【課題】 結束された鋼管内面堆積物清掃装置を用いて自動的に高率良く結束単位で鋼管内面の堆積物を除去することを可能とした結束された鋼管の内面堆積物清掃装置を提供する。
【解決手段】 結束された鋼管の内面の堆積物の清掃装置であって、結束された鋼管を自動搬送機によって鋼管の内面堆積物清掃装置に搬送し、該内面堆積物清掃装置内に設置した水またはエアーと水を噴出させ、鋼管内面の堆積物を除去した後連続して酸洗することを特徴とする結束鋼管の内面堆積物自動清掃装置。 （もっと読む）

【課題】より多量の流体を吸引して他の流体に混合させることができる流体混合器およびこれを用いた流体混合方法を提供する。
【解決手段】管体１０内に加圧流体Ｆ０を供給し、その圧力をオリフィス２０により低下させて負圧を発生すると共に、流体室４０および多孔質材料または多孔性膜よりなる流体吸引管３０を通じて吸引流体Ｆ１を吸引させて加圧流体Ｆ０と混合し、流体飛沫群Ｓを発生させる。流体吸引管３０を管体１０と同一内径とすることにより、オリフィス２０下流側の第２領域１０Ｂにおける負圧の度合いを大きくすると共に、流体吸引管３０の厚みを２ｍｍ以下と薄肉にすることにより、吸引流体Ｆ１の吸引に対する抵抗を小さくする。より多量の吸引流体Ｆ１を管体１０内に吸引させ、加圧流体Ｆ０と混合させて、多量の流体飛沫群Ｓを発生させる。 （もっと読む）

【課題】室内の壁や物を濡らすことなく、多くの気体が混入されているミストを噴霧する混相ミスト噴霧システムを提供する。
【解決手段】混相ミスト噴霧システムは、気体のマイクロバブルを液体中に発生するマイクロバブル発生装置と、上記マイクロバブルが混入された液体を加圧する液体加圧装置と、上記加圧された液体を一流体方式でマイクロバブルが混入された微粒子ミストとして噴霧する噴霧装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】噴霧する空間内の物を濡らすことなく、噴霧する空間内の気体の濃度を適正値に制御する混相ミスト噴霧システムを提供する。
【解決手段】混相ミスト噴霧システムは、気体のマイクロバブルを液体中に発生するマイクロバブル発生装置と、上記マイクロバブルが混入された液体を加圧する第１液体加圧装置と、液体を加圧する第２液体加圧装置と、上記気体の濃度および上記液体の蒸気圧に従って上記加圧されたマイクロバブルが混入された液体または上記加圧された液体のいずれかを選択する選択弁と、上記選択された液体を一流体方式でマイクロバブルが混入された微粒子ミストとして噴霧する噴霧装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板上における液体の微粒子の密度を増大し、微粒子の基板への到達速度を調整可能とし、かつ、ノズルの内周面に微粒子が付着することを抑制する。
【解決手段】液滴を噴射する液滴生成ノズル部４１の先端には筒状の補助ノズル部４２が取り付けられる。補助ノズル部４２では、加速ガス導入口４２６ａを介して加速ガスが導入されるとともに、下側端部４２３にて液滴の噴射範囲が制限されることにより、基板上における液滴の密度を増大しつつ、液滴の基板への到達速度が調整可能となる。また、加速ガスが、中心軸Ｊ１に垂直な方向から下側端部４２３に向かって傾斜するとともに中心軸Ｊ１から逸れた方向に沿って内周面４２４の内部へと導入されることにより、加速ガスが内周面４２４に沿って旋回し、内周面４２４に液滴が付着することが抑制される。 （もっと読む）

【課題】二流体ノズルにおいて簡単な構造で液滴を効率よく帯電させる。
【解決手段】基板処理装置は、基板に処理液である純水の液滴を噴出する二流体ノズル３を備え、ノズル３は内筒部材３２および外筒部材３３を備える。ガスは気体流路である内筒部材３２内を流れ、処理液は内筒部材３２と外筒部材３３とにより構成される処理液流路を下方へと流れる。内筒部材３２の下端部３２１の下方は混合領域３０２となっており、混合領域３０２でガスと処理液とが混合されて微細な液滴が生成され、外筒部材３３の下端の噴出口３１から噴出される。気体流路内には第１電極６１が設けられ、処理液流路内には第２電極６２が設けられ、第１電極６１と第２電極６２との間に電位差が付与されることにより処理液に電荷が誘導され、帯電した液滴が生成される。ノズル３では簡単な構造で第１電極６１を処理液から隔離しつつ液滴を効率よく帯電させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、塗膜剥離の悪影響を回避できるのは勿論のこと、最小限の設備で車体を効率よく洗浄できる車体洗浄方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、洗浄液（２９）を噴射して車体表面２Ｗの汚れを洗浄するに際し、洗浄液（２９）の流速によって気体を噴射ノズル２１内に自然吸引させると共に、噴射ノズル２１内で衝突させて気泡洗浄液２９を生成し、この気泡洗浄液２９を前記車体表面２Ｗに向かって噴出させるようにしたのである。 （もっと読む）

【課題】特別な動力を要することなく、また、より少ない液量で効率的に素早く大量の洗浄対象物を洗浄することができる洗浄装置にも適用することができる気液噴射装置を提供する。
【解決手段】液体供給源に接続されて液体を噴射する噴射ノズル２８と、該噴射ノズルの噴射口２９の近傍に気体を供給する気体供給機構とを備えたことを特徴とし、また、気液噴射装置Ｆ９は、少なくとも上記噴射ノズルをその長手軸Ｌｎに沿うようにして収納する筒状のノズル収納部Ｆｂ９を備え、上記噴射口は上記噴射ノズルの長手軸と略直交する方向に開口しており、上記ノズル収納部は、その長手軸に略直交する方向に折り曲げられたガイド筒部２７ｄを備えている、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より低圧で駆動させることができるとともに、より簡単な構造の二流体ノズルを提供する。
【解決手段】二流体ノズル１は、気体を自吸しながら液体を噴出させる二流体ノズルであって、液体が通過する液体流路１１を有する円筒管１０と、液体流路１１の領域を狭めるために液体流路１１の横断面の中心に配置された流路障害物体１４とを備える。円筒管１０は、液体が供給される液体供給口１２と、液体を噴出させる液体噴出口１３とを有する。流路障害物体１４の外表面と円筒管１０の内壁面との間に液体を通過させることによって、液体の流速を高め、液体噴出口１３を通じて気体が円筒管１０の内部に導入される。 （もっと読む）

【課題】従来の浴用等に使用する微細気泡発生装置においては、装置が浴槽に対して大きく、また、動力ポンプ等のエネルギーを使用する。また、循環等で悪臭、菌の発生等もあり、衛生的でない。また、循環式でない旋回式の場合、水量に対する微細気泡の割合が少ない等の問題点があった。
【解決手段】構造が複雑でない旋回式で循環せず、水道水圧流を使用して、小型軽量化のため、気液混合の後、さらに、気泡の細分化、及び、水の活性を向上する為に二次気泡処理室を設けて解決の手段とする。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物が含む素子の破壊を効果的に防止する。
【解決手段】洗浄装置は、気体タンク２２と、気体バルブ２６と、薬液タンク２０と、混合ノズル１８と、電極１０などと、演算部１４などとを含む。気体タンク２２は、気体を供給する。気体バルブ２６は、気体の単位時間あたりの供給量を調整する。薬液タンク２０は、薬液を供給する。混合ノズル１８は、気体タンク２２が供給した気体と薬液タンク２０が供給した薬液とを混合し、洗浄液を噴出する。電極１０などは、洗浄液の帯電量に対応する電流値を検出する。演算部１４などは、電流の絶対値が閾値以上の場合、気体の単位時間あたりの供給量を減少させるように、調整手段を制御する。 （もっと読む）

【課題】排水管内の油性の付着物を効率的に除去するための排水管内清掃装置及び排水管内清掃方法を提供しようとする。
【解決手段】水を貯留するタンクと、タンク内に貯留された水に少なくとも一部が浸漬される位置に設置されて、アルカリ性金属化合物を含有する粒体を収納し水が通過可能なサイズの孔または隙間を壁に有する収納容器と、タンク内に貯留された水を攪拌する攪拌手段と、気流管と、気流管に圧空を導入し出側開口に向けた気流を作る気流発生手段と、気流管内に水を導き、気流により生じた負圧で水を吸引させて気流に随伴させる導水手段と、気流に随伴して移動する水を気流とともに排水管内に導く水案内手段とを備える排水管内清掃装置でありこの排水管内清掃装置を用いた排水管内清掃方法である。
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【課題】ガス溶解水を用いて基板等を洗浄する場合の洗浄効率を向上させることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】ガスをガス溶解装置１で水中に溶解させ、ガス溶解水を殻体たる洗浄槽４に導入し、被洗浄物としての基板Ｓを洗浄する。ガス溶解装置１からのガス溶解水が配管２及び水圧調整弁３を介して洗浄槽４に導入される。水圧調整弁３で減圧されることにより、洗浄槽４内に導入されるガス溶解水中に微細気泡が多量に生じる。この微細気泡含有水によって基板が効率よく洗浄される。 （もっと読む）

【課題】洗車装置において主に水が用いられる洗浄液の噴出装置を、洗車能力を落とすことなく洗浄液の節約が可能となるように改良し、洗車等の洗浄に掛るコストを軽減できる経済的な洗浄用噴出具を開発して提供する。
【解決手段】水道水の入口部４５と、入口部４５に流入されてくる水道水を噴出させるノズル４７と、入口部４５とノズル４７とを接続する液経路５０におけるノズル４７の近傍箇所である混合室４９に、エアを供給可能なエア供給部５２と濃縮液体洗剤を供給可能な洗剤供給部２０とを配設し、エア活性水、エア洗剤水、及びエアの各噴出が可能なグリップガン構造の洗浄用噴出具を構成する。 （もっと読む）

【課題】洗車装置において主に水が用いられる洗浄液の噴出装置を、洗車能力を落とすことなく洗浄液の節約が可能となるように改良し、洗車等の洗浄に掛るコストを軽減できる経済的な洗浄用噴出装置を提供する。
【解決手段】第１供給ホース２２を介して送られてくる洗剤水をグリップガン体１９の単一の液移送路５０に取込む第１流入状態と、第２供給ホース２３を介して送られてくる水道水を液移送路５０に取込む第２流入状態とを切換える切換弁２１、及び液移送路５０に流れてくる液体を噴出させるノズル４７を備え、液移送路５０におけるノズル４７の近傍箇所４９に高圧エアを混合させるエア供給部５２が装備されて成る噴射ノズル装置。 （もっと読む）

【課題】混合処理液による処理効率を向上させることができる二流体ノズル、ならびにそれを用いた基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】二流体ノズル３は、外筒２３および内筒２４を含む。内筒２４の下端には、硫酸を吐出する半円状の第１処理液吐出口３０と、過酸化水素水を吐出する半円状の第２処理液吐出口３４とが形成されている。外筒２３の下端と内筒２４の下端との間は、第１および第２処理液吐出口３０，３４を取り囲み、窒素ガスを吐出する円環状の環状気体吐出口３１となっている。第１および第２処理液吐出口３０，３４から吐出された硫酸および過酸化水素水は、環状気体吐出口３１から吐出された窒素ガスと混合されて液滴状態となり、ウエハＷの上空またはウエハＷの表面上で混合されて、活性の高いＳＰＭとしてウエハＷの表面に供給される。 （もっと読む）

【課題】 加圧気体の噴出力に伴う負圧力を利用しながらも、液体と気体の強い拡散噴出力と比較的均一で粒径の小さな霧化された洗浄液を噴出可能な、流体噴出装置を提供する。
【解決手段】気体噴出管７は、可撓性を有する管材によって形成され、基端が外筒６の後端部に固定されるとともに加圧気体の供給源２と管路を介して連通される一方、先端が自由端を成し、加圧気体が噴出されることによって外筒の拡開したラッパ状内面に沿って旋回運動する。液体を噴出させるノズル部材１０は、外筒の後端部寄りの壁面に取り付けられ、液体供給源３と管路１１を介して連通され、噴出管の旋回領域背後に生じる負圧力または負圧力及び水道水などの水圧力とによって、ノズル部材の先端より液体を外筒の開放端に向けて噴出させる。 （もっと読む）

【課題】基板へのダメージを抑制しつつ、処理液による処理時間を短縮することができる二流体ノズル、ならびにそれを用いた基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】二流体ノズル３は、外筒２３、内筒２４および中間筒２５を含む。内筒２４の内部空間は、ＤＩＷが流通する直線状の第１処理液流路２６となっている。内筒２４と中間筒２５との間には、窒素ガスが流通する円筒状の気体流路２７が形成されおり、中間筒２５と外筒２３との間には、ＤＩＷが流通する円筒状の第２処理液流路２８が形成されている。第１処理液流路２６の下端は、ＤＩＷを吐出する円状の第１処理液吐出口３０となっており、気体流路２７の下端は、第１処理液吐出口３０を取り囲み窒素ガスを吐出する円環状の気体吐出口３１となっている。また、第２処理液流路２８の下端は、気体吐出口３１を取り囲みＤＩＷを吐出する円環状の第２処理液吐出口３４となっている。 （もっと読む）

【課題】気体の吐出流量を変更して処理対象に応じた処理を施すことができる二流体ノズルおよびそれをそなえた基板処理装置を提供する。
【解決手段】ＤＩＷの液滴をウエハＷに供給するための二流体ノズル３には、ＤＩＷを吐出する円状の処理液吐出口２８と、処理液吐出口２８を取り囲む第１気体吐出口２９と、第１気体吐出口２９を取り囲む第２気体吐出口３１とが形成されている。第１気体吐出口２９からは小流量で窒素ガスが吐出されるようになっており、第２気体吐出口３１からは大流量で窒素ガスが吐出されるようになっている。第１および第２気体吐出口２９，３１への窒素ガスの供給を制御装置によって制御することにより、一つの二流体ノズル３で、大流量での窒素ガスの吐出と、小流量での窒素ガスの吐出とを行うことができる。これにより、表面状態に応じた処理をウエハＷに施すことができる。 （もっと読む）

【課題】処理対象に応じた処理を施すことができる二流体ノズルユニットおよびそれをそなえた基板処理装置を提供する。
【解決手段】二流体ノズルユニット３は、ＤＩＷと窒素ガスとを混合させてＤＩＷの液滴を形成する第１二流体ノズル９および第２二流体ノズル１０と、これら第１および第２二流体ノズル９，１０を一体保持するノズル保持部材１１とを有している。第１二流体ノズル９からは小流量で窒素ガスが吐出されるようになっており、パターンへのダメージを抑制した処理をウエハＷに施すことができる。また、第２二流体ノズルからは大流量で窒素ガスが吐出されるようになっており、パーティクル除去率の高い処理をウエハＷに施すことができる。第１および第２二流体ノズル９，１０から選択的にＤＩＷの液滴を吐出させることにより、ウエハＷの表面状態に応じた適切な処理を行うことができる。 （もっと読む）