【課題】処理する必要のない面に薬液が飛散することを防止でき、処理のスループットを向上させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを処理する基板処理装置であって、基板Ｗの周辺部に薬液を供給する薬液供給ノズル６１と、基板Ｗ上面に近接した位置と基板Ｗ上面から離れた位置との間で相対的に移動するトッププレート７２を備え、薬液供給ノズル６１を移動自在に構成したことを特徴とする。例えば処理中にトッププレート７２を基板Ｗ上面に近接した位置に移動して、処理する必要のない面を覆うようにすれば、処理する必要のない面に薬液が飛散することを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】ミストとなる洗浄液の利用効率を向上させることができる基板洗装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る基板洗浄装置は、基板１を載置するステージ１０と、ステージ１０に載置された基板１の上方に位置し、該基板１の上面全面を覆うカバー部材２０と、カバー部材２０に設けられ、ミスト化した洗浄液をガス中に分散させたミスト分散ガスを基板１に吐出する吐出口２２ａと、を具備し、吐出口２２ａからミスト分散ガスが吐出された状態において、カバー部材２０の下面と基板１の上面との間の空間１ａは、ミスト分散ガスで充填される。 （もっと読む）

【課題】化学的洗浄剤を使用することなく、短時間で高い洗浄効果を達成し、EGT、SFC及びCO_２を減少し得る洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】電解アルカリ水の蒸気をエンジンに吹き付けて汚れを浮かせた後、温水を吹き付けて該汚れを除去ずることによって、極めて短時間で高い洗浄効果を達成することができる。 （もっと読む）

【課題】被洗浄基板の超音波洗浄に用いられ、横長のシャワータイプの超音波洗浄用ノズルにおいて、洗浄時に、少量の洗浄液で、ノズル内部の気泡を速やかに抜き、均一に洗浄液を吐出できる超音波洗浄用ノズルを提供する。
【解決手段】基板の超音波洗浄に用い、少なくとも、内部に横長台形形状の噴射室を有し、一端にスリット状の吐出口が開口されたノズルボディと、振動子と、振動板とを具備し、前記ノズルボディは、噴射室に洗浄液を供給する導入通路と、導入通路と噴射室とを連通し、噴射室の側面に等間隔で複数形成され、断面が円形の整流通路とを有するものである超音波洗浄用ノズルであって、吐出口の横の長さ（Ｗ）と、整流通路の直径（ｄ）と、各整流通路同士の間隔（Ｌ）と、洗浄液の総流量（Ｑ）とから求められる整流通路内を流れる洗浄液の流速（ｖ）が、ｖ＝１００ＬＱ／（３πＷｄ^２）≧１．８ｍ／ｓｅｃを満足する超音波洗浄用ノズル。 （もっと読む）

【課題】処理液の液滴の飛散を抑制するとともに処理液を効率良く回収する。
【解決手段】基板処理装置１は、処理液の液滴をキャリアガスと共に基板９に向けて噴出する液滴噴出ノズル２、基板９の移動方向に関して液滴噴出ノズル２の両側に配置されるとともに液滴噴出ノズル２から基板９に噴射された処理液の液滴を周囲のガスと共に吸引する２つの処理液吸引ノズル３、および、液滴噴出ノズル２の下端部に形成された液滴噴出口２１よりも基板９側において基板９に沿って液滴噴出ノズル２の周囲に広がる平板状の遮蔽板４を備える。基板処理装置１では、液滴噴出ノズル２から噴出された処理液の液滴が、遮蔽板４と基板９との間の処理空間から外側に飛散することが抑制されるとともに処理液吸引ノズル３により、処理空間内の処理液の液滴を効率良く吸引して回収することができる。 （もっと読む）

【課題】 基板が大型化した場合でも、特別な駆動源を用いることなく、基板表面を満遍なく洗浄することが可能な処理液供給ノズルを提供する。
【解決手段】 下端部にスリット状吐出口１４が形成された処理液供給ノズル２において、この処理液供給ノズル２は２つの半体（２ａ，２ｂ）を接合することでスリット状吐出口１４に連通する処理液の供給路３が形成され、少なくとも一方の半体の突き合わせ面（２ａ）には供給路３を流下する処理液を左右に分配する凸部（８,９,１０）を設けて構成する。 （もっと読む）

【課題】処理液の液滴が基板上において所定の処理空間よりも外側に飛散することを防止する。
【解決手段】基板処理装置１は、処理液の液滴をキャリアガスと共に基板９に向けて噴出する液滴噴出ノズル２、基板９の移動方向の両側において液滴噴出ノズル２の液滴噴出口２１に平行に伸びる遮蔽ガス噴出口４１を有する遮蔽ガス噴出ノズル４、および、遮蔽ガス噴出ノズル４の液滴噴出ノズル２側に配置されて処理液の液滴を吸引する処理液吸引ノズル３を備える。基板処理装置１では、液滴噴出ノズル２からの処理液の液滴噴射領域が、基板９上において遮蔽ガス噴出ノズル４からの遮蔽ガスの噴流により囲まれているため、液滴噴出ノズル２から噴出された処理液の液滴が、基板９上において、遮蔽ガスの噴流に囲まれる処理空間よりも外側の領域に飛散することを防止することができる。また、使用済みの処理液を効率良く回収することができる。 （もっと読む）

本発明は、高圧スチームを利用した消毒装置及びその方法に係り、さらに具体的には、冷温水器の冷・温水移動経路、浄水器の浄水移動経路、飲料自動販売機の排出管及びクーラーの空気吸入部などに挿入されて高圧のスチームを噴射して消毒できる装置及びこれを利用した消毒方法に関する。このために、本発明の高圧スチームを利用した消毒装置は、高圧のスチームが選択的に噴射されるように調節する噴射部材と、噴射部材から噴射されたスチームが通過されるように中空部がその長手方向に貫通形成され、中空部にはスチームの通過によって回転する回転手段が設けられた回転部と、回転手段と結合されて回転手段と共に回転し、スチームを噴射する棒状のノズルを備えるノズル部と、を含む。 （もっと読む）

対象物に流体を噴射するための装置、例えば自動車の窓に洗浄流体を噴射するための装置が、流体管構成体に接続可能な保持体（１）と、ノズル体（１２）とによって構成される。ノズル体（１２）はシリンダ状に構成されて、保持体（１）の収容空間に嵌め込み可能であり、そこで回転可能に支承される。ノズル体（１２）をシリンダ軸を中心に回転することにより、ノズル体（１２）内に構成された吐出端部（１８）と、保持体（１）内に構成された吐出切欠部（７）とを通って噴射される流体噴射流または流体ファンの噴射角度を調整することができる。シリンダ状の構成によって長寿命が達成される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で吐出された洗浄液の跳ね返り高さを低く抑え、ホルダ上部への洗浄液の結晶析出を防止できるノズル洗浄装置を提供すること。
【解決手段】吐出ノズル３と吸引ノズル２とが隣接配置され、吐出ノズル３から洗浄槽４に洗浄液６を吐出し、吸引ノズル２が洗浄液６を吸引し、吸引ノズル２を洗浄するノズル洗浄装置１において、洗浄槽４の吸引ノズル２側に洗浄液６の排出部７を設け、洗浄液６の越流を排出部７に案内し、洗浄液６面で飛散した飛沫を排出部７に向かわせる。 （もっと読む）

【課題】スリット状の吐出口を有する吐出部を用いて円板状の基板の中央付近の多くの領域を均一に洗浄し、かつ、洗浄液の使用量を低減する。
【解決手段】基板洗浄装置１は、円板状の基板９を保持する保持部２、基板９を回転する回転機構３、吐出部４、および、吐出部４を走査方向に移動する走査機構５を備える。吐出部４はスリット状の吐出口４１を有し、洗浄液を基板９の主面上の直線状の吐出領域に吐出する。基板洗浄装置１では、基板９の回転を停止した状態で吐出領域を基板９の主面内で走査して洗浄する走査洗浄工程が、基板９を所定角度だけ回転させつつ繰り返し行われ、その後、吐出部４が基板９の外縁部に停止した状態で洗浄液を吐出しつつ基板９を回転させる回転洗浄工程が行われる。これにより、基板９の全体を洗浄しつつ中央付近を均一に洗浄し、かつ、洗浄液の使用量を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 高圧流体あるいは高圧流体と薬剤との混合物を処理流体として被処理体の表面に接触させて被処理体の表面に対して所定の表面処理を施すに際して、その表面処理の均一性およびスループットを向上させることができる高圧処理装置を提供する。
【解決手段】 圧力容器１の天壁１２ｂに開口された送出路１０１から基板Ｗの直径サイズ以上の長さを有する帯状の処理流体が、送出路１０１の長手方向に均一に基板Ｗの回転中心Ａ０を含みながら回転する基板Ｗの表面Ｓ１に対して垂直入射する。このため、基板表面Ｓ１の全体が該基板表面Ｓ１に対して垂直入射する処理流体によって洗浄処理される。 （もっと読む）

【課題】処理液のミストの拡散を抑制または防止して、基板処理品質を向上する。
【解決手段】基板Ｗはスピンチャック２１に保持されて回転される。基板Ｗの上方には、遮蔽板２２が配置されている。基板Ｗの側方は、スプラッシュガード２４によって取り囲まれている。このスプラッシュガード２４の開口部２４ａは、側方から挿し入れられた処理液ノズル６６を通すことができる閉塞時隙間Ｃ１をもって、遮蔽板２３によって遮蔽される。処理液ノズル６６からは、たとえば、ＳＰＭ液（硫酸過酸化水素水）が供給される。スプラッシュガード２４および処理カップ２２によって形成される処理容器２０の内部は、排液・排気管３４を介して排気されている。遮蔽板２３の遮蔽位置は、閉塞時隙間Ｃ１において処理液容器２０の内方に向かう所定の制御風速範囲の気流が生じるように定められている。 （もっと読む）

【課題】 小型で取り扱いやすく、しかもコストが安価でありながら、連続的に蒸気を発生させることができる蒸気発生装置を提供する。
【解決手段】 水を加熱して蒸気化する蒸気発生装置において、全体が金属材よりなる蒸気発生器本体１０と、蒸気発生器本体１０を加熱する加熱手段２０とを含み、蒸気発生器本体１０内に、所定容積の蒸発室１１と、蒸発室１１よりも小径であって給水ポンプから送水される水を蒸発室１１内に供給する給水孔１２と、蒸発室１１よりも小径であって蒸発室１１で生成された蒸気を外部に放出する蒸気噴射孔１３とを一体に形成する。 （もっと読む）

【課題】 被処理基板を挟持部材付近からの液跳ねを最少にして被処理基板の処理能力を上げると共に、高品質の処理ができる枚葉式基板処理装置を提供すること。
【解決手段】
枚葉式基板処理装置は、被処理基板を挟持する複数本のチャックピン１５が外周囲に所定間隔で配設された円盤状の回転テーブル３と、この回転テーブル３に挟持された被処理基板Ｗを覆う回り込み防止部材１６と、回転テーブル３に連結されてこのテーブルを回転させる駆動回動機構４と、被処理基板に処理液を供給する処理液供給管６とを備えている。
チャックピン１５は、被処理基板Ｗを挟持するクランプ部１５ｂと、このクランプ部１５ｂの頂部から延びた円錐状に尖った針状部１５ｃとで形成されている。 （もっと読む）

【課題】
良好な洗浄を行うことができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる洗浄装置は、基板を洗浄する基板洗浄装置１００であって、ミストを生成する噴霧器１０８が配置されたミスト発生室１０１と、ミスト発生室１０１とは別に設けられ、ミストを基板１０７の表面に付着させるミスト付着室１０２と、ミストを付着させた基板１０７を洗浄液により超音波洗浄する超音波洗浄室１０３とを備え、噴霧器１０８の噴霧口１１１はミスト発生室１０１内の底壁に向かって配置され、噴霧口１１１から底壁に対して洗浄液を噴霧し飛散させることによりミストを発生させるものである。 （もっと読む）

【課題】ノズル本体から噴射されるメインジェットを衝突ジェットで乱して噴霧化させるための手段が一体成形されたノズル本体およびワンピース一体構造のノズル本体を製造するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】一体形成されたワンピース構造のノズル本体であって、協働して所定のジオメトリ構造の流体のジェットを生成する第１の流路（３６ａ）、関連する第２の流路（３６ｂ）、および噴射路構造を有する。このワンピース構造のノズル本体（３０）を製造するためのシステムおよび方法。 （もっと読む）

【課題】 自動車車体に吹き付けた洗浄泡を長時間留まらせて洗浄効果を高める。洗浄泡を、水道水の圧力だけで洗浄泡を離れた場所から自動車車体に吹き付けられるようにする。
【解決手段】 ジェットポンプ機構１の作動流体噴射ノズル２に水道水の入口を追加し、ジェットポンプ機構１のディフューザ３の他端に洗浄泡噴射口５１を追加し、ジェットポンプ機構１のチャンバー４に液体洗剤吸込口６１と空気吸入口７とを追加する。洗浄泡噴射口５１を形成している噴射筒５の内部に、水道水と液体洗剤と気泡との混合流体を通過させてその気泡を細分化するための有孔部材５２が配備する。液体洗剤吸込口６１に、洗剤容器８の洗剤吸上げチューブ８１を連設する。 （もっと読む）

【課題】 ウォータマークの発生や帯電現象を低減し、さらに引火の可能性も低減できるようにした基板の乾燥方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】 純水処理後のウエーハＷを枚葉式で乾燥させる方法であって、霧状のＩＰＡをＮ_２に乗せてウエーハＷ表面に向けて噴霧すると共に、ＩＰＡが付着したウエーハＷを回転させて、ＩＰＡを発散させる。水分を速やかに取り除くことができ、ウォータマークの発生を防ぐことが可能である。また、ウエーハＷを高速で回転させる必要がなく、それゆえ、ウエーハＷの空気との摩擦による帯電現象を低減することが可能である。さらに、従来例と比べて、ＩＰＡを加熱する必要がないので、引火の可能性がよりいっそう低い。 （もっと読む）

【課題】 被洗浄対象面を確実に液体に浸して洗浄効果の高い洗浄を可能とし、周囲への漏水を最小限とする洗浄装置を提供する。
【解決手段】 第１の底部体１１０ａの被洗浄対象面側に第１の突起体１２０a、１２０bを設け、第１の底部体に隣接した第２の底部体２１０ａの被洗浄対象面側に第２の突起体２２０を設け、第１の突起体の先端部と被洗浄対象面との間に液体保持空間１３０ａ、１３０ｂを形成し、第１の底部体１１０ａに設けた第１の振動子１１１の振動を伝達体１２１ａ、１２１ｂにより液体保持空間１３０ａ、１３０ｂ内の液体に伝達すると共に、第２の底部体２１０ａに設けた第２の振動子２１１により、第１の振動子とは異なる振動数の振動を第２の突起体に伝達し、前記液体保持空間と第２の突起体を被洗浄対象面に当接して被洗浄対象面を洗浄するようにした。 （もっと読む）