【課題】 洗剤を用いることなく被洗浄体の洗浄を行うことができる洗浄装置及び同装置に使用するバブル発生ノズルを提供する。
【解決手段】 水を貯留するための容器３と、水内に空気を溶解した溶解水を製造するための溶解水製造手段２７と、溶解水の供給を受けて前記容器３内にマイクロバブルを発生するためのバブル発生ノズル５とを備えた構成である。バブル発生ノズルは、容器３への取付部を備えたノズル本体３３内に溶解水製造手段２７に接続するための接続部５７を備えた中空パイプ４７を設け、この中空パイプ４７内に備えたオリフィス６３と圧力解放室５３を設け、この圧力解放室５３内に発生した気泡を微細化するための微細目の網部材６５を設け、前記中空パイプ４７の周壁に設けた小径の連通孔５５に連通した撹拌室３９を、ノズル本体３３の内周面と中空パイプ４７の外周面との間に備え、この撹拌室３９と容器３内とを連通した小孔４３を、ノズル本体３３の取付部付近に備えた構成である。 （もっと読む）

【課題】 リンス液によるリンス処理に伴うウォーターマークの発生を防止する。
【解決手段】 ミキシングユニット５２ｂ，７２ｂはそれぞれ塩酸供給源５２ａ，７２ａに接続されており、純水供給部２００から供給される純水に対して希塩酸を混合可能となっている。そして、混合させる希塩酸の流量を制御することで混合液のｐＨが５以下に調整される。ミキシングユニット５２ｂ，７２ｂとミキシングユニット５５，７７の間にはそれぞれ窒素溶解ユニット５８，７８が配設されており、混合液を窒素溶解ユニット５８，７８に送り込むことで窒素豊富な流体が生成される。ミキシングユニット５５，７７はそれぞれノズル６，２５に接続されており、ノズル６，２５からｐＨが５以下に低下した窒素豊富な流体がリンス液として基板Ｗに供給される。このため、基板ＷからのＳｉの溶出が低減され、リンス処理に伴うウォーターマークの発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】 環境に与える影響が小さく凹凸面の凹部に付着した汚れを低コストで除去することができる洗浄装置、洗浄方法及び鉄道車両用洗浄粒子を提供する。
【解決手段】 噴射装置７のノズル部７ｄから噴射水Ｆが噴射すると、この噴射水Ｆ中の洗浄粒子Ｃが車両２の外板３の凹凸面３ａに衝突する。このとき、洗浄粒子Ｃが凹凸面３ａの凹部に進入可能であり、かつ、凹部の表面と衝突可能であるため、噴射水Ｆの噴射圧が低圧であっても凹凸面３ａの凹部に簡単に進入して凹部の表面と衝突する。凹凸面３ａの凹部には鉄酸化物などの汚れＤが付着しているときには、この汚れＤに洗浄粒子Ｃが衝突してこの汚れＤにせん断力などの物理力が作用し汚れＤが凹部から除去される。その結果、洗浄粒子Ｃを外板３に高圧で噴射する必要がなくなり、車両２の隙間から車内や機器類に水が浸入するのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 焼き肉店や焼き鳥店などの焼き網に付着した焼き焦げなどを洗剤を使用することなく前処理して、短時間で効率よく焼き焦げを除去するための前処理装置の提供。
【解決手段】 洗浄水を入れる水槽部２を形成し、該水槽部２の側壁４の際に水槽部２内を照射する紫外線ランプ５を配設し、水槽部２の側壁４の際の紫外線ランプ５の内側領域に焼き網１６を配設して前処理するための前処理領域とし、この前処理領域の下部にオゾンを噴出するオゾン噴出器具６を配設し、水槽部２外の側部にオゾン発生装置２０を付設し、このオゾン発生装置２０からオゾン噴出器具６にオゾン含有の空気を供給する供給管７を配設した焼き網１６の焼き焦げ除去及び洗浄前処理装置１である。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の製造において、ウェハ表面に付着した異物を確実に除去でき、異物の再付着、配線の溶解等のない洗浄方法を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造における洗浄方法は、アルミ配線パターンの形成工程後に、アルミ配線パターンが形成された表面に対して、流体をノズル４から吐出させて行う洗浄を使用し、流体は、超純水、または、不活性ガスと超純水又は少なくとも超純水を含む液体とを混合した２流体である。 （もっと読む）

【課題】 洗浄時の洗浄液等の外部への飛散を防止して外部周辺機器類等が腐食するのを抑制すると共に、洗浄処理の効率の向上を図れるようにした洗浄処理方法及びその装置を提供すること。
【解決手段】 被洗浄体であるチャック３０と、洗浄液を噴射する２流体供給ノズル５０とを相対的にチャック３０の保持部材３１〜３３に沿って水平方向に移動して、保持部材を洗浄する洗浄処理方法において、２流体供給ノズルに対して少なくともチャックへの洗浄時の移動方向側に、保持部材が挿通可能な陽圧室４００を形成し、２流体供給ノズルから洗浄液を保持部材の保持溝３１ａに向かって噴射する間、陽圧室内に気体を噴射して陽圧室内を陽圧状態にして、洗浄液等の外部への飛散を抑制する。 （もっと読む）

【目的】 気液混合して噴射する場合、使用目的に応じ、都度、最適な状態に混合させる気液混合流噴射装置を提供する。
【構成】 種類の異なる複数の小流量の液体をポンプ１６で圧送し、それに大流量の圧縮空気を混合してノズル２０より噴射させる気液混合流噴射装置であって、前記ノズル２０近傍に液体の流量を調整するための流量調整バルブ１９を設け、前記ノズル２０と流量調整バルブ１９の間に大流量の圧縮空気搬送するための空気管路２４を設けた気液混合流噴射装置。 （もっと読む）

【課題】液体ＣＯ_２の消費量を抑えつつ基板を搬送しながら基板全体を均一に洗浄する。
【解決手段】基板洗浄装置１は、ローラ２１にて基板９を搬送方向２２に搬送する搬送機構２、洗浄部４、ＣＯ_２供給源６１およびＮ_２供給源６２を備える。洗浄部４は洗浄部カバー４１に覆われ、洗浄部カバー４１内には搬送方向２２に垂直な方向に２列に配列された複数のノズル４２が設けられる。ノズル４２の各列は搬送方向に垂直な方向に基板９全体に亘って揺動する。各ノズル４２はＣＯ_２供給源６１およびＮ_２供給源６２から液体ＣＯ_２およびＮ_２ガスが供給される二流体ノズルとなっており、これらの流体のノズル４２内の流路への供給量が他のノズルから独立して予め調整されている。各ノズル４２から液体ＣＯ_２とＮ_２ガスとが混合されつつ搬送途上の基板９に噴射されることにより、ＣＯ_２の消費量を抑えつつ基板９全体を均一に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】 野菜に付着する虫や異物汚れをきれいに洗い落とす。
【解決手段】 給水管１９によって洗浄槽１内に洗浄水を給水し、給水した洗浄水を上方開放口２１からオーバーフローさせると共に、噴射ノズル７によって洗浄槽１内へ空気と水を同時に噴射し、洗浄水に回転水流を与える一方、洗浄時に発生した比重の重いものを洗浄槽１の底部排水口１５に設けたストレーナ１７で集め、中間のものを捕集ネット５で集め、比重の軽いものを上方開放口２１からオーバーフローさせるようにする。 （もっと読む）

【課題】 高圧水を用いることなく、高圧水と同等の洗浄能力を有する洗浄装置及びその洗浄装置を組み込んだ切削装置を提供する。
【解決手段】 ダイシング装置等の切削装置にノズル手段を配設し、被加工物の切削時にこのノズル手段にエアー供給手段から２．７ｋｇｆ／ｃｍ² 以上のエアーを供給すると共に、洗浄水供給手段から市水程度の圧力の水を供給し、これらを合流させてノズル手段から洗浄水を噴射する。ノズル手段の絞り部の直径は０．５ｍｍ〜３．０ｍｍであり、好ましくは１．４ｍｍとする。ノズル手段は、被加工物が切削ブレードにより切削された領域を洗浄するように、ブレードカバーに隣接してブレードの回転中心近傍に配設し、洗浄水が被加工物に対して垂直に噴射されるようにする。 （もっと読む）