【課題】 設備費用、環境負荷などを低減することができ、被洗浄物の電気的特性が限定されず、被洗浄物に付着する汚染物を剥離除去する能力の高いウェット処理装置を提供する。
【解決手段】 基板４の上方に、基板４の被洗浄面４ａを臨むように配置され、被洗浄面４ａに洗浄液５を供給するノズル２と、基板４を載置して搬送する基板搬送手段とを含むウェット処理装置において、ノズル２がノズル容器１０とノズル壁体１１とからなり、スリット状開口部１３を有し、スリット状開口部１３に隣接するノズル容器内壁１０ａには電極１６が配置され、電極１６に電源２０から電圧を印加することによって純水を電気分解してラジカルなどの活性種を発生させ、該活性種を含む純水を洗浄液５として被洗浄面４ａに吐出する。 （もっと読む）

【課題】 炭化ケイ素焼結体の表面のマイクロポアに存在する粒子を除去することができる炭化ケイ素焼結体の洗浄方法を提供する。
【解決手段】 ６００℃以上の加熱雰囲気を形成する工程と、上記加熱雰囲気内に炭化ケイ素焼結体を挿入し０．５時間以上ウェハを加熱する工程と、上記加熱雰囲気から前記炭化ケイ素焼結体を取り出し冷却する工程と、上記加熱工程と前記冷却工程を交互に複数回繰り返す工程と、を有する炭化ケイ素焼結体の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】 薬液の使用を必要とせず、設備費用、環境負荷などが少なく、被洗浄物の電気的特性が限定されず、被洗浄物に付着する除去対象物質を除去する能力、すなわち洗浄性能および洗浄速度の高いウェット処理装置を提供する。
【解決手段】 洗浄活性種を含む洗浄液を基板４の被洗浄面４ａに吐出するノズル２と基板４を矢符２５の方向に搬送する搬送手段３とを含むウェット処理装置１において、純水受入れ口から供給される純水を電気分解して洗浄活性種を生成させる電界印加手段をノズル２内に設け、該電界印加手段により、陽極で生成する洗浄活性種を含む陽極洗浄液と、陰極で生成する洗浄活性種を含む陰極洗浄水とを調製し、ノズル２の下面に設けられる複数の開口部から別々に被洗浄面４ａに向けて吐出する。 （もっと読む）

【課題】 容器内壁全体に効率良く空気を噴射することが可能な流体噴射ノズル及びそれを用いた洗浄装置を提供する。
【解決手段】 流体供給部から供給される流体により先端部に湾曲運動を発生させ噴射口の位置と方向を変えながら流体を噴出する流体噴射ノズルであって、剛性を有する供給管と、供給管に接続され弾性を有する方向調整用チューブと、方向調整用チューブを曲げるためのアクチュエータと、方向調整用チューブに接続され方向調整用チューブよりも高い弾性を有する可撓性チューブとから構成される。 （もっと読む）

【課題】一方の主面がウェット洗浄に向かない基板の両側の主面を同時に洗浄する。
【解決手段】基板洗浄装置１は、基板９の外縁部を保持する円環状の基板保持部２、基板９の下面にドライ物理洗浄を行う第１洗浄機構３、および、基板９の上面に液体を用いるウェット洗浄を行う第２洗浄機構４を備える。第１洗浄機構３は、基板９の下面に向けて固形の二酸化炭素の微粒子を噴出する外部混合型の２流体ノズルである噴射ノズル３１を備える。第２洗浄機構４は、基板９の上面に洗浄液を供給する洗浄液供給部４２、洗浄液が供給された基板９の上面を洗浄する洗浄ブラシ４１を備える。基板洗浄装置１では、基板保持部２に保持された基板９の下面に対して第１洗浄機構３によりドライ物理洗浄が行われ、上面に対して第２洗浄機構４によりウェット洗浄が行われることにより、一方の主面がウェット洗浄に向かない基板の両側の主面を同時に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】 従来の超音波洗浄装置では、超音波と洗浄液又は流体ジェットによる洗浄であるので、微細な付着物の除去や汚物の除去が迅速に行われないという問題がある。
【解決手段】 被洗浄基板９に対してホーン１０が適宜傾斜されて装着され、ホーン１０の先端に柔軟性の材質からなる球面振動体１１が装着され、ホーン１０の先端と対向する背面に圧電体振動子１２が装着され、圧電体振動子１２には高周波発振器１３及び低周波発振器１４が接続され、ホーン１０の側部に注水ノズル１５が装着され、注水ノズル１５からの洗浄液は球面振動体１１に沿って流れるように噴射されている。 （もっと読む）

【課題】 液中噴射流を用いる装置において配管系の影響によることなく常に安定したキャビテーションの発生を可能とするキャビテーション安定器の提供。
【解決手段】 液中噴射ノズルと、該ノズルへ高圧液体を供給する配管先端との間に装着されるキャビテーション安定器であって、前記配管先端から供給される高圧液体を受け入れ、配管の開口に対して予め定められた絞り比で縮径した流路断面積の筒状ストレート通路を入口側に有すると共に、この筒状ストレート通路の出口に直線的に連通し、該筒状ストレート通路からの噴流を複数の平行な分流に分けて前記噴射ノズルの高圧液体流入口に送り込む複数の貫流通路を出口側に備えた。 （もっと読む）

本発明は、基板を次の工程によって処理するための方法に関する。処理すべき基板の局所的な表面領域に液体膜を、少なくとも１つの長尺のノズル装置及び該ノズル装置に隣接して配置された超音波変換装置若しくはメガ音波変換装置を備えたノズルユニットによって形成し、前記超音波変換装置の少なくとも一部分を前記液体膜と接触させ、かつ前記超音波変換装置によって超音波を前記液体膜内に作用させる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で小型、軽量で設置自在性に優れ、酵素水を適温に加熱することができ、酵素の働きを十分に利用して食品の加工場や厨房等の床面に付着した油脂分や有機物を短時間で分解できると共に、酵素水を適度な圧力で放水することにより、床面を満遍なく効率的に洗浄して付着物を除去することができ汎用性、洗浄作業性、信頼性に優れる洗浄装置の提供。
【解決手段】酵素水が収容される貯留タンクと、貯留タンクに連設され酵素水を加熱する加熱部と、貯留タンクに連設されたポンプと、ポンプに接続され酵素水を放水する放水部と、ポンプ又は放水部に配設され酵素水の放水圧力を調整する圧力調整部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】排出流れを流体液滴の発振する噴霧の形態にて発生させるべく低温度にて使用するのに適した流体発振装置２は、加圧した流体の入口１２と、加圧した流体の動きを加速する形態とされた１対のパワーノズル１４と、加圧した流体がその入口１２とパワーノズル１４との間を流れるのを許容する流体経路１０と、ノズル１４に取り付けられ且つ、ノズルからの流れを受け取る相互作用室１８と、噴霧が相互作用室１８から排出されるときに通る流体出口２０と、パワーノズル１４からの流れの不安定性を増大させる手段とを有している。第一の好ましい実施の形態において、上記手段は、流体経路１０の各側部から内方に伸びる突出部４を備えている。第二の好ましい実施の形態において、上記手段は、相互作用室１８の床の高さに対するパワーノズル１４の床の高さの位置に段部２４を備えている。
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【課題】 超音波を用いることなく、高粘度流体の吸い込みも容易で、残渣の取り残しをなくした洗浄ノズルを備えたウェット処理装置を提供する。
【解決手段】 被洗浄物８の表面に近接して配設され、外部から供給される洗浄用流体９を被洗浄物８の表面に帯状に吐出するためのスリット状の吐出口１０を有する供給口２と、吐出口１０から吐出された洗浄用流体９を排出する排出口３を有する洗浄ユニット１１を備え、吐出口１０の断面積が外部から供給される洗浄用流体９の供給口受け口部の開口断面積に対し、洗浄用流体９を被洗浄物８の表面に向けて吐出するための先端部が１を越える正数分の１倍の開口断面積を有してなる洗浄ユニットを被洗浄物８の移動方向に対して直交する方向に配置した。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、ＣＯ２スノー及び圧縮空気を所定の方向に噴出するためのノズル１に関する。
【解決手段】
該ノズル１の中央領域５には、ＣＯ２スノーからなるコアジェット２を超音速で生成できる第１排出口６が備えられる。中央領域５は、該第１排出口６の周りに配置された複数個の第２排出口８を備えた周辺領域７によって取り囲まれ、該第２排出口８は、空気、好ましくは圧縮空気からなり、コアジェット２を取り囲むマントルジェット３を、コアジェット２の流れより低速で生成するように構成される。マントルジェット３はコアジェット２と同じ方向に移動する。本発明はまた、コーティングすべき部品をＣＯ２スノーで処理、特に、洗浄する方法に関する。該方法においては、コアジェット２が、２００ｍ／ｓより速い速度で、マントルジェット３とともに、部品上に所定の方向で噴出される。マントルジェット３は、コアジェット２より遅い速度で移動する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板、シリコン基板などの洗浄において、基板の大型化および洗浄力の向上にも対応でき、サブミクロンサイズのパーティクルの除去、メンテナンスなどが容易な基板洗浄用ノズルを提供する。
【解決手段】 ノズル本体２、微小孔部材３、シール材４、ノズルカバー５およびノズル蓋６を含む基板洗浄用ノズル１であって、前記各部材を独立の部材として構成し、特に微小孔部材３をノズル本体２と別部材とし、微小孔部材３をノズル本体２、シール材４およびノズルカバー５の３部材で保持することにより、ノズルの長手方向における位置に関係なく、ほぼ一定の洗浄液噴射量が得られ、基板が大型であっても均一な洗浄が可能になり、パーティクルも容易に除去できる。また、各部材が独立部材であるので、メンテナンスも容易である。 （もっと読む）

【課題】 内部に超音波放射面を有するノズルから液体を流出させて被洗浄部位と接触させることで超音波の伝播路を形成し、生体などの前記被洗浄部位を超音波振動で洗浄するようにしたノズルシャワー式の超音波洗浄装置において、洗浄効率を向上する。
【解決手段】 ノズル３の吐出口１２に、内方に折返えした端板１３を設けるとともに、超音波洗浄モードで洗浄を行うにあたって、該超音波洗浄モードよりも液体の吐出量を抑える液溜めモードを設定し、駆動回路６はそのように流量を制御する。したがって、前記液溜めモードによる流量の抑制と、前記折返えし部とによって、液体は貯留空間１１内に貯留され、一杯になると前記吐出口１２から噴出する。これによって、超音波洗浄モードで洗浄を行うにあたって、超音波の伝播路から、該超音波の減衰原因となる気泡を排除し、前記被洗浄部位を効率良く洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】 内部に超音波放射面を有するノズルから液体を流出させて被洗浄部位と接触させることで超音波の伝播路を形成し、前記被洗浄部位を超音波振動で洗浄するようにしたノズルシャワー式の超音波洗浄装置において、あらゆる汚れに対応できるようにする。
【解決手段】 超音波伝達体５および超音波振動子４の中心部に管路２３を形成し、該管路２３を経て超音波放射面５ａの中心部から液体を吐出するようにし、駆動回路６は、超音波洗浄モードよりも多くの流量によって前記被洗浄部位を洗浄する高圧洗浄モードでの洗浄を可能にする。したがって、超音波洗浄モードで歯垢や皮脂等の強固に付着している汚れを除去（剥離）し、高圧洗浄モードで、前記超音波洗浄モードで剥がし取られた汚れや、食物残渣等を流し飛ばし、１台であらゆる汚れに効果的な洗浄を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 汚れの落ちにくい箇所の汚れを良く落とし、且つ十分な抗菌力を与えることのできる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】 超音波洗浄装置１は、筐体１１の中に超音波振動ホーン２１を有する。超音波振動ホーン２１のヘッド部２２は筐体１１の開口部１４から露出し、ここに被洗浄物が押し付けられる。ヘッド部２２には給水部２６より水を供給する。この水の中に、イオン溶出ユニット３０が金属イオンを溶出させる。イオン溶出ユニット３０は、銀、銅、亜鉛などの金属からなる電極３４、３５に電圧を印加して、抗菌作用を有する金属イオンを溶出させるものである。超音波洗浄装置１はベース１２により任意位置に取り付けられる。 （もっと読む）

本発明は、ノズル管（１）を有し、その排出口側端部には噴射ノズル（２）があり、高圧位置と低圧位置との間で切替機構により切り替え可能な洗浄機に関する。洗浄機自体の操作機能の手動による切り替えを要求せずに、この洗浄機を用いて泡の吹きつけと高圧洗浄とを共に行うことを可能とするため、ノズル管（１）は、空気取入口（３）を有し、バルブ（４）により閉鎖可能であり、バルブ機能は、噴射ノズルの切替機能に連結し、噴射ノズル（２）が、その低圧位置からその高圧位置へと切り替えられると空気取入口（３）を閉じる。
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【課題】 洗剤を用いることなく被洗浄体の洗浄を行うことができる洗浄装置及び同装置に使用するバブル発生ノズルを提供する。
【解決手段】 水を貯留するための容器３と、水内に空気を溶解した溶解水を製造するための溶解水製造手段２７と、溶解水の供給を受けて前記容器３内にマイクロバブルを発生するためのバブル発生ノズル５とを備えた構成である。バブル発生ノズルは、容器３への取付部を備えたノズル本体３３内に溶解水製造手段２７に接続するための接続部５７を備えた中空パイプ４７を設け、この中空パイプ４７内に備えたオリフィス６３と圧力解放室５３を設け、この圧力解放室５３内に発生した気泡を微細化するための微細目の網部材６５を設け、前記中空パイプ４７の周壁に設けた小径の連通孔５５に連通した撹拌室３９を、ノズル本体３３の内周面と中空パイプ４７の外周面との間に備え、この撹拌室３９と容器３内とを連通した小孔４３を、ノズル本体３３の取付部付近に備えた構成である。 （もっと読む）

【課題】高い洗浄効率を有し、取扱性に優れた流体噴射反力回転式洗浄装置を提供する。
【解決手段】流体噴射反力回転式洗浄装置１０は、流体を噴射する複数の噴射ノズル１１を有する回転体１２と、配管１００に接続・支持されるとともに回転体１２を回転自在に支持する基軸体１３とを有する。基軸体１３の外周部と回転体１２の内周部の間に形成された内室に流体を供給し、内室に連通する回転体の流体給送路へ半径方向に流体を圧送する。噴射ノズル１１から噴射する流体の反力によって回転体１２が回転する。 （もっと読む）

【課題】ワークの各面に対して洗浄液の高速噴射がなされ、以て、切粉等の除去のための洗浄を十分且つ効率よく行なうことができる機械部品等洗浄装置を提供することを課題とする。
【解決手段】底部に複数の高速噴射ノズルを備えた洗浄槽１と、ロボットハンド先端にワーククランパー４を備えていて前記ワーククランパー４が前記洗浄槽１内に臨む多軸ロボット３とから成る。好ましくは、前記洗浄槽１の一側面側に設置されるワーク供給部６と、前記洗浄槽１の他側面側に設置されるワーク排出部７とを更に備え、前記洗浄槽１内に、ワーク位置決め用コンベアリフトユニット１０が設置され、前記多軸ロボット３は６軸ロボットとされ、また、前記洗浄槽１に切粉回収装置２が連設される。 （もっと読む）