【課題】高い洗浄能力を維持し煩瑣な作業を伴うことなく、かつ、基板上に成膜されたトランジスタ素子等の静電破壊を引き起こすことなく効果的な洗浄処理を行うことができる基板洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】搬送される基板Ｗに対して水洗処理を行う直水洗室２０内に、２流体スプレーノズル２４と、２流体スプレーノズル２４の基板搬送方向上流側および下流側にそれぞれ配設されるスプレーノズル３６、３８とを備え、純水タンク２２に貯留された純水を高圧送液ポンプ３４により２流体スプレーノズル２４およびスプレーノズル３６、３８へ供給する装置であって、２流体スプレーノズル２４は、純水をＳＵＳ製のノズル部２４ｂから基板の上面に高速で吐出することにより基板Ｗを正に帯電させ、スプレーノズル３６、３８は、純水をＰＶＤＦ製のノズル部３６ｂ、３８ｂから基板の上面に吐出することにより基板Ｗを負に帯電させて、基板Ｗの電位を中和する。 （もっと読む）

【課題】流路内の流体を効率よく整流化でき、壊食能を向上できる整流部材、この整流部材を流路内に備えたノズル又はノズルのフィルタ構造、並びにデスケーリングノズルの壊食能を向上させる方法を提供する。
【解決手段】ノズルの上流域には複数のスリット状流入口が形成され、この流入口からの流体の流入域の流路内には、放射状の複数の羽根５を有する整流部材４が配設されている。整流部材４の羽根５の数は１０〜１６枚、羽根の厚みは０．３〜０．７ｍｍ、整流部材が装着される流路の内径（Ｄ）に対する羽根の長さ（Ｌ）の比（Ｌ／Ｄ）は１．３〜２．５である。整流部材４の下流側及び上流側には先細状の円錐形突起６，７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】より効率的にノズル洗浄でき得るノズル洗浄ユニットを提供する。
【解決手段】分注装置に搭載されたノズル洗浄ユニット２０は、洗浄槽２２と、当該洗浄槽２２内において洗浄液を噴射する洗浄液噴射器４４と、ノズルに付着した洗浄液を洗浄槽２２内に吹き飛ばすべくエアを噴射する乾燥用噴射器５０と、ノズル１２を昇降させる移動機構と、これらを制御する制御部と、を備えている。制御部は、ノズル１２を下降させつつ洗浄液を噴射させる洗浄工程と、洗浄工程の後でノズル１２を上昇させつつエアを噴射させる乾燥工程と、をセットにしたセット動作を２回以上繰り返させる。 （もっと読む）

【課題】より少ない始動準備時間にて利用することのできる処理装置を提供する。
【解決手段】貯液槽１１から吐出ヘッドユニット１１０まで処理液Ｗが供給され、吐出ヘッドユニット１１０から吐出される処理液Ｗにて前記被処理物５０の表面を処理する処理装置であって、貯液槽１１からの処理液Ｗが吐出ヘッドユニット１１０から吐出されるまでの間に、当該処理液Ｗ中に微細なバブルを生成するバブル生成機構１３、１５を有するように構成される。 （もっと読む）

【課題】基板表面の全域に対して、処理液による処理を均一に施すことができる基板処理装置および基板処理方法を提供することである。
【解決手段】この基板処理装置１は、スピンチャック４と、スピンチャック４に保持されたウエハＷの表面に向けて、高温（たとえば８０℃）のＳＣ１を供給するためのＳＣ１ノズル５と、スピンチャック４に保持されたウエハＷの表面に水蒸気を供給するための蒸気ノズル６と、スピンチャック４を収容するカップ８とを備えている。ＳＣ１ノズル５から吐出された高温のＳＣ１は、ウエハＷの中央部に供給される。蒸気ノズル６から吐出された水蒸気は、ウエハＷの中間位置Ｍに供給される。 （もっと読む）

【課題】被処理物の処理を悪影響がなく、オゾン気泡が容易に脱気しないことにより、充分な処理効果を得ることのできるオゾン水処理方法及びオゾン水処理装置を提供する。
【解決手段】添加物を含めない方法によって生成された超微細粒径のオゾン気泡を含有するオゾン水を用いて被処理物を処理するオゾン水処理方法及びオゾン水処理装置で、特に、超微細粒径のオゾン気泡を含有するオゾン水を加熱して被処理物の処理効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 洗浄対象物に洗浄液混合の圧縮気を噴射可能であると共に、周囲にミストが飛散しなよう吸引回収可能であり、洗浄液を切り替えて汚れや塵埃などを除去し、最終的に圧縮空気のみを噴射して、洗浄の全工程を一挙に完了可能とする新たな洗浄技術を提供する。
【解決手段】 グリップ２の先端に一体化してなる吸引筒７の先端中央に、同吸引筒７に対して同心状配置で、その先端がわ方向に向けた洗浄ノズル８を設け、該グリップ２の基端から該洗浄ノズル８に達する主圧縮気回路３の適所に噴射スイッチ６を配し、該主圧縮気回路３適所から分岐した負圧誘導回路３３の末端を、当該吸引筒７内壁適所において、同吸引筒７末端がわに向けて開口し、当該グリップ２内の一液回路４１および別液回路４２の各内端に液路切換器５を接続し、且つ、同液路切換器５の吐出路５１を、当該主圧縮気回路３の適所に配した気液混合器３５に接続してなる洗浄ガン１である。 （もっと読む）

【課題】 気泡を含んだ洗浄水（含気水）を洗浄水槽の底部から噴射させるとき、気泡による曝気と水流が洗浄水槽の全体に亘って均一に分散するように噴射させることで、洗浄対象食品を全体的に満遍なく下から煽って、効果的な洗浄を行なうことができ、更に、コスト、メンテナンス、コンパクト化の面で有利になるようにした食品洗浄装置の提供。
【解決手段】 内部に洗浄水を収容させる洗浄水槽２と、オーバーフロー用スクリーン筒部２２と、底部スクリーン部材２８と、濾過水槽７と、循環ポンプ８と、含気水噴射装置５とを備え、含気水噴射装置５は、循環ポンプと洗浄水槽の底部室２９との間に配管した圧力水管５１の先端に噴射ストレーナ６を取り付けると共に、その圧力水管の途中に曝気用泡発生装置を設けている。 （もっと読む）

本発明は、生地を洗浄する方法および装置に関する。詳細には、本発明は、洗剤注入システムに連結されている気水ジェット装置に関する。したがって、本発明の目的は、改善された性能を用いて布製品を洗浄する気水ジェット装置を提供することであり、気水ジェット装置に連結され得る洗剤組成物用の注入装置を提供することである。驚くべきことに、水源と水ノズルの出口との間の洗剤組成物のための定量吐出チャンバが気水ジェットの洗浄を向上させることが判明した。
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本発明は、家庭用清掃浄具の分野に関する。本発明は、さらに、硬質表面を洗浄する気水ジェットの使用に関する。本発明の目的は、硬質表面のより容易な洗浄を実現することである。したがって、本発明の目的は、特に比較的低い水流量を使用する装置により、硬質表面のより容易な洗浄の方法を提供することである。驚くべきことに、外部混合気水ジェット装置が硬質表面の洗浄に使用され得ることが判明した。
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【課題】 高圧蒸気を微小領域に吹き付け、当該微小領域を拡大させることで被洗浄対象物の洗浄を行う洗浄装置を提供する。
【解決手段】 特定部に開口する槽形状の洗浄槽の開口部をエアカーテンにて閉鎖することとし、洗浄槽内に置かれた被洗浄物に対して高圧蒸気を吹き付けるノズルを、該エアカーテンを超えた洗浄槽内に配置することとする。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクなどに用いられる石英基板の洗浄方法であって、傷が発生せず、洗浄効果も高い研磨した石英ガラス基板のスクラブ洗浄方法を提供する。
【解決手段】２流体ジェット洗浄によりスクラブ洗浄時にスクラブ材にからんで基板に傷をつけるような異物を除去し、その後、スクラブ材として３０％圧縮応力が２０〜１００ｋＰａ、２０ｋＰａにおける圧縮弾性率が５０〜２００ｋＰａであるスクラブ材を用いて、スクラブ洗浄することで、スクラブ洗浄による傷の発生を抑制し、なおかつ基板の主表面のみならず端面まで細かい付着物を除去する。 （もっと読む）

【課題】連続して被洗浄物を洗浄する場合であっても、被洗浄物の洗浄度が低下することを容易に抑制することができる洗浄装置を得る。
【解決手段】中間部が狭窄な貫通孔５ａと、この貫通孔５ａの狭窄部５ｂに連通し、貫通孔５ａに入った洗浄水１が狭窄部５ｂを流れることで空気が狭窄部５ｂへ吸引されるガス吸引孔５ｃとが形成され、洗浄水１とともに金属屑２が貫通孔５ａを通過することで、洗浄水１に微細気泡４を生成し、微細気泡４と金属屑２とを混ぜ合わせながら、洗浄水１および金属屑２を外へ出す気泡生成器５を備えている。 （もっと読む）

【課題】第１に、基板材に対し強いインパクトで、均一なスプレーが実施され、第２に、もって微細化，高密度化された回路の電子回路基板でも、精度高く安定的に製造可能な、基板材の表面処理装置を提案する。
【解決手段】この表面処理装置６は、電子回路基板の製造工程で使用され、基板材Ａに対し、スプレーノズル７から処理液Ｂを噴射して表面処理する。スプレーノズル７は、２流体ノズルよりなり、処理液ＢとエアーＤを混合して噴射すると共に、基板材Ａとスプレーノズル７間が、５ｍｍ〜４０ｍｍの距離間隔Ｅとなっており、エアーＤと共に噴射された処理液Ｂは、微小粒子となって基板材Ａにスプレーされる。そして基板材Ａに対し、強いインパクトでスプレーされると共に、左右方向Ｆへの水平往復移動により、広く均一にスプレーされる。エアーＤは、圧送源１４のブロワから温度上昇して圧送供給される。 （もっと読む）

【課題】微細化した水粒子の粒径が大きくなることを防止して、被洗浄面に水膜が形成されることを防止し、被洗浄ノズルを効率的に洗浄可能なノズル洗浄装置を提供する。
【解決手段】複数の被洗浄ノズル１を着脱自在に保持するノズルホルダ１１と、微細化した水粒子と圧縮空気とを混合してなる二流体を生成する二流体生成装置１２と、二流体生成装置１２に接近配置され、ノズルホルダ１１に保持した被洗浄ノズル１へ向けて二流体を噴き付ける二流体噴射ノズル１３と、二流体噴射ノズル１３が被洗浄ノズル１に順次対面するように、二流体生成装置１２及び二流体噴射ノズル１３をノズルホルダ１１に対して相対移動させる移動手段１４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ディスク駆動装置の構成部品の清浄度を向上し、磁気ヘッドの浮上隙間を小さくした場合でもＴＡ障害発生の確率を低く保つことのできるディスク駆動装置の生産方法を提供する。
【解決手段】ディスク駆動装置の生産方法は、所定レベル以上のクリーンルーム内で洗浄工程１００と組立工程２００が連続して実施される。洗浄、組立対象であるディスク駆動装置のベース部材１２は、洗浄工程１００は、アルカリ洗浄工程１０４、第１純水洗浄工程１０６、第２純水洗浄工程１０８、スプレー洗浄工程１１０、水切工程１１２、乾燥工程１１４を含む。第１純水洗浄工程１０６は、第１純水洗浄槽１２６に満たされた純水１２８中で、４０ｋＨｚ、６８ｋＨｚ、１３２ｋＨｚの周波数による純水超音波洗浄を順に施す。洗浄されたベース部材１２は、洗浄工程１００と連続した組立工程２００で清浄度が所定値以上ｎ他の構成部品と共に組み立てられる。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で気泡径を微細化した多量の微細気泡を安定して発生できる微細気泡発生装置を提供する。
【解決手段】微細気泡発生装置１は、外筒３と内筒８の二重筒構造である。外筒３は断面が円形をなす内部空間２を有し、外筒３の内部空間２内に偏心した位置から液体を導入して旋回流を生じさせる液体導入部４と、内部空間２に気体を導入する気体導入部５とを備えた。外筒３内に配設した内筒８はその外周面に凹凸部１１を形成した。外筒３の内周面と内筒８の凹凸部１１との間の円筒状の間隙１３を旋回流の流路とし、間隙１３を通して環状の吐出口３ａから微細気泡を吐出する。凹凸部１１は凸部９と凹部１０を中心軸線Ｌ方向に交互に配設する。内筒８の先端は外筒３の先端と面一に形成し、内筒８の先端面に略円錐形状の円錐殻１４を設けた。外筒３の先端に対向して内筒８に凹凸部１１の凸部９を設けた。 （もっと読む）

【課題】噴射する液滴の粒径を一層均一に微小化することにより、基板上に形成された微細素子へのダメージを防止し、微小異物の洗浄が可能となる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】被洗浄基板８０が載置される基板載置部７０と、微小液滴を生成、加速する気体を供給する気体供給部５０と、微小気泡を発生して微小気泡含有液を生成する微小気泡含有液生成部６０と、微小液滴を噴射する２流体ノズル１とを有する。 （もっと読む）

【課題】固化した油脂分やロジンなどの樹脂分、その他付着物が付着した被洗浄面を簡単な洗浄方法により水系の洗浄液で綺麗に除去可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】印刷配線基板に対してクリーム半田を印刷するために用いたメタル版などの被洗浄面に、植物性油からなる液状の前処理油を塗布した後、アルカリ電解水からなる水系洗浄液で被洗浄面を洗浄する。また、洗浄液と圧縮空気とを噴射ノズル内において混合して、洗浄液を微細粒化しながら、この微細粒化した洗浄液を噴射ノズルから被洗浄面に向けて高速で噴き付けて被洗浄面を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】装置構成の簡略化及び低価格化を実現することができる微小気泡発生装置を提供する。
【解決手段】微小気泡発生装置１において、液体が流入する流入口Ｈ１を有する筒状の流入部２ａと、その流入部２ａに連結され液体中に微小気泡を発生させるベンチュリ部２ｂと、そのベンチュリ部２ｂに連結されベンチュリ部２ｂを通過した液体を受けて攪拌する攪拌室Ｓ１及びその攪拌室に連通する流出口Ｈ２を有する筒状の流出部２ｃと、ベンチュリ部２ｂと攪拌室Ｓ１との間に設けられた第１網目体２ｄとを備える。 （もっと読む）