【課題】酸素濃度を低減した処理液で基板を処理できる基板処理装置および基板処理方法を提供すること。
【解決手段】基板処理装置１は、基板Ｗを保持するスピンチャック３と、スピンチャック３に保持された基板Ｗに対向する基板対向面３４を有し、基板対向面３４の周囲からスピンチャック３に向かって突出した周壁部３２が形成された遮断板６と、スピンチャック３に保持された基板Ｗに処理液を供給する第１上側処理液供給管３５とを備えている。第１上側処理液供給管３５には、第２上側処理液供給管３８を介して第１配管内調合ユニット５１から薬液が供給される。この薬液は、薬液原液と、不活性ガス溶存水生成ユニット５０によって純水中の酸素が脱気され、当該純水中に不活性ガスが添加されて生成された不活性ガス溶存水とが第１混合部５９内で混合されることにより調合されたものである。 （もっと読む）

【課題】基板を品質よく処理することができる基板処理装置、ガス溶解液供給方法、および、基板処理方法を提供する。
【解決手段】二流体ノズル２１と、二酸化炭素が溶解された炭酸ガス溶解水を二流体ノズルに供給する溶解液供給管２２と、炭酸ガス溶解水の溶存ガスと同じ二酸化炭素をキャリアガスとして二流体ノズル２１に供給するキャリアガス供給管２３と、を備えている。二流体ノズル２１は、炭酸ガス溶解水の液滴をキャリアガス（二酸化炭素）とともに基板Ｗに噴射する。噴射された炭酸ガス溶解水は溶解濃度が比較的に高い状態で基板Ｗに着液する。よって、基板を品質よく処理することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、従来よりも洗浄能力を向上させた、ダイコーター用洗浄装置を提供することである。
【解決手段】ダイコーターのスリットノズル先端部を洗浄するための洗浄装置であって、洗浄ユニットと、該洗浄ユニットをスリットノズルの幅方向に沿って移動させる洗浄ユニット移動手段とを備え、該洗浄ユニットは、洗浄液と搬送気体との混合流体を噴射して前記スリットノズル先端部を洗浄する二流体ノズル群と、洗浄によって生じ前記スリットノズル先端部に付着した洗浄廃液を除去するエアーナイフ群と、噴射された気体および洗浄廃液を排出する排出手段とを有し、前記二流体ノズル群は、噴射範囲が狭いラウンドスプレーノズルと、噴射範囲が広いフラットスプレーノズルとを少なくとも含む２種類以上のスプレーノズルの組合せを含むものであることを特徴とする洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】洗浄効果の高い泡洗剤を生成できると共に洗剤の漏れ防止を図ることができる泡洗剤吐出装置を提供すること。
【解決手段】洗剤タンク２の底部に洗剤出口９を設け、洗剤タンク２の上部に、外部から洗剤タンク２内部に取り込まれる空気を溜めるタンク空気層１１と、該タンク空気層１１の空気を取り出すためのタンク空気出口１０とをそれぞれ設ける。洗剤タンク２が着脱自在に装着される本体３側に、洗剤供給路４に通じる本体洗剤受け口１２と、エゼクター部６の空気供給路５に通じる本体空気受け口１３とをそれぞれ設ける。洗剤タンク２の本体３への装着の際に、洗剤出口９と本体洗剤受け口１２とが接続されると同時にタンク空気出口１０と本体空気受け口１３とが接続される構成とする。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】実施形態例において、洗浄発泡体を生成するデバイスは、メスハウジングとオスプラグとを含む。プラグは、洗浄システムの別の構成要素から流体が流れ込む開口部を含む。プラグは、開口部から流体を受領するとともに、発泡体を形成するために気体が注入される予混合チャンバを含む。実施形態例において、チャンバは、中空のシリンダであり、気体は、シリンダに対して接線方向にある流路を介してシリンダへ注入される。プラグは、さらに、外側に連続螺旋陥凹部を有する中実シリンダを含む。オスプラグがメスハウジングに挿入される時、連続螺旋陥凹部と、ハウジングの内面とは、螺旋流路を形成し、発泡体は螺旋流路を介して流動し、洗浄システムへ戻る途中でさらに混合される。 （もっと読む）

【課題】水を主体とする洗浄水と微細気泡によって洗浄し、洗浄後のすすぎ工程を省略することによって、環境負荷を抑制する。重量物となる被洗浄物容器の着脱を容易にし、作業者の肉体的負担を軽減し作業効率を向上させる。
【解決手段】被洗浄物を収納する被洗浄物容器２０と、容器を摺動させて装置内外に搬入出する摺動保持機構部９０と、容器を洗浄水に浸漬する洗浄槽３０と、容器を洗浄槽に浸漬及びその引き揚げを行う昇降機構部４０と、昇降機構部に設けられ、容器を回転させる回転機構部５０と、洗浄槽の洗浄水から油脂分を分離する油水分離部８０と、浸漬洗浄中の被洗浄物容器２０に対して、気泡を含む洗浄水流を噴射する気泡発生部６３及びノズル６４と、洗浄槽から引き揚げられ、回転された洗浄後の容器に対して、水切り用の空気流を噴射する水切り機構部７０とを備える。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つのコンタクトチップ２０と、該少なくとも１つのコンタクトチップ２０を囲むノズル２６とを備えているトーチヘッド１２を自動的に補修する方法及び装置１０に関するものである。第１の補修装置３２では、少なくとも１つのコンタクトチップ２０とノズル２６とが組み付けられている状態で、トーチヘッド１２が非接触で清掃される。少なくとも１つのコンタクトチップ２０及びノズル２６の表面の少なくとも一部に対して、トーチヘッド処理剤４２を塗布するために、第２の補修装置３４が用いられる。トーチヘッド１２が、第１の補修装置３２又は第２の補修装置３４に対応する補修位置に移動させられた後に、それぞれ第１の補修装置３２又は第２の補修装置３４の操作が、コントロールユニット５０により開始させられる。トーチヘッド処理剤は、約５ないし約５０重量パーセントの窒化ホウ素を含んでいる。
（もっと読む）

【課題】ドライアイス洗浄時に乱気流の発生を抑えつつ異物の除去が可能なフィルム洗浄装置を提供する。
【解決手段】ロール状に巻かれたウェブフィルムＷを巻き出す巻出し装置２と、ウェブフィルムＷを液体で洗浄する第１洗浄部３１、第２洗浄部３３と、洗浄したウェブフィルムＷを乾燥する第１乾燥部３２、第２乾燥部３４と、乾燥したウェブフィルムＷに対して気体とともにパウダー状のドライアイスを吹き付ける吹付けノズル４１を有し、吹付けノズル４１でドライアイスを吹き付けてウェブフィルムＷを洗浄するドライアイス洗浄部４と、ドライアイス洗浄したウェブフィルムＷをロール状に巻き取る巻取り装置６と、を備え、吹付けノズル４１は、ドライアイスの吹付け方向がウェブフィルムの洗浄面に対して斜めに傾けて設置されている。 （もっと読む）

【課題】 気泡を用いた洗浄装置において、洗浄水の洗浄能力を測定可能な洗浄装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 洗浄装置１は、洗浄水２が入れられた洗浄槽３と、この洗浄水２の中の気泡４の径および密度を測定する超音波センサ１５と、この超音波センサ１５に洗浄水２を送り込む計測管１６と、計測管１６に洗浄水２を吸い上げる吸引ポンプ１７と、洗浄センサ１５からの信号を受信解析するために設けられた制御装置１８と、この制御装置１８により、洗浄槽３に添加剤を供給する添加剤タンク１９と、この添加剤タンク１９から添加剤を必要量供給するための添加剤供給ポンプ２０と、により構成されている。これにより、超音波センサによって気泡の径および密度を測定して洗浄水の洗浄能力を把握し、必要に応じて添加剤を補充供給し、高い洗浄能力を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】故障の可能性が低く、安価であり、洗浄の均一性が高い洗浄装置を提供する。
【解決手段】複数のインジェクタ５Ｂ，５Ｌ，５Ｒ，５Ｔは、気泡ＢＢを含む流れを洗浄液７中に発生させることができ、この流れがコンベア３に向かうようにコンベア３の周囲に配置されている。 （もっと読む）

【課題】クリーム半田が洗浄液を吸収して固化することによる洗浄不良を防止して、メタル版の印刷パターンを全体的に綺麗に洗浄可能なメタル版の洗浄方法を提供する。
【解決手段】印刷配線基板に対してクリーム半田を印刷するために用いたメタル版１の洗浄方法であって、メタル版１を水平方向に対して一定の角度を付けて支持した状態で、メタル版１に向けて噴射ノズル１４から水系の洗浄液を噴き付けながら、該噴射ノズル１４を水平方向に往復移動させて下側から順番にメタル版１を粗洗浄する。また、粗洗浄後、メタル版１に向けて噴射ノズル１４から洗浄液を噴き付けながら、該噴射ノズル１４を水平方向に往復移動させて上側から順番にメタル版１を仕上げ洗浄する。 （もっと読む）

【課題】洗浄で用いたアルカリ電解水を中和し、中性水として再利用することで、環境に対する負荷を少なくでき、しかもメタル版に形成した０．２２ｍｍ幅や０．１４ｍｍ幅といった非常に狭い幅の印刷パターンの穴をも綺麗に洗浄可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】アルカリ電解水供給装置３０に、塩分濃度を一定濃度に設定した中性水を貯留する貯水タンク３１と、貯水タンク３１内の中性水を用いてアルカリ電解水と強酸性水とを生成するアルカリ電解水生成器３２と、洗浄装置本体１１において洗浄液として使用した後のアルカリ電解水とアルカリ電解水生成器３２にて生成した強酸性水とを混合して中和する中和タンク３３とを備えさせ、中和タンク３３内にて生成される中性水を貯水タンク３１に戻して、洗浄液として使用した後のアルカリ電解水を中性水として再利用した。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔から噴射される高圧洗浄水により排水管を傷つけることがなく、また、ノズル子により排水管を傷つけることのない排水管洗浄装置および排水管洗浄方法を提供する。
【解決手段】複数のノズル孔が穿設されるノズル子を後正面から見たときに、該ノズル子の中心点を通る水平線よりも上部には３つ以上のノズル孔を同一同心円上、かつノズル子の中心点を通る垂直線に対し線対称の位置に配置するとともに、ノズル子の中心点を通る水平線よりも下部にはこの水平線に対してノズル孔を対称の位置に配置し、水平線下部に配置したノズル孔の内垂直線に最も近くに位置するノズル孔以外のノズル孔、または垂直線に最も近く位置するノズル孔を他のノズル孔よりも細径とし、各ノズル孔の形状を外部に向かって拡径する円錐状とした。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、流速又は衝突力を低下させることなく、微細気泡を含む水流を広い角度範囲で生成できるノズル及びそれを備えた装置を提供する。
【解決手段】気泡発生ノズルは、ベンチュリ管を形成する液体流路（ノズル本体１の上流側から先端部の噴出口６に向かって、流路幅が絞られた最小流路部４と、この最小流路部の下流域で流路幅が拡がる拡大流路部５とで構成された液体流路）と、前記最小流路部と合流する気体流路７，８と、前記ノズル本体１の前方方向に延び、噴出口の中心軸線に向かって放物線状に湾曲して形成され、かつ噴出口からの流体を広角に案内するためのガイド壁９とを備えている。ガイド壁のガイド面１０は幅方向に断面Ｕ字状に湾曲している。 （もっと読む）

高速設定材料スプレーガン１０を洗浄及び洗い流す方法が開示されており、前記方法は好適な実施形態において、約６２．５％のＤＭＳＯ、３２．５％のＤＢＥ及び５％の水の混合物１２を使用する。この混合物１２は霧化した際に無毒であり、１０°Ｆ未満に液体の凝固点を低下させる。前記溶媒はパージ用空気１４と混合されており、ガン１０から霧状に放出されるため、無毒の溶媒が利用されることが重要であり、また、混合物の凝固点が十分に低いことによって寒冷気候において凍結することなく使用可能であることが重要である。
（もっと読む）

【課題】この発明は半導体ウエハを高い清浄度で、しかもウオータマークを発生させることなく洗浄することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】上面に半導体ウエハを保持して回転駆動される回転テーブル１６と、回転テーブルの上方に半導体ウエハを横切る方向に駆動可能に配置され半導体ウエハに処理液をミスト状にして供給する第１のノズル体４６と、半導体ウエハの第１のノズル体から供給されたミスト状の処理液によって処理された部分に処理液を液状の状態で供給する第２のノズル体５６と、第２のノズル体よる処理液の供給量或いは回転テーブルの回転数の少なくともどちらか一方を制御して第１のノズル体によって半導体ウエハにミスト状で供給された処理液を半導体ウエハから排出させる制御装置７を具備する。 （もっと読む）

【課題】装置構成を簡略化しつつ、洗浄性能を向上させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを水平姿勢で保持する基板保持部１と、基板Ｗに接触して基板Ｗを洗浄する洗浄ブラシ７と、洗浄ブラシ７の側方に設けられ、処理液の液滴をキャリアガスとともに基板に噴射して基板を洗浄する二流体ノズル９と、洗浄ブラシ７と二流体ノズル９とを保持する保持アーム５と、この保持アーム５に連結して設けられ、基板Ｗ面に沿って洗浄ブラシ７と二流体ノズル９とを移動させる単一のアーム移動機構と、を備えている。このように構成される基板処理装置によれば、洗浄ブラシ７と二流体ノズル９を移動させる単一のアーム移動機構を備えているので、装置構成を簡略化しつつ、洗浄性能が一層向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】洗浄液に空気を混入させて微細気泡入りの洗浄液（泡洗剤）を吐出する泡洗剤吐出装置において、微細気泡を安定して発生させることができる泡洗剤吐出装置を提供する。
【解決手段】洗浄液Ｌを溜めるための洗剤タンク１と、洗剤タンク１から洗浄液Ｌを吐出ノズル２０へ搬送するための剤供給路３と、剤供給路３の途中に設けられて洗浄液Ｌ内に空気を混入させるためのエゼクター４と、エゼクター４の下流側に設けられたポンプ５と、を備えた泡洗剤吐出装置であって、剤供給路３のポンプ５と吐出ノズル２０の間の分岐部３０から分岐路６を分岐させると共に、分岐路６の下流側端部を剤供給路３のエゼクター４の上流側に接続した。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ安価な構成であるにも拘わらず、高圧の洗浄液を洗浄対象に噴射できるようにして洗浄能力を高めた洗浄装置またはこのような洗浄装置を搭載した検出装置を提供する。
【解決手段】タンク１内に気体を流入させ、その後に洗浄液をタンク１内に流入させて洗浄液の体積増加によりタンク１内で気体を圧縮することで、タンク１内に圧縮された気体の圧力で洗浄液を流路部４内へ流入させて、洗浄ノズル５から洗浄液を高圧で噴出させるような洗浄装置１０とした。また、このような洗浄装置１０を搭載して常に安定した検出を行うことができる検出装置１００とした。 （もっと読む）

【課題】気液混合管内で、液体と気体が激突することがないため、キャリブレイションの発生を防止することができ、気液二相流で管路を洗浄する場合に、静かで、且つ、振動の発生を大幅に減少させる。
【解決手段】出口３ａを備えた気液混合管３と、該気液混合管３に空気Ａを供給する気体供給手段７と、該気液混合管３に水Ｗを供給し旋回流ＷＳを形成させる液体供給手段５と、を備えた気液二相流発生装置１において、前記気体供給手段７は、前記気液混合管３の中心３ｃ方向に空気Ａを供給する。 （もっと読む）