【課題】機器や配管等の金属表面に付着したカルシウム塩のスケールを良好に洗浄する難溶解性付着物の洗浄技術を提供する。
【解決手段】難溶解性付着物の洗浄剤は少なくともギ酸を成分に有し、金属表面に付着したカルシウム塩のスケールを洗浄する。遠心薄膜乾燥機２０においてこの洗浄剤を供給する供給タンク３１が接続されている。例えば、乾燥処理の対象となる廃液が、ホウ酸カルシウムを主成分とする懸濁液である場合、洗浄剤のギ酸濃度が０．５〜１０ｗｔ％、好ましくは１〜５ｗｔ％の範囲に調整される。 （もっと読む）

【課題】水シミの発生を充分に抑制でき、しかも、安定に連続運転できる水切り乾燥方法を提供する。
【解決手段】処理槽４内の第１の処理液に、物品Ｗを浸漬させたまま、処理槽４内に第２の処理液を供給し、処理槽４の上部から第１の処理液を排出し、処理槽４内の第１の処理液を第２の処理液に置換する。物品Ｗを第２の処理液に浸漬させた状態に維持した後、第２の処理液から物品Ｗを引き上げる。この際に、第１の処理液としてアルコール水溶液を用い、第２の処理液として、フッ素系溶剤とアルコールとの混合液を用いる。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を図ることのできる洗浄装置を得る。
【解決手段】洗浄装置１０には、洗浄対象物２２を洗浄する洗浄部１３と、当該洗浄部１３内に液体を導入する導入路１７ｅと、洗浄部１３内の液体を洗浄部１３から排出する排出路１７ａと、を少なくとも有する循環路１８が形成されている。そして、循環路１８の洗浄部１３以外の部位に、電圧を印加することで放電を行う電極５１ａ、５１ｂを設けた。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内に液剤が所定量正しく供給されたか否かの判定を行う。
【解決手段】洗浄槽３は、液体を貯留して被洗浄物２を浸漬する。減圧手段７は、洗浄槽３内の気体を外部へ吸引排出して、洗浄槽３内を減圧する。液剤供給手段５は、液剤タンク１７が液剤供給路１８を介して洗浄槽３に接続されてなり、液剤供給路１８には液剤供給弁１９が設けられている。減圧手段７により洗浄槽３内を減圧した状態で液剤供給弁１９を開くことで、洗浄槽３の内外の差圧を利用して液剤タンク１７からの液剤を洗浄槽３内へ供給する。液剤供給路１８には、液剤が流れたことを検出するフローセンサ２０が設けられている。液剤供給弁１９への動作用出力信号と、フローセンサ２０の検出信号とに基づき、洗浄槽３内への液剤の供給異常を判定する。 （もっと読む）

【課題】廃プラスチック類に付着した有機物を、分解し脱臭処理すること。
【解決手段】スラリー槽１０に破砕された廃プラスチック類を入れ、過酸化水素１２と硫酸第１鉄１３と循環水１４を加え、かつ酸性に調整して攪拌する。フェントン洗浄タンク２０は、上下方向に多数の層２０ａ、２０ｂ、２０ｃに分割され、各層を貫いた回転軸２２が攪拌羽根２３ａ、２３ｂ、２３ｃを回転させる。層を隔てる仕切り板２４ａ、２４ｂには連通孔４８が設けられている。フェントン洗浄タンク３０も同様な構成であり、夫々の最下層同士が配管４０で接続されている。配管１８からフェントン洗浄タンク２０の最上層に攪拌された廃プラスチック類が投入され、フェントン洗浄タンク３０の最上層から廃プラスチック類をオーバーフローさせる。 （もっと読む）

【課題】 被洗浄物の出し入れの困難性を解消するとともに、減圧した洗浄槽内へ気体を導入することによって上昇した洗浄液が減圧手段に吸い込まれないようにして、洗浄剤やエネルギーのロスを防ぐことができる洗浄装置を得る。
【解決手段】 上部に蓋体１４を有する洗浄槽３と、洗浄槽３内を減圧する減圧手段４と、洗浄槽３内に気体を導入する給気手段５を備え、減圧下の洗浄槽３内の洗浄液１中に気体を導入し洗浄液１を上昇，下降させて被洗浄物２の洗浄を行う洗浄装置において、蓋体１４に、洗浄槽３内に開口する減圧手段４における排気路１６の開口部１８と対峙するようにじゃま板３２を蓋体１４から垂下するようにして設け、上昇した洗浄液１が排気路１６の開口部１８側へ移動するのをじゃま板３２により防ぎ、洗浄液１が排気路１６の開口部１８から洗浄槽３外へ持ち出されることを抑えるようにした。 （もっと読む）

【課題】より安定してラジカルを生成することのできるプラズマ発生装置、当該プラズマ発生装置を用いた洗浄浄化装置および小型電器機器を得る。
【解決手段】プラズマ発生装置１は、水を含む液体を収容する液体収容部４と、気体を収容する気体収容部５と、気体収容部５中の気体を液体収容部４へ導く気体通路３ａが形成され、液体収容部４と気体収容部５とを隔てる隔壁部３と、気体収容部５に配設された第１電極１２と、少なくとも第１電極１２と対になる側の部分が液体収容部４中の液体１７と接触するように配設した第２電極１３と、を備えている。そして、気体通路３ａに微細化手段を設け、気泡を微細化するようにした。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物から剥離して洗浄水の液面に浮遊した油分を効果的に除去することができる洗浄装置及び洗浄方法を得る。
【解決手段】ガラスリング１８の内周面１８Ａと接触する洗浄水Ｗの液面の縁部Ｅが、液面の一般部Ｇに比べて鉛直方向で高くなっている。このため、洗浄槽１２に供給された洗浄水Ｗによって溢れ出た洗浄水Ｗ及び洗浄水Ｗの液面に浮遊した油分Ａは、回収筒３４に流れ込む。このように、液面に浮遊する油分Ａが効果的に、回収筒３４に流れ込んで回収される。 （もっと読む）

【課題】特定の溶出ホッパーを備えた自動洗浄機で用いることで、優れた洗浄力と溶解性を示す、自動洗浄機用の粉末洗浄剤組成物を提供する。
【解決手段】粉末洗浄剤組成物を収容する特定の溶出ホッパーを備えた自動洗浄機用の粉末洗浄剤組成物であって、該組成物中に含まれるナトリウムイオンのモル濃度に対するカリウムイオンのモル濃度の比が、０．１６〜０．４である、自動洗浄機用粉末洗浄剤組成物。 （もっと読む）

【課題】 洗浄液に溶解している気体の濃度を制御することで、被洗浄物へ洗浄効果を高めると同時に、気泡による被洗浄物へのダメージを最小限に抑えることができる超音波洗浄装置を提供すること。
【解決手段】 超音波洗浄装置１は、洗浄液７００に対して超音波振動を照射する振動子２００と、超音波振動を照射された洗浄液７００を用いて被洗浄物８００を超音波洗浄処理する洗浄処理部１００と、振動子２００を超音波振動させるために、電気信号を振動子２００に付与する発振器３００と、洗浄液７００に気体４１０を溶解する気体溶解部４００と、洗浄液７００において超音波振動から音圧Ｐを測定する音圧測定部５６０と、洗浄液７００を脱気する脱気部５８０と、音圧測定部５６０によって測定された音圧Ｐを基に、脱気部５８０を制御して洗浄液７００に対する気体４１０の脱気量を制御する制御部６００とを有している。 （もっと読む）

【課題】各種の設備や機器に沈積されたスラッジを効率よく除去する方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、水、ＥＴＡ（ｍｏｎｏｅｔｈａｎｏｌａｍｉｎｅ）、ＮＨ_３、ＤＴＰＡ（Ｄｉｅｔｈｙｌｅｎｅ ｔｒｉａｍｉｎｅ ｐｅｎｔａａｃｅｔｉｃ ａｃｉｄ）、ＥＤＴＡ（ｅｔｈｙｌｅｎｅｄｉａｍｉｎｅｔｅｔｒａａｃｅｔｉｃ ａｃｉｄ）及びＮ_２Ｈ_２からなる群より選択される少なくとも一種を含む洗浄液に気体窒素、液体窒素、及びドライアイスからなる群より選択される少なくとも一種を注入してスラッジを除去する物理化学的洗浄方法を提供する。上記洗浄方法は、各種の設備や機器の母材の表面、構成品の表面、隙間に発生しまたは沈積されたスラッジを効率よく除去することができ、且つ原子力発電所において使用される蒸気発生器、ボイラー、熱交換器などの洗浄に活用可能である。 （もっと読む）

【課題】十分な圧力と水量が確保できにくい状況下であっても、外気導入と自発的キャビテーション効果によって微細泡を発生させるマイクロバブル発生装置を提供する。
【解決手段】微細気泡発生に伴う洗浄効果、あるいは人体における生理活性作用を利用し、外気導入と自発的キャビテーション効果によって微細泡を発生させ洗浄すべき対象物を水面に分離浮上することが出来る技術で、健康面に用いれば、微細泡の破裂時のバーストインパクトにより血行の改善等に効果を持つマイクロバブル発生装置。 （もっと読む）

【課題】ロットの処理不良を防止することができるとともに、ロット間における処理を均一化することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】薬液交換後から薬液処理部ＣＨＢ２に第２搬送機構ＷＴＲが到達した後、薬液処理部ＣＨＢ２にてロットの処理を開始した時間を計時部２７が計時し、その経過時間とオーバータイムカウントとを判断部２９が比較する。経過時間がオーバータイムカウントを超えたと判断部２９が判断すると、報知部３３がオーバータイムアラームを報知する。したがって、許容時間内にロットを薬液処理部ＣＨＢ２で処理開始できなかったことをオペレータは知ることができる。よって、ロットの処理不良を防止することができる。またオーバータイムアラームが発生しない場合には、薬液交換からロットの処理までを一定時間内に収めることができるので、ロット間における処理を均一化することができる。 （もっと読む）

【課題】基板を安定的に処理することができる基板の処理方法および処理装置を提供すること。
【解決手段】処理装置１は、内部に液体Ｌが供給されるとともに、供給された液体Ｌに基板２を浸積させる槽１１と、槽１１内部に配置される基板２の基板面が鉛直方向に略平行となるように基板２を保持する保持部１３とを備える。処理装置１は、槽１１の供給口１１１から排出口１１２に向かって液体Ｌを流すと、液体Ｌが、鉛直方向上方側から下方側に向かって基板面に沿って流れるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】長尺方向に走行する織編物に対して、できるだけ少ない量の薬液を付与し、この薬液でもって織編物内部への薬液の十分な含浸を得ると共に、続く乾燥工程における省エネルギーに寄与できる薬液の少量付与を可能とする。
【解決手段】第１薬液が塗布された第１グラビア塗工ロールの周面上に織編物の一方面側が接すると同時に、当該織編物を第１グラビア塗工ロールに対して、第１押圧ロールにより、０．０５ＭＰａ〜０．５ＭＰａの押圧力で押圧して、第１薬液を織編物に対して一方面側から含浸する第１含浸工程と、第２薬液が塗布された第２グラビア塗工ロールの周面上に織編物の他方面側が接すると同時に、当該織編物を第２グラビア塗工ロールに対して、第２押圧ロールにより、０．０５ＭＰａ〜０．５ＭＰａの押圧力で押圧して、第２薬液を織編物に対して他方面側から含浸する第２含浸工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】被処理物の処理を悪影響がなく、オゾン気泡が容易に脱気しないことにより、充分な処理効果を得ることのできるオゾン水処理方法及びオゾン水処理装置を提供する。
【解決手段】添加物を含めない方法によって生成された超微細粒径のオゾン気泡を含有するオゾン水を用いて被処理物を処理するオゾン水処理方法及びオゾン水処理装置で、特に、超微細粒径のオゾン気泡を含有するオゾン水を加熱して被処理物の処理効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】閉塞した配管やバルブ等を交換することなく、効果的、効率の高い配管清掃を可能とし、汚濁物負荷を低減し、環境汚染トラブル問題の解決を図る。
【解決手段】清掃に薬品を添加することなく、天然素材の珪藻土の多孔質体、セラミックにアルカリ性水溶液を含有する有益機能の組み合わせにより、配管内壁の付着物、スケールが効率よく洗浄流体で除去させる。その、配管清掃方法及び配管清掃装置。 （もっと読む）

【課題】基板の処理を良好に行うことができる基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを格納した記憶媒体を提供すること。
【解決手段】本発明では、基板(2)を処理液(23)で処理する処理槽(24)と、処理槽(24)に第１の薬液(21)を供給する第１薬液供給機構(25)と、第１の薬液(21)と反応して処理液(23)を生成する第２の薬液(22)を処理槽(24)に供給する第２薬液供給機構(26)と、処理槽(24)に接続した循環流路(45)を用いて処理液(23)を循環させる処理液循環機構(27)と、第１及び第２の薬液の処理槽への供給を制御する制御部とを備え、所定の循環流量で処理液を循環させて基板(2)を処理する基板処理装置(1)を用い、第２の薬液(22)の供給を開始するとともに第２の薬液(22)の供給開始に基づいて循環流量を変化させることにした。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽や洗浄キャリアの表面が侵食されることで発生するパーティクルがフォトマスク基板に付着することを防止しながら、超音波洗浄により基板表面のパーティクルを効率的に除去する。
【解決手段】フォトマスク基板を濾過循環させた洗浄液に浸漬し、洗浄槽や洗浄キャリアの表面からパーティクルが発生しないように、超音波のパワー密度をキャビテーションの発生する閾値以上の初期値とした後、当該洗浄槽での超音波洗浄を終了するまでの間に、超音波のパワー密度をこの初期値から段階的及び／又は連続的低減することを特徴とするフォトマスク基板の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】溶存ガス濃度が低濃度（低飽和度）であるガス溶解水を安定して供給することが可能なガス溶解水供給装置及びガス溶解水の製造方法を提供する。
【解決手段】ガス供給配管３１から気相室１３内に酸素ガスを供給すると共に、真空ポンプ３５を作動し、気相室１３内を真空排気する。また、原水配管２１から液相室１２内に原水を供給する。気相室１３内の酸素の一部は、気体透過膜１１を透過して液相室１２内の原水に溶存し、ガス溶解水が製造される。気相室１３内の酸素の残部は、凝縮水と共に真空ポンプ３５で吸引されて排気配管３３から排出される。ガス溶解水の溶存酸素濃度が溶存ガス濃度計２３で測定され、この測定濃度が目標値となるように、ガス流量制御弁３２の開度が調節される。 （もっと読む）