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Fターム[3B201BB32]の内容

液体又は蒸気による洗浄 (28,239) | 流体的清浄手段 (13,243) | 噴射、泡、スプレー (3,939) | ノズルの構造 (973)

Fターム[3B201BB32]の下位に属するFターム

多孔 (254)
圧力調節 (116)
混合 (270)

Fターム[3B201BB32]に分類される特許

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【課題】基板を洗浄する回転ブラシに、汚染粒子が静電吸着されることを防止することができる基板洗浄装置、基板洗浄方法、表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板洗浄装置1は、基板9を搬送する搬送機構2と、基板9との摩擦によりマイナスに帯電する材料で形成され、基板9に接触して回転することにより基板9に付着している汚染粒子を除去する回転ブラシ3と、マイナスに帯電している微小気泡を含む洗浄液を回転ブラシ3に向けて供給する第1洗浄液供給部6と、を備える。 (もっと読む)


【課題】簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができる電子部品実装設備用の洗浄ツールおよび洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】部品実装装置に用いられる吸着ノズル10などを洗浄する電子部品実装設備用の洗浄ツール20を、作業者が把持して操作可能な本体部21と、本体部21の先端に設けられ2流体31が噴射される噴射ノズル25と、本体部21に接続され噴射ノズル25と切替バルブ26を介して接続された液体タンク28とを備え、洗浄水30の粒子30aを圧縮空気23aに混合した2流体31を被洗浄物である吸着ノズル10に対して噴射する構成とする。これにより、簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができる。 (もっと読む)


【課題】ワーク表面にシミやムラ等を形成させずに、ワーク表面の処理液をきれいに洗い落とす。
【解決手段】ワーク1の表面を処理する処理液が蓄えられる処理槽10と、表面に処理液が付いているワーク1を洗浄する洗浄液が蓄えられる洗浄槽20と、ワーク1を吊り下げ、処理槽10の上方と洗浄槽20の上方との間で移動すると共に、上下方向に移動するクレーン35を有している移動機構30と、クレーン35に設けられ、クレーン35から吊り下げられているワーク1に対して、洗浄液を噴射するノズル51と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】 ガラス・シリコン薄膜・フイルム等の大面積基板の薬液反応において、薬液との接液を面状態とし、さらに節液状態で行える超音波薬液反応装置を提供することにある。
【解決手段】 薬液供給口21,32より薬液60を上下薬液槽20,30に送り、上部薬液槽20の液吸引パイプ23からの流量バランスで、基板出入り口になる上下槽間の空隙部12に薬液60を保持する。薬液60には下部槽30より超音波定在波13が付加され、振動波の最大振幅位置と一致させた空隙レベルに基板50をローラー40で搬送し、キャビテーション効果で基板表裏の薬液反応を促進化させる。液吸引パイプ23の位置を振動波の最小振幅位置と一致させ液面レベルを反射面として機能させる。 (もっと読む)


【課題】水蒸気中の不純物を低減することで基板上の微粒子等を確実に除去すること。
【解決手段】純水PWを加熱沸騰させて水蒸気を発生させる石英ガラス製の水蒸気発生容器110と、水蒸気発生容器110に純水PWを供給する純水供給部400と、水蒸気発生容器110で発生した飽和水蒸気SVを加熱して過熱水蒸気HVを生成する石英ガラス製の過熱水蒸気生成容器150と、過熱水蒸気生成容器150で発生した過熱水蒸気HVを基板Wの表面に噴射させる基板処理装置300とを備えている。 (もっと読む)


【課題】液体噴射装置において、噴射ノズルの上下振り回動を反転させる反転システムを提供すること。
【解決手段】液体供給筒の先端回転筒に対する噴射ノズル(回転軸芯)の相対回転差で液体供給筒の垂直軸線に対し振り回動を行わせる液体噴射装置において、前記供給筒60内を軸方向に垂下し、駆動機構の駆動力を受けて回転する回転軸50を回転軸芯51とそれを内包する回転軸筒52とからなる二重回転軸とし、液体供給筒の先端回転筒62を回転させる第1伝達手段20に対し、噴射ノズル70を回転させる第2伝達手段30の相対回転差(相対回転角度差)をプラスとマイナスに切り替え、第1及び第2伝達手段の伝達する相対回転差をプラスとして噴出ノズルの傾斜角度(振り)が上昇方向とし、相対回転差をマイナスとして下降方向に切り替えるノズル反転システムである。 (もっと読む)


【課題】 気泡微細化に有利な高速流を大流量にて効果的に発生でき、ひいては気泡の微細化効果を劇的に向上させるとともに、マイクロバブル領域あるいはナノバブル領域の気泡の発生量を、従来達成し得なかったレベルにまで高めることができる気泡微小化ノズルを提供する。
【解決手段】 流れ方向下流側に下り勾配にて形成される流れガイド面22Gと、流れ方向上流側にて流路FP内面に対し流れガイド面22Gよりも急峻に立ち上がるように形成される流れ受け面22Aとを有する絞りギャップ材22Qを流路FP内に配置する。それら流れ受け面22Aと流れガイド面22Gとの交差位置に、流路FPの軸断面内周縁上の第一位置PPから該第一位置PPと異なる第二位置PSに向けて軸断面を横切るエッジ部22Eが形成され、該エッジ部22Eと流路FPの内面との間に絞りギャップ21Gがされる。 (もっと読む)


【課題】処理液を効率的に利用しつつ処理性能を向上させることのできる基板処理装置及び基板処理方法を提供することである。
【解決手段】
処理液を基板Pの表面に向けて吐出して基板Pの全幅にわたって処理液を吹付ける第1ノズルユニット10と、第1ノズルユニット10より基板Pの搬送方向の下流側に当該第1ノズルユニット10と向き合うように配置され、処理液を基板Pの表面に向けて吐出して当該基板の全幅にわたって処理液を吹付ける第2ノズルユニット20とを有し、相互に向き合う第1ノズルユニット10及び第2ノズルユニット20から吐出される処理液が基板Pの表面上でぶつかりあって基板Pの幅方向に延びる処理液の盛り上がり部分Mが形成されるように第1ノズルユニット10及び第2ノズルユニット20からの処理液の吐出方向が設定された構成となる。 (もっと読む)


【課題】液中洗浄と気中洗浄とを行うことができるタレット式洗浄装置を提供すること。
【解決手段】タレット式洗浄装置1は、クイル21に固定されたセンターポスト22と、センターポスト22に軸支されたタレットヘッド4と、ワークWを洗浄するための洗浄工具Tと、タレットヘッド4を旋回させるタレット駆動装置6と、タレットヘッド4が配置された洗浄室3と、洗浄液Cを貯溜する洗浄槽7と、ワークWを回動させる回動ユニット8と、洗浄液Cを供給する第1洗浄液供給流路14と、洗浄液Cを供給する第2洗浄液供給流路15と、第1洗浄液供給流路14及び第2洗浄液供給流路15に洗浄液Cを供給する洗浄液供給源16と、洗浄槽7内の洗浄液Cを排出する排出口7aと、を備えている。タレット式洗浄装置1は、選択された洗浄工具TからワークWに洗浄液Cを噴射することによって液中洗浄、半液中洗浄及び気中洗浄することが可能である。 (もっと読む)


【課題】構造物表面に固着したスケールにスケール除去液を所定時間接触させることができ、簡単に且つ安全にスケールを除去することができるスケール除去装置を提供する。
【解決手段】スケール除去液10を用いて、スケール200が固着した構造物表面106から検査対象となる部位のスケールを除去するスケール除去装置であって、スケール除去液10を収納する液容器4と、液容器内のスケール除去液が注入される液注入口23と、液注入口に設けられた液逆止弁24とを有し、一面側が開放したケース本体2と、ケース本体の開放した側の縁部に設けられ、密着性及び気密性を有するシール部3とを備え、シール部3が構造物表面106に当接されることにより構造物表面106とケース本体2との間に充填空間21が形成され、充填空間21にスケール除去液10が充填されることによりケース本体2が構造物表面106に吸着保持されるように構成した。 (もっと読む)


【課題】洗浄水の水流により微細な異物(埃)を効果的に除去することができる、フィルム洗浄装置を提供する。
【解決手段】1または2枚の供給部材と、前記供給部材に形成され供給部材に平行に走行するフィルムの表裏面の少なくとも一方の面に対して洗浄液を吹付ける洗浄液吐出口を備え、前記洗浄液吐出口を、走行するフィルムの面に対して複数方向の洗浄液の流れを形成するように構成した。前記洗浄液吐出口を、走行するフィルムに対してV字状に構成するのが好ましい。 (もっと読む)


【課題】被洗浄物の洗浄に好適な洗浄ノズル、洗浄装置、及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】内部が洗浄水の圧送通路20とされ、圧送通路20の基端部10a側から圧送する洗浄水にキャビテーション気泡を発生させて先端開口部10bから噴出させる洗浄ノズル8であって、圧送通路20内には、その軸線方向に直交する方向に隣接配置された第1及び第2の絞り部材21A、21Bを備え、第1の絞り部材21Aは、先端開口部10b側へ向けて圧送通路20の断面積を漸次狭める第1の傾斜面26Aを有し、第2の絞り部材21Bは、先端開口部10b側へ向けて圧送通路20の断面積を漸次拡げる第2の傾斜面26Bを有し、第1、第2の絞り部材21A、21Bは、その側方から視たときに、第1、第2の傾斜面26A、26Bがその中間部で交叉し、第1、第2の傾斜面上の圧送通路20が前記交叉する部分の上方において連通していることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ヘッドのノズル面に残留する微細液晶の効率的な除去を実現する。
【解決手段】本発明の処理液吐出装置では、ヘッドのノズル面を洗浄するヘッド洗浄ユニットにて、ヘッドのノズル面に残留する微細液晶を効率的に除去できるように、残留する液晶に気体を噴射してサクションノズル方向に押し出す噴射ノズルを1つ又は複数個設ける。更に、噴射ノズルとサクションノズルとの間隔を調節するための水平駆動部材や、噴射ノズルの吐出口の高さを調節するための昇降部材や、噴射ノズルの吐出口の噴射圧力を調節するためにの圧力調節手段を設ける。 (もっと読む)


【課題】超音波エネルギが調整可能な超音波洗浄ユニットを有する洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置は、被洗浄基板を回動させる保持台と、前記被洗浄基板表面に洗浄液を供給し、前記洗浄液の膜を形成する洗浄液ノズルと、前記洗浄液の膜中に超音波を照射する超音波照射ユニットと、を含み、前記超音波照射ユニットは、超音波発生源と、前記超音波発生源で発生された超音波エネルギを伝達する媒体と、前記洗浄液の膜中に挿入され、前記洗浄液の膜中に、前記媒体を伝達された超音波エネルギを放射する放射部材と、を含み、前記媒体は、前記超音波エネルギの伝搬経路に配置された一または複数の振動伝達ブロックよりなる超音波伝達部を含み、前記一または複数の振動伝達ブロックは、前記超音波エネルギの伝搬経路上に、保持手段により保持されて配置され、前記保持手段は、前記一又は複数の振動伝達ブロックの各々を、個別に着脱自在に保持し、前記超音波発生源と前記放射部材との間の距離が可変である。 (もっと読む)


【課題】液中に微細バブルを効率的に生成し、その微細バブルを含有する液体を被洗浄物の表面に良好な洗浄が期待できるように吹付けることのできる流体噴出ノズルを提供することである。
【解決手段】気体導入口164aと、気体噴出口164bの形成された気体噴出面163とを有するユニット本体160と、ユニット本体160に設けられ、液体が通る液体通路161aの形成された液体導入部161とを有し、ユニット本体160には、気体通路164と、液体導入部161の液体通路161aが結合するキャビティ162とが形成され、ユニット本体160の気体噴出面163は、気体噴出口164bの形成される面を底面部分163aとしたすり鉢状に形成され、ユニット本体160には、気体噴出面163のすり鉢状の周面部分163bで開口し、キャビティ162から続く複数のノズル孔165が形成された構成となる。 (もっと読む)


【課題】 水面下に超音波振動子を配置した水槽の水中へ被洗浄物を搬送コンベヤでもって連続的に又は間欠的に水平に搬出入できて効率的な洗浄が行え、しかも通過する開口部からの水槽の洗浄水の排出量を低く抑えて小型化する。
【解決手段】 側壁の左右に開口部2,3を設けた水槽1内に超音波振動子7を上下及び前後に対向するように設け、開口部2,3を介して被洗浄物を収容するネットトレー5fが通過するように搬送コンベヤ5を設け、各開口部に上下動するシャッター4と水吹出ノズル8を設け、水槽1の外側に未洗浄の洗浄物を収容したネットトレー5fを搬送コンベヤ5に取り付ける投入ステーション11と、水槽で洗浄したネットトレー5f及び被洗浄物にリンス液を吹付けその後空気を吹付けて乾燥させる仕上げステーション(乾燥室10)と、洗浄処理完了したネットトレー5fを搬送コンベヤ5から取り外す回収ステーション12とを設ける。 (もっと読む)


【課題】水道水等を貯留する貯水槽の広大な面積の垂直なコンクリート壁面に対して、ウォータージェットによる研掃を効率良く行えるようにする表面研掃処理装置を提供する。
【解決手段】表面研掃処理装置10は、ベースマシン14と、縦方向スライドガイド部16と、横方向スライドガイド部19と、ウォータージェット噴射ノズル11を備えるウォータージェット治具13とを含んで構成される。ベースマシン14は、基台部23と走行部22とからなる。縦方向スライドガイド部16は、基台部23上の支持架台21に固定される縦方向固定ガイド部17と、縦方向固定ガイド部17に沿って昇降可能な昇降ガイド部18とからなる。横方向スライドガイド部19は、ウォータージェット治具13の横巾の略3倍の長さを有し、昇降ガイド部18に沿って昇降可能である。ウォータージェット治具13は、横方向スライドガイド部19に沿って横方向に移動可能である。 (もっと読む)


【課題】洗浄力の低下が生じる頻度を少なくすることのできる洗浄機構を提供する。
【解決手段】流通管120から供給された流体を吐出する吐出部110を含む洗浄機構において、前記吐出部110から吐出される流体の吐出方向を周期的に変化させる流体素子10が前記吐出部110に設けられる。蛇口100には、流通管120から供給された水を吐出する吐出部110が設けられている。吐出部110内には、吐出される水の吐出方向を周期的に変化させる流体素子10が設けられている。 (もっと読む)


【課題】 配向度の高いニオブ酸バリウムビスマスカルシウム系のタングステンブロンズ構造金属酸化物の圧電材料、それを用いた圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】 そのための本発明は少なくともBa、Bi、Ca、Nbの金属元素を含み、前記金属元素がモル換算で以下の条件を満たすタングステンブロンズ構造金属酸化物を含有する圧電材料であって、前記圧電材料にWが含有されており、前記Wの含有量が前記タングステンブロンズ構造金属酸化物100重量部に対して金属換算で0.4重量部以上2.0重量部以下であり、前記タングステンブロンズ構造金属酸化物がc軸配向を有することを特徴とする圧電材料。Ba/Nb=aとしたときのaが:0.37≦a≦0.40、Bi/Nb=bとしたときのbが:0.02<b≦0.0650、Ca/Nb=cとしたときのcが:0.007<c≦0.10である。 (もっと読む)


【課題】微細バブルの洗浄に有効なより多くの性質を利用しつつ効果的な洗浄を可能にする洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】処理液をかけて被洗浄物を洗浄する洗浄方法であって、マイクロナノバブルやナノバブル等の比較的小さいサイズのバブルを含む第1処理液を前記被洗浄物にかける第1ステップ(S3)と、該第1ステップの後に、前記第1処理液に含まれるバブルより大きいサイズのマイクロバブル等のバブルを含む第2処理液を前記第1処理液が付着した状態の前記被洗浄物にかける第2ステップ(S4)とを有し、第1処理液での洗浄の後に、該第1処理液に含まれるバブルより大きいサイズのバブルを含む第2処理液での洗浄がなされるので、比較的小さいバブルの好ましい性質を利用した第1処理液による洗浄の後に、比較的大きいバブルの好ましい性質を利用した第2処理液による洗浄を行うことができるようになる。 (もっと読む)


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