Fターム[3B201BB38]の内容
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Fターム[3B201BB38]に分類される特許
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洗浄装置及び洗浄方法
【課題】微細な回路が形成されたテープ状物やスペーサテープに付着した異物を洗浄除去するために好適に用いられる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】被洗浄体の移動経路上で被洗浄体を洗浄する洗浄装置であって、被洗浄体を移動させる被洗浄体搬送手段、先端に設けた水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させる水供給手段、及び、先端に設けた過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てる加熱水蒸気供給手段を備える洗浄装置。
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大型基板洗浄装置
【課題】一辺が1mを超える大型ガラス基板の加工後の洗浄において、大型ガラス基板の各洗浄、乾燥工程間の搬送経路が短く、広い設置スペースを必要としないコンパクトな構成の大型基板洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】薬液用スプレーノズル31と、該ノズルの上部に配置され、上方に非接触式洗浄ツールを具備して対向する一対の接触式洗浄ツールを1つ以上32、33有し、且つ、1つ以上の上方に非接触式洗浄ツールを具備して対向する一対の接触式洗浄ツール33の最上部に配置された対向する一対のシャワーノズル34と、該ノズルの上部に配置された対向する一対のジェットノズル35とを有する洗浄部30と、洗浄部30の上方に配置された対向する一対のエアーナイフ41を具備する乾燥部40と、大型基板90を直立させて保持する基板保持搬送治具50と、洗浄部30の下方に配置された投入払出部60とを有する。
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マイクロバブルによる活性炭の再生方法及びその装置
【課題】本発明は、マイクロバブルの特性を利用して使用済み活性炭、主にドライクリーニング溶剤のフィルタに使用される活性炭の吸着能力の回復を図るためのマイクロバブルによる活性炭の再生方法及びその装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロバブルによる活性炭の再生装置は、水6を充填してフィルタ容器1を収容する円筒状の洗浄処理槽2と、該洗浄処理槽2中にフィルタ容器1を中空状に支持する支持部材3と、前記洗浄処理槽2中の貯留水6を循環させる循環ポンプ4と、該循環ポンプ4からの循環水とエアーとを混合して微細気泡を発生させるマイクロバブル発生装置5を備える。前記マイクロバブル発生装置5は、前記洗浄処理槽2の貯留水6に旋回流を与えるように微細気泡の吹き出し方向を前記洗浄処理槽2の円周方向に設定する。
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洗浄装置及びその方法、塗布、現像装置及びその方法、並びに記憶媒体
【課題】基板の表面及びベベル部並びに裏面の洗浄を行うことができる洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄装置100は、裏面を下方に向けた状態の基板を裏面から支えて保持する2つの基板保持手段(吸着パッド2、スピンチャック3)を備え、支える領域が重ならないようにしながらこれらの基板保持手段の間で基板を持ち替える。洗浄部材(ブラシ5)は基板保持手段により支えられている領域以外の基板の裏面を洗浄し、2つの基板保持手段の間で基板が持ち替えられることを利用して基板の裏面全体を洗浄する。また基板がスピンチャック3により保持され、回転されるときに、基板の裏面の洗浄と合わせて、基板表面及びベベル部に夫々洗浄液を供給して、当該表面とベベル部の洗浄を行う。
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散気装置の洗浄方法
【課題】長期間の使用により散気面に目詰まりが生じた場合において、散気板を水面に引き上げて清掃することなく、散気面の目詰まりの解消をできる散気装置の洗浄方法を提供する
【解決手段】本発明に係る散気装置の洗浄方法は、曝気槽12に設置される微細気孔を有する散気板4と、散気板4に接続された散気用給気配管3と、散気用給気配管3に開閉弁16を介して接続されて散気用給気配管3に散気用空気を供給する給気装置2と、一端が散気板4に連接され、他端が散気用給気配管3内に内挿された内挿管7とを備えた散気装置の洗浄方法であって、開閉弁16を閉止した後、開閉弁16の下流側の散気用給気配管3内に洗浄液を供給し、洗浄液を内挿管7を介して散気板4の微細気孔から流出させることを特徴とするものである。
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洗浄方法及び洗浄装置
【課題】洗剤の使用が不要で且つコンパクトで洗浄性能が高い洗浄方法を提供する。
【解決手段】液体を搬送経路1に流して加圧すると共に脈動流を発生させる。気体を前記搬送経路1を流れる液体に供給し加圧溶解させて気体が飽和状態となった液体を生成する。気体が飽和状態となった液体を大気圧まで減圧する。減圧された液体を被洗浄物6に噴射する。被洗浄物6の表面の汚れYと噴射された前記液体との界面に気泡を発生して汚れYを除去する。
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散気装置の洗浄方法
【課題】長期間の使用により散気面に目詰まりが生じた場合において、散気板を水面に引き上げて清掃することなく、散気面の目詰まりの解消をできる散気装置の洗浄方法を提供する
【解決手段】本発明に係る散気装置の洗浄方法は、散気板4と、散気用給気配管3内へブロー水を供給するブロー水供給手段5と、一端が散気板4に連接され、他端が散気用給気配管3内に内挿された内挿管7とを備えた散気装置の洗浄方法であって、散気用給気配管3に対する給気を停止した後、洗浄液を散気用給気配管3内へ所定量供給する洗浄液供給工程と、散気用給気配管3内へ加圧空気を供給し、散気用給気配管3内の洗浄液を内挿管7を介して散気板4から所定時間継続して排出させる散気板洗浄工程とを有する。
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洗浄装置及び洗浄方法
【課題】高圧で洗浄を行なう必要がなく、異物が混入しても詰まるようなことなく、気泡の発生を防止して高い洗浄効果で洗浄を行なうことができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】液体を圧送する加圧部1。液体に気体を注入する気体注入部2。気体を注入された液体が加圧部1で圧送されることによる加圧で液体に気体を溶解させる加圧溶解部3。加圧溶解部3で気体を溶解させた気体溶解液の圧力を、気体溶解液の流入側から流出側に向かって順次大気圧まで減圧する減圧部4(流路長さの調整で気体溶解液の圧力を大気圧にまで減圧するように形成された流路6で構成)。減圧部4で減圧された気体溶解液を吐出する吐出部12。これらを備え、加圧部1、気体注入部2、加圧溶解部3の各部を連続的に運転させて、減圧部4に気体溶解液を乱流状態で連続的に供給し、吐出部12から気泡の発生のない気体溶解液を連続的に吐出させるようにする。
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洗浄装置及び洗浄方法
【課題】洗剤の使用が不要で且つコンパクトで洗浄性能が高い洗浄装置を提供する。
【解決手段】液体を搬送経路1に流して加圧すると共に脈動流を発生させるポンプ2と、気体を前記搬送経路1を流れる液体に加圧溶解させて該気体が飽和状態となった液体を生成する加圧溶解部3と、加圧溶解部3で生成し気体が飽和状態となった液体を大気圧まで減圧する減圧部4と、前記減圧部4からの液体を被洗浄物6の表面に噴射する洗浄液噴射部5とを備えた。
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洗浄装置
【課題】洗浄効率の向上を図ることにより環境負荷となる洗浄水自体の使用量を低減し、洗浄後の洗浄水の処理に要するコストを低減することを課題とするものである。
【解決手段】洗浄槽Wの底面は複数のインゼクターW1が分散して設置され、且つ洗浄槽Wの内部には被洗浄体を収容した洗浄用籠Bが設置されており、洗浄用籠Bの回転により洗浄用籠Bの受噴射籠面B2が洗浄槽Wの底面と平行状態となった時には、被洗浄体の多くは当該一面上に集合するので、複数のインゼクターW1から受噴射籠面B2に向けて気液混合物が噴射される。
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ヘッド洗浄装置
【課題】洗浄液を無駄に消費することなく、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路を適切に洗浄することができるヘッド洗浄装置を提供する。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド1のヘッド内流路5に洗浄液を供給する洗浄液供給部13と、機能液滴吐出ヘッド1のノズル面8に密接する吸引キャップ14と、吸引キャップ14を介して、ヘッド内流路5に洗浄液を通液して洗浄を行う吸引機構17と、吸引流路に介設したサンプリング機構20と、吸引手段を制御すると共に、通常洗浄モードとサンプリング洗浄モードとの間でモード切替え可能に構成された制御装置21と、を備え、制御装置21は、サンプリング洗浄モードにおいて、吸引手段の吸引による洗浄動作の終了直前に、洗浄液のサンプリングのために洗浄動作を停止させる。
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洗浄システム
【解決手段】 洗浄システム1は、クランクケース2を支持したパレット3を洗浄位置Bまで搬送する搬送手段6と、クランクケース2を洗浄する洗浄手段7とを備えている。
パレット3には固定通路12を設けてあり、その一端にフレキシブルチューブ13の一端13Aが接続されている。フレキシブルチューブ13の他端13Bは、クランクケース2の油穴4の開口に接続されている。上記パレット3が搬送手段6により洗浄位置Bの液槽22内に浸漬されると、固定通路12と吐出通路24とが重合して相互に連通する。その後、ポンプ23から吐出される洗浄液が吐出通路24、固定通路12およびフレキシブルチューブ13を介してクランクケース2の油穴4に直接給送される。
【効果】 クランクケース2の油穴4を効率的かつ確実に洗浄することができる。
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スプレー製品
【課題】 フロンガス、代替フロン等を使用せず、オゾン層破壊係数・地球温暖化係数がより低く、より安価な噴射剤を使用し、しかも安全性と保液性を向上させた高品質のスプレー製品を提供する。
【解決手段】 噴射剤としてジメチルエーテルと炭酸ガスの混合物を用い、噴射剤保持用の吸収体として、粉砕されたセルロース繊維集合体から構成され、該セルロース繊維が繊維長0.35mm以下の微細セルロース繊維を45質量%以上含有する吸収体を用いて、噴射口を備えたスプレー缶に充填した除塵ブロワーとする。
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ノズルの噴霧特性の評価基準部材及びそれを用いた評価方法
【課題】二流体ノズルの噴霧特性(洗浄性能など)を評価するのに適した評価基準部材及びそれを用いたノズルの性能評価方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板などの基板の表面に、熱可塑性樹脂粒子(スチレン系樹脂粒子を含むラテックス粒子など)を加熱により付着させ、ノズルの噴霧特性を評価するための基準部材とする。加熱温度及び/又は加熱時間を異にして、それぞれ基板に所定の付着力で樹脂粒子が付着した複数の基準セット部材をノズルからのミストの噴霧域に配置し、ノズルからミストを噴霧し、各基板に残存する樹脂粒子数と前記加熱温度及び/又は加熱時間との関係から変曲域を算出し、この変曲域に基づいてノズルの洗浄性能を評価できる。
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基板処理装置、二流体ノズルおよび液滴供給方法
【課題】純水と窒素ガスとを衝突させて純水の液滴を形成して供給する液滴供給方法、液滴を供給する二流体ノズルおよび液滴を基板に供給して基板処理を施す基板処理装置において、液滴の微粒化を高める。
【解決手段】液体吐出口342から純水が吐出されるとともに、液体吐出口342を挟み込むように設けられた気体吐出口341、343から窒素ガスが吐出され、純水と窒素ガスとの衝突によって純水の液滴が形成される。このように互いに異なる2経路で、しかも挟み込むように窒素ガスが純水の液流れに吐出されて純水に対してせん断力が作用する。しかも、いずれの気体吐出経路においても、窒素ガスが純水の液流れに対して直角に吐出されるため、上記せん断力がさらに高められる。その結果、微細な液滴が形成される。
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二流体ノズル、該二流体ノズルを用いた基板洗浄装置および基板洗浄方法
【課題】基板を効率良く洗浄しながらも基板へのダメージを低減することができる二流体ノズルおよび該二流体ノズルを用いた基板洗浄装置および基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】二流体ノズル301において、液体吐出口327を環状で且つスリット状に開口させるとともに、液体吐出口327の開口面積を1.8mm2以上かつ36mm2以下に設定している。このため、従来ノズルに比べて単位時間当たりの供給液滴数を増加させ、基板Wを実用的かつ効率的に洗浄することが可能となる。しかも、液体吐出口327のスリット幅を0.1mm以上かつ1.0mm以下の範囲に設定しているので、基板Wへのダメージ発生に寄与する比較的大きな粒径の液滴が生成されるのを抑制することができる。したがって、基板Wを効率良く洗浄しながらも基板Wへのダメージを低減することができる。
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二流体スリットノズルおよびその製造方法
【課題】 液体と気体を混合して長さ方向に均質な膜状噴射ミストを得るため、二流体を直角に衝突させる混合空間をスリットノズルの内部に設け、混合流体を更に均質化させる手段を通過させ、噴射する二流体スリットノズルを提供する。
【解決手段】 長尺板状の液体供給プレートと気体供給プレートの間にミキシングプレートを挟持し、液体供給プレートからミキシングプレートを直角に貫通する液体オリフィスを介して送られる液体と、空気供給プレートからミキシングプレートの他面に空気オリフィスを介して送られる空気とを、ミキシングプレートの他面の混合空間で衝突混合させ、混合空間の下流端とミキシングおよび空気供給両プレートの下端面間の噴射スリットの上流端とを、ミキシングプレートを貫通する2群オリフィスと液体供給プレート側で2群のオリフィス間を繋いで拡張と圧縮による均質化および加速を行う衝突チャンバで連通し噴射スリットから噴射させる。
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ローラー洗浄装置
【課題】表面にディンプル状の凹部や溝を有するローラーに付着した異物等をコンパクトで安易な装置で良好に洗浄できるローラー洗浄装置を提供することことを目的とする。
【解決手段】
ローラー表面にディンプル状の凹部や溝を有するローラーを洗浄するローラー洗浄装置であって、前記ローラーの下面にローラーと微小隙間を有し、ローラーの下面の一部を覆う洗浄槽と、前記洗浄槽の内方に、洗浄液または圧縮空気のいずれかを噴出する少なくとも1個以上のスプレーノズルと、前記洗浄液を貯蔵する洗浄タンクと、前記洗浄タンクから洗浄槽へ洗浄液を送る搬送手段と、前記洗浄槽から洗浄済みの洗浄液を回収するドレン機構と、
を具備していることを特徴とするローラー洗浄装置である。
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外装建具材洗浄装置
【課題】建物の外壁に形成された開口窓枠に支持されたガラス窓や網戸、雨戸等の建具材の洗浄を好適に行うことができる外装建具材洗浄装置を提供する。
【解決手段】建物の外壁1に形成された開口窓枠2に支持された建具材4を洗浄するための外装建具材洗浄装置10であって、給水源3に配管接続され、該給水源から供給された供給水に気泡を含有させた泡洗浄液WAを生成する泡洗浄液生成装置13と、該泡洗浄液生成装置に接続され、前記泡洗浄液を給液する給液管路11と、前記建具材の上方に配管され、前記給液管路に接続された吐水用管路12と、該吐水用管路に形成され、前記泡洗浄液を前記建具材面に沿わせて流下させる吐水口18とを備えている。
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洗浄装置
【課題】 コンパクト化を阻害したりコスト増を招いたりすることなしに、洗剤流出の発生を阻止して効率の良い洗浄を実現する。
【解決手段】 電磁弁7を開くと水がベンチュリー部5cに流れ、負圧領域Mに洗剤タンク6からの洗剤が洗剤通路61を通して吸い込まれて混合され、通気孔10cを通して吸い込まれるエアーにより泡立てられ、混合後の洗浄液がノズル3から洗浄対象に噴霧される。電磁弁を閉じると水の供給が停止され通気孔から導入されるエアーにより洗剤通路内の洗剤が洗剤タンクに戻される。水の供給継続により洗剤が無くなると、代わりにエアーを吸い込むことになって圧力変動が生じ、通気孔から水が洗剤タンク内に漏れ落ちることになる。これが洗剤通路から再度吸い込まれて洗剤タンク内がきれいに洗い流される。
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