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Fターム[3B201BB38]の内容

液体又は蒸気による洗浄 (28,239) | 流体的清浄手段 (13,243) | 噴射、泡、スプレー (3,939) | ノズルの構造 (973) | 混合 (270)

Fターム[3B201BB38]に分類される特許

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【課題】ワークピース表面上の絞り剤の残留物を、ワークピース全体を洗浄することなく除去することを可能とする装置及び方法を提供する。
【解決手段】溶接装置1は、ワークピース6上に溶接継目3を形成する溶接手段2と、ワークピースの表面に対して、溶接継目が形成されるべき領域に炭酸ガスと圧縮空気からなるクライオジェニック混合物8を噴射するノズル7と、を備える。溶接手段2とノズル7の距離は、少なくとも5cmである。 (もっと読む)


【課題】枚葉方式で基板の洗浄を行う場合に、基板表面からパーティクルや金属汚染物質を効果的に短時間で除去でき、基板表面のエッチング量が多くなることもない方法を提供する。
【解決手段】二流体ノズル80により、塩酸を含むフッ酸からなるエッチング液と気体とを混合して生成される液滴を、表面に自然酸化膜が形成された基板Wの表面へ噴射し、基板表面をエッチングして洗浄する。 (もっと読む)


【課題】基板端部の洗浄を行なうことによって、基板端部で生じた異物に起因する汚染発生を防止し、歩留まり低下を抑制することのできる基板洗浄装置及び基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板Wの端部W1を洗浄する基板洗浄装置1A、1Bであって、前記基板Wを略水平姿勢に保持し、該基板Wを鉛直軸周りに回転自在な基板保持手段2と、前記基板保持手段2により保持され、所定の回転速度で回転する基板Wの端部W1に洗浄液を噴射する洗浄液噴射手段7とを備え、前記洗浄液噴射手段7は、前記洗浄液を前記基板Wの端部W1に対し側方から噴射する。 (もっと読む)


【課題】グリコール系やアルコール系の有機溶剤を使用せず、環境負荷の少ない安価な洗浄方法であり、かつ0.22mm幅や0.14mm幅といった非常に狭い幅の印刷パターンの穴をも綺麗に洗浄可能なメタル版の洗浄方法及び洗浄装置並びメタル版洗浄用の気液噴射ノズルを提供する。
【解決手段】印刷配線基板に対してクリーム半田を印刷するために用いたメタル版1の洗浄方法であって、アルカリ性水と圧縮空気とをアルカリ性水噴射ノズル14内において混合して、アルカリ性水を微細粒化しながら、この微細粒化したアルカリ性水をアルカリ性水噴射ノズル14からメタル版1に向けて高速で噴き付けてメタル版1を洗浄する。 (もっと読む)


【課題】高い洗浄機能を有する洗浄装置を有する加工装置を提供する。
【解決手段】ワークWを切断し、洗浄し、容器に収納する加工装置1であって、切断されたワークWの表面に空気を混合した洗浄水を噴霧状にして吹き付けて前記ワークの表面を洗浄する第1の洗浄装置400と、ワークWの裏面を洗浄ローラ511により洗浄する第2の洗浄装置500と、ワークWの裏面に空気を混合した洗浄水を噴霧状にして吹き付けてワークWの裏面を洗浄する第3の洗浄装置600とを有することを特徴とする加工装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】簡単な作業にて実施できるガソリンエンジンの内面部品の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】洗浄液を充填した洗浄液貯蔵容器12に配設した、先端に洗浄液排出口13を有し、途中に気体供給口14を備える洗浄液供給管15の排出口13を、スロットルバルブ装着部16より下流部に開口部18を備える吸気管19を持つガソリンエンジン21の開口部18に接続する工程、エンジンを作動させて吸気管内を減圧状態にし、容器12から洗浄液を洗浄液排出口13を介して減圧状態の吸気管内に液滴状態にて継続的に供給すると同時に、洗浄液供給管15の気体供給口14から酸素濃度が20体積%以上の気体を吸気管に継続的に供給することにより、この液滴を上記気体により搬送させてエンジン内部に供給し、エンジンの内面部品に洗浄液を接触させて前記内面部品を洗浄する工程、そして前記内面部品に接触した洗浄液を排出させる工程からなるガソリンエンジンの内面部品の洗浄方法。 (もっと読む)


【課題】ナノレベルの微細気泡を効率良く発生することを可能とする微細気泡発生装置を提供する。
【解決手段】この装置は、円筒状の内周面を有する筒状部材40と、該筒状部材の一端を閉じるように設定される第1端壁部材42と、筒状部材の他端を閉じるように設定される第2端壁部材44とを有する。筒状部材40、第1端壁部材42、及び、第2端壁部材44は流体旋回室46を画定する。筒状部材の第2端壁部材44に近い位置には、気液混合流体を流体旋回室46の周面の接線方向に供給するための流体導入孔48が設けられる。第2端壁部材には、流体旋回室の内周面の中心軸線に沿って貫通する流体吐出孔50が設けられる。気液混合流体は、第2端壁部材近くで流体旋回室内に導入され、その多くは、流体旋回室の内周面に沿って旋回しながら第1端壁部材に向かい、反転して、第2端壁部材に向かい、流体吐出孔から排出される。 (もっと読む)


【課題】ナノバブルを効率よく発生する装置を提供する。
【解決手段】この装置は、筒状部材40と、筒状部材の一方の端壁部材44に近い位置に設けられて、筒状部材40内の流体旋回室46に気液混合流体を供給するための流体導入孔48と、該端壁部材に設けられた流体吐出孔50とを有する気体旋回剪断装置14を有する。筒状部材の内周面は鏡面仕上げとされ、該筒状部材の内周面に開口した該流体導入孔に周方向で対応する当該内周面の部分に、該内周面の軸線方向で相互に間隔をあけて設けられた、幅及び深さが1mm以下の複数の環状溝56を有する。 (もっと読む)


【課題】被洗浄面に気泡を含んでいる噴流水を噴射することで、その面を洗浄する気泡式洗浄装置において、高圧ノズルから噴射される噴流水中の気泡が、そのノズルから被洗浄面までの間に弾けるのを防止し、洗浄効果を高める。
【解決手段】噴流水HWを噴射する高圧水ノズル18と、高圧水ノズル18を囲むように設けた洗剤ノズル19,20を備え、噴流水HWを、洗剤ノズル19,29から噴射する洗剤噴流水LWで覆う。 (もっと読む)


本発明は、圧縮ガスと、液体と少なくとも1つの発泡剤の混合物の両方を、泡を放出するための出口を有する発泡室に供給することによって、特に消火又は汚染除去のための圧縮ガス泡を連続的に発生させる方法であって、この方法は、
−発泡剤と液体の混合物を、第1の一定圧力と第1の一定体積流量で発泡室に連続的に供給するステップと、
−圧縮ガスを、第2の一定圧力と第2の一定体積流量で発泡室に連続的に供給するステップと、
−発泡室内の泡混合圧力を一定に維持するために、発泡室の出口における泡圧力を調整するステップとを含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】被洗浄面に気泡を含んでいる噴流水を噴射することで、その面を洗浄する気泡式洗浄装置の気泡生成装置であって、所望量の微細な無数の気泡を効果的に生成することができる。
【解決手段】被洗浄物に気泡を含んでいる噴流水を噴射して被洗浄物を洗浄する気泡式洗浄装置の気泡生成装置であって、気泡生成室内での螺旋状スクリューの回転により水と空気とを攪拌して微細な無数の気泡を発生させ、その気泡を含んだ水を高圧水ノズルに送給する。 (もっと読む)


【課題】マイクロバブルを含む洗浄液を使用して基板を枚葉式で洗浄処理する場合に、洗浄むらを生じることなく処理品質の均一性を保持することができる装置を提供する。
【解決手段】搬送ローラ14によって支持され搬送される基板Wの主面対し複数個の吐出口12からマイクロバブルを含む洗浄液を吐出する吐出ノズル10の端部に、その吐出ノズル内部に溜まる気体を小流量の洗浄液と共に排出するためのエアー抜き配管40を連通接続した。 (もっと読む)


【課題】処理流体による基板処理の際に、基板表面上で顕著な変化を生じさせ、これにより、処理効率の向上を図ることができる基板処理方法および基板処理装置を提供する。
【解決手段】ミキシングバルブ4の混合部40には、薬液供給源71〜74からの薬液原液ならびに純水供源からの常温純水および温純水を供給できる。ミキシングバルブ40から、処理液供給路3を介して、処理液ノズル2に処理液が供給され、この処理液が基板Wに供給される。処理液による基板Wの処理中に、薬液導入バルブ41〜44、流量調整バルブ101〜104、純水供給源バルブ51、温純水供給源バルブ52、純水バルブ5などの制御によって、プロセスパラメータに揺らぎが付与される。 (もっと読む)


【課題】細片を医療用器具から除去するための、効率的かつ安価なデバイス、システムおよび方法を提供すること。
【解決手段】細片収集システム100であって、細長本体110であって、第一の端部、第二の端部、および該細長本体を通って延びる穴127を有し、該細長本体の第一の端部は、密閉状態で閉じられ、そして該細長本体の第二の端部は開口部113を有する、細長本体;該細長本体に固定されるキャップ120であって、該キャップを通って延びる穴を有する、キャップ;ならびに該細長本体に流体を導入するためのポートであって、該キャップに取り付けられる、ポート、を備える、細片収集システム。 (もっと読む)


【課題】基板に与えるダメージを低減可能な処理液を簡易かつ正確に選定する方法を提供する。
【解決手段】はじめに、処理液の分子密度と、処理液を基板表面に物理的に作用させることによって基板に対する処理を実行した際に前記基板に発生するダメージとの関係を示す分子密度相関グラフを準備する。続いて、分子密度相関グラフに基づいて分子密度閾値を特定する。より具体的には、分子密度相関グラフに近似する自然対数曲線Lを特定し、自然対数曲線Lにおいて、ダメージ値が所定の上限ダメージ値の1/e倍(eは自然対数の底)となる分子密度を算出し、当該算出された分子密度の値M1を、分子密度閾値として取得する。続いて、分子密度が分子密度閾値以下の選定処理液を基板に対する処理を実行可能な処理液として選定する。 (もっと読む)


【課題】基板表面に形成されたパターンの倒壊や除去された汚染物質の再付着を防止しつつ基板表面の汚染物質を確実に除去する基板洗浄方法、半導体装置の製造方法及び基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板を回転させながら薬液を基板に供給して基板表面を洗浄する基板洗浄方法であって、基板12に第1の薬液を供給して基板12表面を第1の薬液で満たす工程と、第1の薬液で満たした基板12表面に対して第2の薬液を用いて二流体ジェット洗浄法により基板12表面を洗浄する工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】気泡を生じさせた液体を射出して固体表面を洗浄する際の洗浄効率をより向上させた洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】液体を導入する液体導入部11と、液体導入部より導入される液体に気体を混入する気体導入部12と、流断面積を狭める絞り部と気液混合流体の流れ方向に流断面積が徐々に増大する末広部とからなり、気体導入部から導入された気体から多数の微小気泡を生成させる末広ノズル部14と、生成した多数の微小気泡を含有する気液混合流体を洗浄対象物に射出する射出口17とを有することを特徴とする洗浄ノズル10と、洗浄に用いる液体を洗浄ノズルの液体導入部に供給する液体供給手段と、液体導入部より導入される液体に気体を混入するために、洗浄ノズルの気体導入部に気体を導入する気体供給手段と、を有する洗浄装置。 (もっと読む)


【課題】2流体ジェットノズルの気体配管内に液体が逆流しないための2流体洗浄制御方法及び2流体洗浄装置を提供する。
【解決手段】気体供給手段により気体を2流体噴射手段に供給するステップ100と、気体の供給開始から所定の時間経過後、液体供給手段により液体を2流体噴射手段に供給するステップ110、120と、気体供給手段の気体圧力を判定し、所定の圧力以下になると、液体供給手段による液体の供給を停止するステップ130、140とを含む。 (もっと読む)


【課題】作業空間内の視界を向上すると共に、作業空間外への水の流出を防止できる噴射装置を提供する。
【解決手段】構造物の表面に水を噴射する噴射装置Aにおいて、前記水に粉状の高吸水性高分子を混合して噴射する。噴射装置Aは、前記水が圧送される第1配管21と、前記高吸水性高分子が圧送される第2配管22と、前記第1配管から供給される前記水と前記第2配管から供給される高吸水性高分子とを混合して噴射するノズル10とを備える。 (もっと読む)


【課題】 結束された鋼管内面堆積物清掃装置を用いて自動的に高率良く結束単位で鋼管内面の堆積物を除去することを可能とした結束された鋼管の内面堆積物清掃装置を提供する。
【解決手段】 結束された鋼管の内面の堆積物の清掃装置であって、結束された鋼管を自動搬送機によって鋼管の内面堆積物清掃装置に搬送し、該内面堆積物清掃装置内に設置した水またはエアーと水を噴出させ、鋼管内面の堆積物を除去した後連続して酸洗することを特徴とする結束鋼管の内面堆積物自動清掃装置。 (もっと読む)


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