【課題】カンバスの表面及びカンバス内部に付着した、タール、ピッチ等従来の洗浄方法では除去が困難な粘着性異物を低コストで効果的に洗浄除去すること。
【解決手段】幅方向に蒸気噴射用のスロットを持つスチームパイプのスロット面を走行するカンバスに密着させ、カンバスの内部で蒸気を爆発的に膨張させつつ貫通させる事により、粘着性のある異物をカンバス内部および表面より効果的に排出洗浄する。本発明装置は従来の装置に比べ構造も簡単で低コストで製作できる。又、製紙機械で使用する蒸気が利用出来る為、運転コストも大きく低減可能である。 （もっと読む）

【課題】プラスチックフィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れまでも連続的に除去することができるフィルムの洗浄装置を提供する。
【解決手段】１又は２枚の平部材５３と、この平部材５３に形成され、平部材５３に平行に走行するフィルム１２の表裏面の少なくとも一方の面側に対して洗浄液を吹き付ける洗浄液吐出口５２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板に所定温度に加熱された処理液を確実に供給することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】処理液が貯えられる貯液タンク３２と、貯液タンクに貯えられた処理液を基板に噴射するための上部ノズル体３１に給液管路３３を通じて供給する供給ポンプ３４と、給液管路に設けられ上部ノズル体に供給する処理液を所定温度に加熱する第１の加熱ヒータ３７と、上部ノズル体が基板の上面から外れた待機位置にあるときに供給ポンプによって上部ノズル体から噴射される処理液の温度を測定する温度センサ４３と、温度センサが測定した処理液の温度が所定温度であることを検出したときにその検出に基いて上部ノズル体を基板の上方に移動させて上記処理液を噴射させる制御装置を具備する。 （もっと読む）

【課題】レーザー彫刻方式にて表面が凹凸パターンに形成されたフレキシブル円筒状印刷版を簡便に洗浄する方法の提供。
【解決手段】樹脂硬化物層表面にレーザー彫刻方式にて凹凸パターンが形成された印刷層を含有するフレキシブル円筒状印刷版の洗浄方法であって、（１）該印刷版の内周面を少なくとも２つのローラーで保持する装着工程、（２）２つのローラーの間隔を離し、該印刷版にテンションをかけつつ回転させながら洗浄液により洗浄する洗浄工程、を含むフレキシブル円筒状印刷版の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】プラスチックフィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れまでも連続的に除去することができるフィルムの洗浄システムを提供する。
【解決手段】走行するフィルム１２に、洗浄液を用いて洗浄を行う洗浄部３６と、洗浄した前記走行するフィルムの乾燥を行う乾燥部３８と、を備え、洗浄部３６は、フィルム１２を走行させながら該フィルム表裏面の少なくとも一方の面側に洗浄液を供給することにより、少なくとも一方の面に沿った水流で洗浄する構造であるようにする。 （もっと読む）

【課題】超音波洗浄ヘッドと被洗浄基板との間に液膜を形成する際の使用液量を低減することが可能な超音波洗浄ヘッドを備える超音波洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】超音波を、供給される洗浄液に照射することで、被洗浄基板３０を洗浄する超音波洗浄装置１０において、被洗浄基板３０を垂直な姿勢で保持する基板保持手段３１と、洗浄液を供給する超音波洗浄ヘッド２０を備え、超音波洗浄ヘッド２０は、超音波を発生させる超音波振動子２１と、洗浄液を噴射する洗浄液供給ノズル２２と、洗浄液供給ノズル２２と被洗浄基板３０との間に超音波を伝播させるための液膜を形成するため液膜形成液を噴射する液膜形成用ノズル２３を備えることを特徴とする超音波洗浄装置１０である。 （もっと読む）

【課題】この発明は半導体ウエハの上面全体をエッチング液によって均一にエッチング処理することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を回転させながら処理液によって処理する処理装置であって、
半導体ウエハを保持して回転駆動される回転テーブル１６と、先端部に処理液を半導体ウエハに向けて噴射する上部ノズル体５１を有し、回転テーブルの上方で上部ノズル体が半導体ウエハを横切る方向に駆動されるアーム体５２と、ノズル体が半導体ウエハの周辺部から中心部に向かうときにアーム体の移動速度を次第に増加させ、中心部から周辺部に向かうときには揺動速度を次第に低下させるようアーム体の移動速度を制御する制御装置７を具備する。 （もっと読む）

【解決手段】基板の表面上に形成された金属ゲート構造の周囲からポストエッチング洗浄工程中にポリマ残渣を除去するためのシステム及び方法は、金属ゲート構造に及び除去されるべきポリマ残渣に関連する複数のプロセスパラメータを決定することを含む。１又は複数の製造層が、金属ゲート構造を画定し、プロセスパラメータは、これらの製造層の及びポリマ残渣の特性を定める。第１及び第２の洗浄化学剤が特定され、プロセスパラメータに基づいて、第１及び第２の洗浄化学剤に関連する複数の適用パラメータが定められる。ゲート構造の構造的完全性を維持しつつポリマ残渣を実質的に除去するために、第１及び第２の適用化学剤は、適用パラメータを使用して制御方式で順次適用される。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄面の大径化に容易に対応できる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る超音波洗浄装置は、伝搬液１５に超音波エネルギーを与える超音波振動子１３と、前記超音波振動子によって超音波エネルギーが与えられた伝搬液を流す超音波伝搬管１２と、前記超音波伝搬管の下方に配置された、被洗浄物２１を保持する保持機構と、前記保持機構によって保持された被洗浄物の洗浄面に洗浄液を供給する洗浄液供給機構と、を具備し、前記超音波伝搬管１２は、その側面が、前記洗浄液供給機構によって前記洗浄面に洗浄液を供給することで該洗浄面に形成される該洗浄液の液膜１９に接触するように配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】略漏斗状の石英部材の内側を一層確実に洗浄することができる石英部材の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】本発明の石英部材の洗浄方法は、第１開口部Ｓ１１及びその反対側に位置し且つ第１開口部Ｓ１１に連通する第２開口部Ｓ２１を有し、第２開口部Ｓ２１側に管状部Ｓ２を備えると共に第１開口部Ｓ１１側に第１開口部Ｓ１１の開口面積が第２開口部Ｓ２１の開口面積よりも大きくなるように膨らんだ膨出部Ｓ１を備える中空の石英部材Ｓを洗浄する洗浄方法であって、第１開口部Ｓ１１を下に向けた状態の石英部材Ｓに対して、第２開口部Ｓ２１を塞いだ状態で、石英部材Ｓの内側に第２開口部Ｓ２１を介して洗浄用液Ｒ３を噴射して、管状部Ｓ２の内側を洗浄する管状部内側洗浄工程を備える。 （もっと読む）

本発明は、最終すすぎゾーン（１８）を通って食器（６）を運ぶ運搬装置（４）を有するコンベヤー食器洗浄機（２）であって、前記運搬装置（４）は食器（６）を収容するための多数のコンパートメント（３８）を有するようなコンベヤー食器洗浄機（２）に関する。空のコンパートメント（３８）を検出するために食器センサ装置（４２）が提供される。コンベヤー食器洗浄機（２）の運転中における淡水、ケミカル、及びエネルギーの消費を低減可能にするため、本発明は、空のコンパートメント（３８）の検出に応じて、最終すすぎゾーン（１８）のスプレーノズル（２０、２２、２４）に供給される最終すすぎ液の単位時間当たり供給量を自動的に設定するように設計された制御装置（４４）を提供する。本発明は又、この種のコンベヤー食器洗浄機（２）を運転するする方法に関する。 （もっと読む）

エンクロージャの壁の内側の面に流体を噴霧するための装置。この装置は、流体用のリザーバと、流体がエンクロージャの壁の内側の面に噴霧されるノズルアセンブリと、リザーバおよびノズルと流体が連通した状態の流体導管と、ポンプアセンブリが作動したとき、リザーバから流体導管を通ってノズルへ流体を供給するためのポンプと、ポンプと電気的に繋がり、ポンプを作動および停止させるために、格納されたプログラムを実行するコントローラと、を含む。ノズルアセンブリは流路内の流体の向きを定めるノズルを含み、ノズルアセンブリは流路内の流体と接触し、その向きを変えるような大きさの一つまたは複数の偏向シールドをさらに含み、ノズルアセンブリはノズルをエンクロージャの壁の内側の面付近に取り付けるための取付け構造体をさらに含む。偏向シールドから出てくる流れは層流である。
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【課題】帯状鋼板等の帯状体の表面に存在する異物を洗浄する際に、洗浄不良や下流側への洗浄液の持ち込み、あるいはこれら両者に起因した押し込み疵の発生や溶接不良を、低コストで確実に事実上解消する。
【解決手段】異物が存在する帯状鋼板２２の表面に向けて、その幅方向を含むとともにその表面に直交する面内でこの表面に対して斜めに洗浄液２３を噴射することにより、帯状鋼板２２の表面に対して斜めに噴射された洗浄液２３が、表面に衝突して表面から離れる方向に反射した後に帯状鋼板２２から離れたまま帯状鋼板２２の幅方向の端部よりも外側へ飛散する際に、異物を飛散する洗浄液２２に随伴させることによって、異物を、帯状鋼板２２の幅方向の端部よりも外側へ飛散させて、帯状鋼板２２から異物を除去する。 （もっと読む）

【課題】彫刻欠陥、特にキャップの効果的な除去方法であって、彫刻エッジを損傷しない方法を提案する。
【解決手段】本発明は、フレキシブルキャリア上に堆積された金属膜からマスク投影レーザーアブレーション彫刻欠陥を除去する方法に関する。本発明によると、前記方法は、約１５００ＰＳＩから約３０００ＰＳＩの間で加圧された液体を前記欠陥上に噴霧することを含む。 （もっと読む）

本発明は、多様な用途として使用されうる噴射ノズルに係り、さらに詳細には、洗浄またはデバリングのために気体または液体を高圧で対象物の表面に噴射させるが、直線運動だけでも効率的に洗浄などを行うことができる噴射ノズルのための技術に関する。噴射ノズルには主な構成として、内部に空洞部が設けられて、供給される物質を複数の噴射孔を介して排出させる噴射ノズルにおいて、前記噴射孔は、噴射ノズルの先端部または外周面に形成されるが、曲率を有して空洞部から外部に向かって次第に断面積が広くなり、かつ曲がりつつ形成される。 （もっと読む）

【課題】トッププレートで基板の上方を覆う基板処理装置において、基板処理装置の小型化や処理能力の向上を図るとともに、基板を良好に処理できるようにすること。
【解決手段】本発明では、基板処理装置において、基板の下方に回動自在に配置され、前記基板を保持するターンテーブルと、前記ターンテーブルを回転させる回転駆動機構と、前記基板の上方に回動自在に配置され、前記基板の上方を覆うトッププレートと、前記ターンテーブルと前記トッププレートとの間に形成された処理流体流路に処理流体を供給する処理流体供給手段と、前記処理流体流路を挟んで前記ターンテーブル及び前記トッププレートそれぞれに非接触状態で引き合うように設けた磁石とを設けることにした。 （もっと読む）

【課題】クリーム半田が洗浄液を吸収して固化することによる洗浄不良を防止して、メタル版の印刷パターンを全体的に綺麗に洗浄可能なメタル版の洗浄方法を提供する。
【解決手段】印刷配線基板に対してクリーム半田を印刷するために用いたメタル版１の洗浄方法であって、メタル版１を水平方向に対して一定の角度を付けて支持した状態で、メタル版１に向けて噴射ノズル１４から水系の洗浄液を噴き付けながら、該噴射ノズル１４を水平方向に往復移動させて下側から順番にメタル版１を粗洗浄する。また、粗洗浄後、メタル版１に向けて噴射ノズル１４から洗浄液を噴き付けながら、該噴射ノズル１４を水平方向に往復移動させて上側から順番にメタル版１を仕上げ洗浄する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ビールサーバヘッドのビール流通路を洗浄する際に、同時にビールサーバヘッドのヘッド接続面側をも洗浄することができるビールサーバヘッドの洗浄システムを提供すること。
【解決手段】ビールサーバヘッドＢのヘッド接続面側を洗浄する洗浄システムＡであって、洗浄容器１０内の洗浄液を圧入するための圧入流路Ｐ１と、該圧入流路Ｐ１と連通し該圧入流路Ｐ１より狭く形成され洗浄液を噴射するための噴射流路Ｐ２と、該噴射流路Ｐ２を経て噴射された後の洗浄液を回収するための回収流路Ｐ３と、該回収流路Ｐ３により回収された洗浄液を洗浄容器外へ排出するための排出流路Ｐ４と、ビールサーバヘッドＢの洗浄システム。 （もっと読む）

【課題】オリフィスに設けた小孔が絞り部に相当し、ノズルを洗浄用に用い、特に湯水に洗浄剤を入れて湯水を循環させる場合には、湯水中に混入したゴミの除去が不十分であると、小孔にゴミが詰まり小孔を閉塞させ、１〜２個の小孔が閉塞されただけでも、充分にマイクロバブルを発生させることができなくなる、という従来の問題点に鑑み、たとえゴミが絞り部に詰まっても容易に除去することのできるマイクロバブル発生用ノズルを提供する。
【解決手段】ノズル本体１１の底部中央からノズル本体１１内に加圧された湯水を導入する入水口１０を設けると共に、周面に開口３１を備えた中子３をノズル本体１１内に挿入し、中子３の底部外周の角部３ａとノズル本体１１の底部内周の角部１１ａとの間に絞り部を形成させ、この絞り部を通過した湯水を中子３の周面の開口３１を通して中子３の内部３２内に導き、マイクロバブルが発生した湯水を外部へ吐出させる。 （もっと読む）

【課題】処理液の消費量を減らすことができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】処理液を用いて基板に対して液処理を施す複数の処理部２２−１乃至２２−６と、複数の処理部２２−１乃至２２−６に処理液を供給する複数の処理部２２−１乃至２２−６で共通の処理液供給管２１０と、複数の処理部２２−１乃至２２−６のうち、稼働する処理部の数に応じて、処理液供給管２１０中の処理液の流量を増加又は減少させるように制御する流量制御部２２０と、を具備する。 （もっと読む）