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Fターム[3B201BB32]の内容

液体又は蒸気による洗浄 (28,239) | 流体的清浄手段 (13,243) | 噴射、泡、スプレー (3,939) | ノズルの構造 (973)

Fターム[3B201BB32]の下位に属するFターム

多孔 (254)
圧力調節 (116)
混合 (270)

Fターム[3B201BB32]に分類される特許

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【課題】本発明は、マスク端面のレジストを薬液のみで洗浄するフォトレジスト端面剥離・洗浄装置及び方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、コの字型に凹んだスリットにマスク端面のフォトレジストを除去する薬液が噴射されるノズルを設置したスリットノズルと、前記スリットノズル上方に設けたマスク端部に保護流体を噴射するシャワーノズルとからなることを特徴とするフォトレジスト端面剥離・洗浄装置の構成とした。 (もっと読む)


【課題】より低圧で駆動させることができるとともに、より簡単な構造の二流体ノズルを提供する。
【解決手段】二流体ノズル1は、気体を自吸しながら液体を噴出させる二流体ノズルであって、液体が通過する液体流路11を有する円筒管10と、液体流路11の領域を狭めるために液体流路11の横断面の中心に配置された流路障害物体14とを備える。円筒管10は、液体が供給される液体供給口12と、液体を噴出させる液体噴出口13とを有する。流路障害物体14の外表面と円筒管10の内壁面との間に液体を通過させることによって、液体の流速を高め、液体噴出口13を通じて気体が円筒管10の内部に導入される。 (もっと読む)


【課題】被処理面以外の面に対する処理液の飛散を抑制しつつ、被処理面に処理液による処理を施すことができる処理装置および表面処理治具を提供する。
【解決手段】本発明の処理装置100は、被処理体18が載置される載置台10と、処理液にて被処理体18の被処理面18aを処理する表面処理治具20と、表面処理治具20に処理液を供給する供給手段30と、表面処理治具20に供給された処理液を回収する回収手段40と、表面処理治具20を被処理面18aと離間した状態を維持する離間維持手段50と、を含んでいる。表面処理治具20は、被処理面18aに対向する対向面22aを有し、対向面22aと被処理面18aとの間に供給手段30から供給された処理液を保持して被処理面18aを処理する処理部を備える。 (もっと読む)


本発明は、薄いウェハ(6)を洗浄する装置で、ウェハ(6)が各々の一辺で担持装置(2)に固定されており、2つの隣接する基板間に空隙(7)が形成されている。本装置は、流体を各空隙(7)内に注入するシャワー装置(15)と、流体を満たすことができ且つ担持装置(2)を収容できる寸法を有する槽(14)とから実質上構成される。本発明によれば、任意選択的に、シャワー装置(15)が移動不能な担持装置(2)に対して移動可能であるか、あるいは担持装置(2)が移動不能なシャワー装置(15)に対して移動可能であるか、あるいは担持装置(2)とシャワー装置(15)が相対的に移動可能である。本発明による方法は、好ましい洗浄処理において、担持装置(2)を槽内で移動しながらまず温流体でシャワー洗浄を行った後、冷流体で超音波洗浄を行い、さらに温流体でシャワー洗浄を再度行うことを特徴とする。
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【課題】周囲の環境に悪影響を及ぼすことのない洗浄装置を提供する。
【解決手段】2流体ノズル2と、2流体ノズル2に加圧された気体を供給するための気体供給手段3と、2流体ノズル2に洗浄液を供給するための専用のポンプ4を備えた洗浄液供給手段5と、2流体ノズル2に対する加圧された気体の供給および停止を行うために、2流体ノズル2と気体供給手段3とを接続する気体導入路6に配設されている気体用電磁弁9とを有している洗浄装置1において、気体導入路6に配設する気体用電磁弁9を2ポート電磁弁とする。 (もっと読む)


【課題】不純物による洗浄液の汚染を防いでリード端子部を洗浄することのできる洗浄装置を提供する。
【解決手段】ノズル1は、外筒部2と、外筒部2の内部に配設された内筒部3と、外筒部2を貫通して内筒部3に接続し、内筒部3を外筒部2の長手方向に沿ってピストン駆動するエアシリンダ4とを備える。外筒部2は、内筒部3の周囲に設けられた2つのラビリンスシール9,10によって、内部を3つの部屋に分けられている。第1の部屋11には、配管8に接続する第1の開口部5が設けられている。内筒部3は、第1の部屋11に設けられた第4の開口部14と、第2の部屋12に設けられた第5の開口部15とを有する。第5の開口部15には水蒸気17を噴射する噴射部16が接続していて、噴射部16は第2の部屋12から外筒部2を貫通して外部に突出している。 (もっと読む)


【課題】基板表面へのダメージを防止しつつ、良好な熱エネルギー効率で基板表面に対して洗浄処理を施すことができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板表面Wfに液膜11を付着させた状態で該液膜11を凍結させて凍結膜13を形成する。続いて、回転駆動されている基板Wの表面Wfに向けて加熱ガス吐出ノズル4から加熱ガスを局部的に吐出させながら、加熱ガス吐出ノズル4を基板Wの回転中心位置P41から基板Wの端縁位置P42に向けて移動軌跡T4に沿って揺動させる。これにより、基板表面Wfの表面領域のうち凍結膜13が融解した領域(融解領域)が基板表面Wfの中央部から周縁部へと広げられ、基板表面Wfに形成された凍結膜13の全体が融解する。 (もっと読む)


【課題】基板上の液膜を短時間で凍結させる。
【解決手段】リンス液供給部62は温度調整部623を備える。温度調整部623は、DIWを常温より低い温度に冷却する。この温度調整部623は、例えば10℃以下にDIWを冷却しており、さらに5℃以下に冷却する方が好ましい。なお、温度調整部623は、DIWを0℃以上に保っており、これによってDIWが凝固しないようにしている。そして、リンス液供給管96に供給された冷却されているDIWは、リンス液吐出ノズル97から基板の表面に向けて吐出されて液膜を形成する。また、液供給管25を介して液吐出ノズル27から基板の裏面に向けて冷却されたDIWが吐出されて、裏面に液膜が形成される。液膜が冷却されているため、冷却ガスが基板の表面および裏面に向けて吐出されると、短時間で凍結する。 (もっと読む)


【課題】洗車装置において主に水が用いられる洗浄液の噴出装置を、洗車能力を落とすことなく洗浄液の節約が可能となるように改良し、洗車等の洗浄に掛るコストを軽減できる経済的な洗浄用噴出具を開発して提供する。
【解決手段】水道水の入口部45と、入口部45に流入されてくる水道水を噴出させるノズル47と、入口部45とノズル47とを接続する液経路50におけるノズル47の近傍箇所である混合室49に、エアを供給可能なエア供給部52と濃縮液体洗剤を供給可能な洗剤供給部20とを配設し、エア活性水、エア洗剤水、及びエアの各噴出が可能なグリップガン構造の洗浄用噴出具を構成する。 (もっと読む)


【課題】洗車装置において主に水が用いられる洗浄液の噴出装置を、洗車能力を落とすことなく洗浄液の節約が可能となるように改良し、洗車等の洗浄に掛るコストを軽減できる経済的な洗浄用噴出装置を提供する。
【解決手段】第1供給ホース22を介して送られてくる洗剤水をグリップガン体19の単一の液移送路50に取込む第1流入状態と、第2供給ホース23を介して送られてくる水道水を液移送路50に取込む第2流入状態とを切換える切換弁21、及び液移送路50に流れてくる液体を噴出させるノズル47を備え、液移送路50におけるノズル47の近傍箇所49に高圧エアを混合させるエア供給部52が装備されて成る噴射ノズル装置。 (もっと読む)


【課題】従来の洗浄装置においては、処理対象物の表面に付着した熱溶融性の接着剤を適切に除去できない、という課題があった。
【解決手段】薄板状の処理対象物100の表面に付着した熱溶融性の接着剤101を除去する洗浄装置であって、処理対象物100の表面に、接着剤101を除去するための第一の流体を吹き付ける第一表面吹付け部121と、処理対象物100の裏面の、少なくとも外縁部を含む領域に、接着剤101の付着を防ぐための第二の流体を吹き付ける第一裏面吹付け部131と、第一表面吹付け部121が吹き付ける第一の流体を加熱する第一加熱部125とを具備するようにした。 (もっと読む)


【課題】ガス溶解水を用いて基板等を洗浄する場合の洗浄効率を向上させることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】ガスをガス溶解装置1で水中に溶解させ、ガス溶解水を殻体たる洗浄槽4に導入し、被洗浄物としての基板Sを洗浄する。ガス溶解装置1からのガス溶解水が配管2及び水圧調整弁3を介して洗浄槽4に導入される。水圧調整弁3で減圧されることにより、洗浄槽4内に導入されるガス溶解水中に微細気泡が多量に生じる。この微細気泡含有水によって基板が効率よく洗浄される。 (もっと読む)


【課題】タイヤ加硫モールド12の型付け面13に付着している汚れを効果的に除去する。
【解決手段】タイヤ加硫モールド12の型付け面13に 100度C以下の湿り飽和蒸気を接触させて汚れを膨潤させているが、このとき、タイヤ加硫モールド12が、カーボンブラックのみからなる充填材、または、少なくともシリカからなる充填材が配合されているゴム組成物を用いた未加硫タイヤを加硫するモールドであると、前者では汚れが比較的膨潤し易いため、型付け面13に湿り飽和蒸気を 100秒以上接触させ、後者では比較的膨潤し難いため、 240秒以上接触させる。 (もっと読む)


【課題】 手が届かない狭い隙間や狭い空間の奥に付着した汚れを洗浄することが出来るスプレーガンの提供。
【解決手段】 持ち手3の上端にはピストンポンプ2を設け、ピストンポンプ2はモータの駆動にて往復動するスライダー9にピストン8を連結し、該ピストン8はシリンダー5のシリンダー孔に収容されてスライダー9と共に前進後退動可能に構成され、そしてピストンポンプ2の稼動にて噴射ノズル1から洗浄液をタイミングよく噴射することが出来、ピストンポンプ2の先端にはフレキシブルな細長いチューブ4を連結し、該チューブ4の先端に噴射ノズル1を取付けた構造としている。 (もっと読む)


【課題】吐出むらを防止し易く、しかも組立性やメンテナンス性に優れたノズルを提供する。
【解決手段】スリットノズル20は、第1,第2の一対のパーツ32a,32bを、これらの対向面34a,34bの間に隙間を形成した状態で重ね合わせ、この隙間によりスリット状の吐出口Dとこれに通じる扁平は流路Fを形成した構成となっている。このノズル20の前記隙間は、第2パーツ32bの対向面34bに複数の突起33が設けられ、当該突起33が第1パーツ32aの対向面34aに当接する状態で両パーツ32a,32bが締結されることにより形成されている。 (もっと読む)


【課題】高圧水噴流でアスベスト剥離除去、洗浄、はつり、切削、切断、破砕、穿孔等の処理を行う際、従来のような煩雑な段取りなしに処理を簡単迅速に行え、使用水が周囲に飛散することなく、使用水をほぼ100%回収でき、漏水を確実に解消でき、比較的小型で簡易なノズル装置で水や処理物をほぼ完全に回収できる高圧水噴射装置・処理回収システムを提供する。
【解決手段】高圧水噴射装置は、ノズル10と、ケーシング11と、開口部12を回転変位させて高圧水噴流の通過と遮断を選択的に行う遮蔽板13と、遮蔽板の開口部12を通過位置と遮断位置に変位させるロータリーソレノイド14と、処理対象物までの距離を検出する超音波送受信器とからなり、処理対象物が無いことを検出すると、開口部を遮断位置に変位させてノズルからの高圧水噴流を遮断し、処理後のアスベスト等・使用水を液体サイクロンとターボ型ファンによる吸引回収装置に送り、アスベスト等を回収する。 (もっと読む)


【課題】清掃及び保守を考慮して改善されたブラシの利用を可能にすること。
【解決手段】本発明は、印刷シリンダー(2)の清掃装置(4)に関する。前記清掃装置は、前記印刷シリンダーの回転軸線に平行な回転軸線と、駆動シャフト(30)に取り付けられたブラシ組立体(28、28a〜d)とを有する回転式のブラシ(12)を含む。前記ブラシ組立体は、連続して配置された複数の筒状のブラシ部材(28a〜d)を有する。前記清掃装置は、洗浄液を分配させ及び(又は)放出するために使用される少なくとも1つの通路(38a、38b、40a、40b)を有する、前記駆動シャフトに平行な搬送部材(6)有する。前記搬送部材は、1つの部材であり、前記通路を有する押出し成形された断面を有する。 (もっと読む)


【課題】筐体間の隙間からの処理液流出を防止することができる処理液供給装置を提供する。
【解決手段】処理液供給ノズル1は、所定間隔の隙間2を隔てて上下に対向配置された上部筐体10および下部筐体20を備える。上部筐体10および下部筐体20のそれぞれの側壁面には処理液供給部12,22および処理液排出部15,25が付設されている。処理液供給部12,22が隙間2の一方側から処理液を供給して処理液排出部15,25が他方側から吸引することによって隙間2に処理液流が形成され、ガラス基板GSはその隙間2中を搬送される。下部筐体20の上面21には、ガラス基板GSの先端部が支持コロ50に接触して跳ね上がりが生じた場合であっても、隙間2の基板入口側に形成された処理液のメニスカスを維持できるようなピッチにて複数の支持コロ50が配列されている。 (もっと読む)


【課題】少ない洗浄液で効率よく被洗浄物を洗浄できる洗浄装置を提供する。
【解決手段】超音波が印加された洗浄液を洗浄ヘッド20から噴射してガラス基板Gを洗浄する場合において、洗浄ヘッド20を外部ヘッド24と内部ヘッド26とで構成する。洗浄液は、外部ヘッド20に形成された供給口28から供給され、外部ヘッド24と内部ヘッド26との間に形成される流路32を通って噴射口22から噴射される。外部ヘッド24を内部ヘッド26に対して前後移動させると、流路32の断面積が変化し、噴射口22から噴射される洗浄液の流量が調整される。これにより、ガラス基板Gのサイズや汚れの程度、求められる洗浄の程度に応じて適切な流量で洗浄液を噴射することができ、必要最小限の洗浄液でガラス基板Gを洗浄することができる。 (もっと読む)


【課題】適合する洗浄仕様が異なる被洗浄物の場合であっても流体噴出ノズルの交換作業を必要とせず1台のマシンで効率よく対応できるようにする。
【解決手段】洗浄流体噴出部412が、噴射特性の異なる高圧洗浄ノズル417aと2流体洗浄ノズル418aを備え、被洗浄物の種類に応じて高圧洗浄ノズル417aと2流体洗浄ノズル418aのいずれか一方を選択使用することで、適合する洗浄仕様(高圧洗浄仕様、2流体洗浄仕様)が異なる被洗浄物の場合であってもノズル交換作業を必要とせず1台のマシンで効率よく対応できるようにした。 (もっと読む)


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