前記ノズルから順次噴射した洗浄水の被洗浄物への当接によって接触した互いに隣り合う被洗浄物を順次離間させるとともに、前記離間した間隔内をノズルから噴射した洗浄水を被洗浄物被洗浄物の表面と裏面に沿って流動させて、前記被洗浄物の洗浄を収納具の搬送方向に沿って順次行うことを特徴とする洗浄方法
行うものである。 （もっと読む）

【課題】蒸気乾燥法においては、枚様基板上の有機皮膜中の残存溶媒を除去するには、該基板の温度を蒸気より低く設定する必要があるが、蒸気温度を高く維持したまま基板温度との温度差を十分にとることが難しいという問題がある。
【解決手段】装置内において複数の基板を並列に離間して固定し移動させるための基板ホルダーと該基板ホルダーを搬送する手段、超音波発振装置を備え液体の溶媒を保持する洗浄槽、液体の溶媒を保持するリンス槽、前記液体の溶媒の蒸気を生じさせる手段を備えた蒸気槽、を具備する有機機能性素子蒸気乾燥装置であって、前記蒸気槽は、前記液体の溶媒の蒸気温度よりも低温の前記液体の溶媒を基板表面に間欠的に射出する基板冷却装置を備えた有機機能性素子蒸気乾燥装置。 （もっと読む）

【課題】彫刻欠陥、特にキャップの効果的な除去方法であって、彫刻エッジを損傷しない方法を提案する。
【解決手段】本発明は、フレキシブルキャリア上に堆積された金属膜からマスク投影レーザーアブレーション彫刻欠陥を除去する方法に関する。本発明によると、前記方法は、約１５００ＰＳＩから約３０００ＰＳＩの間で加圧された液体を前記欠陥上に噴霧することを含む。 （もっと読む）

【課題】クリーム半田が洗浄液を吸収して固化することによる洗浄不良を防止して、メタル版の印刷パターンを全体的に綺麗に洗浄可能なメタル版の洗浄方法を提供する。
【解決手段】印刷配線基板に対してクリーム半田を印刷するために用いたメタル版１の洗浄方法であって、メタル版１を水平方向に対して一定の角度を付けて支持した状態で、メタル版１に向けて噴射ノズル１４から水系の洗浄液を噴き付けながら、該噴射ノズル１４を水平方向に往復移動させて下側から順番にメタル版１を粗洗浄する。また、粗洗浄後、メタル版１に向けて噴射ノズル１４から洗浄液を噴き付けながら、該噴射ノズル１４を水平方向に往復移動させて上側から順番にメタル版１を仕上げ洗浄する。 （もっと読む）