【課題】外径が異なるチューブバンドルであっても、十分に洗浄することができるチューブバンドル洗浄装置を提供する。
【解決手段】チューブバンドルＴの長手方向に延在するようにガイドレール１が配置されている。アーム支持体１０の盤体１１の下面から、チューブバンドルＴの一方の側面側に第１のアーム２０が延設されると共に、チューブバンドルＴの他方の側面側に第２のアーム２０Ａが延設されている。ノズル３５から高圧水を噴射させ、アーム支持体１０をガイドレール１に沿ってチューブバンドルＴの他端側まで移動させる。次に、ベース３０の位置をピッチＰの２倍（２Ｐ）分だけアーム２０，２０Ａに沿って移動させて固定した後、アーム支持体１０を上記と同様に移動させる。これを繰り返すことにより、チューブバンドルＴのすべてのチューブｔの外面が洗浄される。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄に好適な洗浄ノズル及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】内部が洗浄水の圧送通路２０とされ、圧送通路２０の基端部１０ａ側から圧送する洗浄水にキャビテーション気泡を発生させて先端開口部１０ｂから噴出させる洗浄ノズル８であって、圧送通路内には、軸線方向に直交する方向に隣接配置された第１及び第２の絞り部材２１Ａ、２１Ｂを備え、第１の絞り部材２１Ａは、先端開口部側へ向けて圧送通路の断面積を漸次狭める第１の傾斜面２６Ａを有し、第２の絞り部材２１Ｂは、先端開口部側へ向けて圧送通路の断面積を漸次拡げる第２の傾斜面２６Ｂを有し、第１、第２の絞り部材は、第１、第２の傾斜面２６Ａ、２６Ｂがその中間部で交叉し、圧送通路が前記交叉する部分の上方において連通し、前記中間部の下流側には、洗浄水の圧送方向に突出し先端に向かって漸次縮径した外形を有する突起１００が備えられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】硫酸の温度の変更に容易に対応可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】この基板処理装置は、硫酸と過酸化水素水とを混合して生成したレジスト剥離液を基板Ｗの表面に供給する。この基板処理装置は、レジスト剥離液を基板に向けて吐出するノズル２と、ノズル２に向けて過酸化水素水を流通させる過酸化水素水供給路３０と、過酸化水素水供給路３０上においてノズル２までの流路長が異なる複数の混合位置ＭＰ１，ＭＰ２，ＭＰ３，ＭＰ４にそれぞれ接続された複数の硫酸供給路３１，３２，３３，３４と、硫酸供給源２５からの硫酸を前記複数の硫酸供給路から選択された硫酸供給路に導入する硫酸供給路選択ユニット３５とを含む。 （もっと読む）

【課題】ディスク駆動装置の清浄度を向上し、磁気ヘッドがトレースするときの磁気ヘッドと記録ディスクとの隙間を小さくした場合にＴＡ障害の発生率を低く保つことのできる技術を提供する。
【解決手段】ディスク駆動装置の製造方法において、組立工程では、クリーンルーム内で固定体に軸受ユニットと軸受ユニットによって固定体に対して回転自在に支持される回転体とを組み付けてサブアセンブリを組み立てる。洗浄工程では、サブアセンブリの固定体と回転体の少なくとも一方に洗浄液と第１気体との混合物を吹付けて洗浄する。密封工程では、サブアセンブリを密封部材により密封する。 （もっと読む）

【課題】内容物の安定かつ一定の噴出を実現するための噴出ノズル管の提供を図る。
【解決手段】熱可塑性を有する合成樹脂素材により製造されたノズル管本体１０からセンタリング機能を備える噴出ノズル管を製造すべく、ノズル管本体１０の長さ方向に複数の切り込み３１を入れてできた切片３２を加熱し若しくは折り返して夫々ノズル管本体１０の外径より外側に膨らんだ状態で冷却・固定化する工程からなる。かかる工程を経ることにより、ノズル管本体１０の外径より外側へ膨らんで噴出口１３のセンタリング位置決めを行うセンタリング機構が備えられた噴出ノズル管を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体封口用マスクを良好に洗浄することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る洗浄方法は、上面１ａから下面１ｂにかけて厚さ方向Ｄ１に貫通している複数の貫通孔５を有するマスク１の洗浄方法であって、マスク１を厚さ方向Ｄ１に直交する搬送方向Ｄ２に搬送する工程と、搬送されるマスク１の上面１ａ及び下面１ｂに対し、厚さ方向Ｄ１に対して搬送方向Ｄ２の上流側に傾斜する方向Ｄ６に洗浄液３４を供給する洗浄工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】液処理の工程に応じて基板の上方における気流の状態を最適化可能な液処理装置、および液処理方法を提供すること。
【解決手段】基板Ｗを液処理する液処理装置１において、基板Ｗを水平に支持し、回転可能な支持部材１０と、支持部材１０の外周部１３との間に環状間隙ＧＰを形成する間隙形成部材２０と、基板Ｗに上方から処理液を供給する液供給部材３０と、環状間隙ＧＰを取り囲み、環状間隙ＧＰを介して、回転する基板Ｗから振り切られる処理液を回収するカップ４０と、間隙形成部材２０を昇降させる昇降機構１２２とを有する。 （もっと読む）

【課題】大面積の基板上のＣｕ膜若しくはＣｕ合金膜をウェットエッチングすることによって配線等とする際に、Ｃｕ膜にダメージを与えないように剥離し、なおかつ、Ｃｕ膜の上に堆積させる層との間の接着力を低下させないフォトレジストの剥離液を用いた剥離液リサイクルシステムを提供する。
【解決手段】主剤と極性溶媒と水からなる混合液およびレジスト成分からなる剥離液を繰り返し使用し、剥離液中のレジスト濃度が所定の値に達したら、剥離液の一部を排出管から排出し、新たな剥離液の供給を受けるレジスト剥離装置と、廃液タンクと、廃液タンク中の剥離液を蒸留する蒸留再生装置と、前記分離液中の主剤と極性溶媒の組成比率を調べる成分検査装置と、分離液の主剤と極性溶媒および水の比率が予め決められた比率になるように不足分の主剤と極性溶媒および水を追加して、混合液を調製する調合装置と混合液を貯留する供給タンクを有する。 （もっと読む）

【課題】 基板の表裏両面を均一に処理することが可能な基板処理装置および基板処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 処理槽１１にエッチング液を貯留するエッチング液供給工程と、ガラス基板１００を搬送ローラ２１により搬送してエッチング液が貯留された処理槽１１内に進入させる基板搬入工程と、ガラス基板１００の下面からエッチング液を吐出することによりガラス基板１００を搬送ローラ２１より上方で、かつ、処理槽１１に貯留されたエッチング液の液面より下方の位置まで浮上させるエッチング液吐出工程と、エッチング液の吐出を停止してガラス基板１００を搬送ローラ２１と当接する位置まで下降させる基板下降工程と、処理槽２１に貯留されたエッチング液を排出するエッチング液排出工程と、ガラス基板１００を搬送ローラ２１により搬送して処理槽１１より退出させる基板搬出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 マスクブランク用基板の洗浄時に、ガラス基板内部に潜傷が発生することを抑制でき、しかも基板主表面に存在するパーティクルを確実に排除できるマスクブランク用基板等の基板の洗浄方法を提供する。
【解決手段】 液体中に配置された基板の少なくとも一つの表面に向かって、気泡又は洗浄用粒子を含む加圧した洗浄液体を噴射ノズルから噴射し、前記基板の少なくとも一つの表面を洗浄することを含むことを特徴とする、基板の洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】基板の表面にダメージを与えることなく良好に洗浄することができる基板洗浄ノズル及び基板洗浄装置並びに基板洗浄方法を提供すること。
【解決手段】本発明では、基板洗浄ノズル（３７）に設けた液層保持手段（３８）の液層保持口（４７）で洗浄液の液層（５３）を保持するとともに、前記基板洗浄ノズル（３７）に設けた基板加熱手段（３９）で基板（２）の表面を前記洗浄液の沸点以上に加熱し、前記基板洗浄ノズル（３７）を前記基板（２）の表面に近づけて、前記基板（２）の表面の熱で前記洗浄液の液層（５３）を沸騰させて前記基板（２）の表面と前記洗浄液の液層（５３）との間に前記洗浄液の蒸気の層を形成し、前記洗浄液の蒸気で前記基板（２）の表面を洗浄することにした。 （もっと読む）

【課題】高圧水の吐出圧の調整可能範囲の下限をより低く設定できるようにする。
【解決手段】この高圧洗浄機１０は、駆動源３２でポンプ４１を駆動し、供給される水をポンプ４１で加圧して高圧水を発生させる洗浄機本体１１と、洗浄機本体１１とホースを介して接続され、洗浄機本体１１から送られてくる高圧水を吐出する吐出装置２１と、駆動源３２の回転数を設定する設定部１５と、設定部１５によって設定された回転数となるように駆動源３２の駆動制御を行う制御部３５，３６と、を備えている。そして、制御部３５，３６は、駆動源３２の回転数を検出する回転数検出部３５と、回転数検出部３５で検出された駆動源３２の回転数を取得するとともに、設定部１５で設定された回転数を駆動源３２が維持するように駆動源３２に対して駆動制御信号を発信する制御回路３６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】洗浄処理において、基板への不必要なダメージや回路パターン倒れを防ぎつつ、特定箇所の異物を除去できる洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】洗浄処理に用いるための処理流体を基板５に噴出する処理流体ノズル７と、基板５から処理流体を回収する回収装置８とを具備している。基板５を処理流体ノズル７からの処理流体により局所的に洗浄処理することができるため、基板５に対して不必要なダメージ、回路パターン倒れを防ぎつつ、特定箇所の異物を除去できる。 （もっと読む）

【課題】金属膜が形成された基板においてパターンの倒壊を抑制すること。
【解決手段】水を含むリンス液が、金属膜が形成された基板に供給される（Ｓ２）。その後、水酸基を含まない第１溶剤が、基板に供給されることにより、基板に保持されている液体が第１溶剤に置換される（Ｓ４、Ｓ５）。その後、水酸基を含まない第２溶剤を含み金属を疎水化する疎水化剤が、基板に供給されることにより、基板に保持されている液体が疎水化剤に置換される（Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】洗浄液を少量に抑えながら簡便に基板を洗浄する技術を提供すること。
【解決手段】水平姿勢にて水平に移動している基板Ｇの上面に洗浄ノズル２より洗浄液Ａを供給した後、その基板Ｇを、基板Ｇの移動路における洗浄ノズル２の下流側に設けられた磁場形成部材３、４の間を通過させる。このとき、基板Ｇの表面上に供給された洗浄液Ａは、反磁性であるため、磁場形成部材３、４の間に形成された強力な磁場の作用により通過を阻止される。これにより基板Ｇの表面上の液切りを行って洗浄液Ａを除去するようにしている。 （もっと読む）

【課題】洗浄水の使用量を削減及び調整する。
【解決手段】基板洗浄装置Ａは、プリント基板Ｐを収容する洗浄槽１と、圧縮空気を吐出するコンプレッサ１０と、洗浄槽１内に設けら、コンプレッサ１０から吐出された圧縮空気を噴射する予備洗浄ノズル６と、洗浄水を貯留する洗浄水タンクと洗浄槽１内に設けられた噴霧管とを有し、噴霧管の一方の先端が予備洗浄ノズル６の先端に近接するとともに、他方の先端が洗浄水に浸かっている霧発生機構７とを具備し、洗浄水が噴霧管の一方の先端からプリント基板Ｐに噴霧され、予備洗浄ノズル６の先端と、噴霧管の一方の先端との距離及び角度が可変であり、予備洗浄ノズル６から圧縮空気が噴射されると、噴霧管の他方の先端から洗浄水が吸い上げられ、噴霧管の一方の先端から洗浄水がプリント基板Ｐに噴霧される。 （もっと読む）

【課題】除去性能を高めた空調用フィルタの洗浄を効率的に行う。
【解決手段】ローラコンベア９とローラコンベア９で搬送されるフィルタ２に洗浄液を散布する洗浄液散布ノズル５０ａ〜５０ｆと、フィルタ２に高圧ガスを噴射する高圧ガス噴射ノズル６０ａ〜６０ｃと、散布された洗浄液１７ａ〜１７ｃを回収する回収タンク７２ａ〜７２ｃと、洗浄液を洗浄液散布ノズル５０ａ〜５０ｆに循環させる循環系統と、を含む各洗浄ステージ４ａ〜４ｃを含み、精密洗浄ステージ４ｃは、未使用洗浄液噴霧ノズル５０ｇが配置され、精密洗浄ステージ４ｃ、粗洗浄ステージ４ｂは各回収タンク７２ｃ，７２ｂからフィルタ搬送方向上流側の各回収タンク７２ｂ，７２ａに洗浄液を順次移送する移送系統を備え、予備洗浄ステージ４ａは回収タンク７２ａの洗浄液９０ａを外部に排水する排水ポンプ７７ａを備える。 （もっと読む）

【課題】所望の微細な気泡を液体に内包させることのできる微細気泡発生機構を提供する。
【解決手段】液体Ｌと気体Ｇとを混合する気液混合通路１１と、この気液混合通路１１へ液体Ｌを導入する液体導入通路１３と、気液混合通路１１からの気液混合体Ｍを導出する気液混合体導出通路１５と、気液混合通路１１へ気体Ｇを導入する気体導入通路１７と、気液混合通路１１よりも下流に設けられ、気液混合体Ｍの流量と、気液混合体Ｍ内の気泡の直径とを調整する流量および気泡径調整部材２１とを備え、液体導入通路１３は、気液混合通路１１へ向かうにしたがって断面積が徐々に小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】トンネル式洗浄機において、流体排気通路で洗浄機の各チャンバからの均等な蒸気排気を容易にし、各チャンバからの熱損失を最小限にするため最適化される。
【解決手段】トンネル式洗浄機には、トンネル式洗浄機のチャンバを分離する間隔を保つ二重壁カーテンが含まれ、チャンバ間およびトンネル式洗浄機外への流体および熱移動が防止される。二重壁カーテンにはトンネル式洗浄機の操作の間にカーテンが互いに粘着することを抑制する表面が含まれる。またトンネル式洗浄機には種々の寸法の物品に対し乾燥効率を均等にする空気マニホールドが含まれる。 （もっと読む）

【課題】簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができる電子部品実装設備用の洗浄ツールおよび洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】部品実装装置に用いられる吸着ノズル１０などを洗浄する電子部品実装設備用の洗浄ツール２０を、作業者が把持して操作可能な本体部２１と、本体部２１の先端に設けられ２流体３１が噴射される噴射ノズル２５と、本体部２１に接続され噴射ノズル２５と切替バルブ２６を介して接続された液体タンク２８とを備え、洗浄水３０の粒子３０ａを圧縮空気２３ａに混合した２流体３１を被洗浄物である吸着ノズル１０に対して噴射する構成とする。これにより、簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができる。 （もっと読む）