【課題】切削加工後のワークを傷付けずに、ワーク表面の付着物を効果的に除去して、洗浄品質を向上させる。
【解決手段】ノズル４１に接続した給水管４５には、純水中にマイクロナノバブルＢを発生させるマイクロナノバブル発生器４９が接続され、ノズル４１の先端はワークＷの被洗浄部近傍に配置されている。ノズル４１の吐出口部には圧力維持バルブ５１が設けられ、マイクロナノバブル発生器４９で生成した加圧過飽和状態のマイクロナノバブルＢを含む洗浄水Ｃが、洗浄中にノズル４１から吐出して、ワークＷの被洗浄部に至近距離から供給する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で洗浄効果の高い洗浄ノズルを提供する。
【解決手段】洗浄ノズル８は、被洗浄物に微細気泡を含む加圧水流を洗浄水として噴射するノズル本体８１と、ノズル本体８１の軸線から偏心した位置に配置され、微細気泡を含む加圧水流を導入して、ノズル本体８１の内周壁８１３の円周方向に沿って流す導水管８２１として機能する空間Ｓ３が形成された混合ホルダ部８２と、ノズル本体８１の噴射口８１２の縁部に吸引口８３１が配置され、回収した洗浄水を再利用するための液部吸引管８４２として機能する流路が形成されたヘッド部８３と、ノズル本体８１と同軸線上に配置されていると共に、噴射口８１２の中心部に吸引口８４１ａが配置され、回収した洗浄水を廃棄するための気泡部吸引管８４１とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 従来洗浄困難であった被洗浄面全域をコンタミが覆った場合であっても、該コンタミを好適に除去する。
【解決手段 】被洗浄面に対して垂直な方向から洗浄流体を吹き付ける第一の洗浄工程と、第一の洗浄工程により部分的に露出した被洗浄面に対して垂直とは異なる所定の角度を以って洗浄流体を吹き付ける第二の洗浄工程と、によって被洗浄面とコンタミとの剥離部分を拡大させてコンタミの除去を図る。 （もっと読む）

【課題】止まり穴に照射して止まり穴内を洗浄した洗浄液を回収し、再利用することができる止まり穴洗浄装置を提供する。
【解決手段】止まり穴洗浄装置は、被洗浄物に形成された止まり穴に洗浄液を供給する供給口と止まり穴から洗浄液を回収する回収口とを備え止まり穴の開口を覆う蓋部材と、洗浄液を循環用タンクから供給口へ供給する供給路と洗浄液を回収口から循環用タンクへ回収する回収路とを備えた循環路と、洗浄液を循環路で循環させる循環用ポンプと、供給口へ供給する洗浄液に微細気泡を生成する気泡生成手段とを備えている。循環用ポンプにより循環用タンクから取り出された洗浄液は、気泡生成手段により微細気泡が生成され、蓋部材の供給口から止まり穴内に照射される。止まり穴内を洗浄した洗浄液は蓋部材の回収口から循環用タンクに回収され、止まり穴の洗浄に再利用される。 （もっと読む）

【課題】高い洗浄力を有しながら節水効果も有する気液混合体を噴射させる洗浄水噴射装置を提供する。
【解決手段】圧縮空気９を流動させるための第１の中空部３を備えた第１の筒体２と、この第１の筒体２を，第２の中空部５を備えて収容する第２の筒体４と、第１の筒体２の外側面２ａと第２の筒体４の内側面４ａとの間に形成される水密な空隙６と、第２の筒体４の側面を貫通して形成され空隙６に洗浄水１０を供給する洗浄水供給口４ｂと、第１の筒体２の側面を貫通して形成され空隙６に供給された洗浄水１０を第１の中空部３内に導入して圧縮空気９と混合させて気液混合体１１を生成させる複数の洗浄水導入口２ｂと、第１の筒体２の端部に形成される導出口２ｄとを有し、複数の洗浄水導入口２ｂは，第１の筒体２の内側面において互いに対向して配置されることがなく、かつ、第１の筒体２の中心軸の周囲に回転対称に配置される洗浄水噴射装置１による。 （もっと読む）

【課題】比較的簡便な構成で、配管破損を生じることなくかつ短時間で、配管を洗浄することができる配管洗浄方法を提供する。
【解決手段】
まず、内部にオゾンを含む直径が１μｍ未満の気泡であるオゾンナノバブルを含む洗浄液が生成される。次いで、当該洗浄液が配管内壁の付着物に所定の圧力で供給される。この洗浄液によれば、洗浄液中のオゾン粒子数の残存時間を長期間維持することができ、オゾンの作用を効果的に引き出すことができる。その結果、洗管作業時間内における洗浄液中のオゾンバブルの消滅を実質的に無視することができる。また、この洗浄液は、ＯＨラジカルや酸素ラジカルを含むため、その作用により、スケールやスライムはもちろん、配管内壁に付着している水酸化第一鉄、水酸化第二鉄等を極めて効率よく短時間で分解除去することができる。 （もっと読む）

【課題】洗浄装置において、被洗浄物の表面に洗浄液を噴射して洗浄を行う場合に、被洗浄物の表面からの飛散物が種々の方向に飛散する場合でも再付着を防止することができるようにする。
【解決手段】洗浄装置１は、レンズ１５を保持して回転させる回転保持部２と、回転保持部２に保持されたレンズ１５上のスポット状の洗浄領域に洗浄液Ｌを噴射する洗浄液噴射部７と、洗浄領域の周囲を、回転中心に対する洗浄領域の相対移動方向における後方側から覆うように凸レンズ面１５ａに入射する層状気流１７を形成する圧縮空気噴射部８と、回転保持部２および洗浄液噴射部７の少なくとも一方を移動させて、洗浄領域をレンズ１５の回転中心から外周側に向かって相対移動させるとともに層状気流１７の入射位置を洗浄領域の相対移動に追従して相対移動させる昇降ステージ６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】加圧ポンプを設けることなく、通常の上水圧力で被散水物を効率的に洗浄する。被散水物表面における上水の拡散性、流動性を高めて上水の消費量を低減する。
【解決手段】上水管（１）から供給される上水をバブル発生手段（５）によりマイクロバブル化またはナノバブル化して生成された散水用上水を被散水物へ散水する。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象物の洗浄作業を容易におこなうことができるノズルを提供することを課題とする。
【解決手段】水の流出口に接続されて、水の流出口からの水が流入する流入部１１と、流入部から流入した水の流れを絞って水の流速を増加させる絞り部１２と、絞り部１２から下流側へ流出する水に気泡が混入するように空気を導入する空気導入部１３と、洗浄液が溜められる容器２内と連通するように構成され、絞り部１２から下流側へ流出する水に容器内２の洗浄液が混入するように洗浄液を導入する洗浄液導入部１４と、を具備し、流入部１１から流入した水に気泡および洗浄液を混入させて洗浄液混入気泡水とし、洗浄液混入気泡水を噴射するように構成されるノズル１とする。 （もっと読む）

【課題】従来の超音波洗浄装置において、微細気泡を含有する洗浄液を供給して、被洗浄物を洗浄する場合、洗浄液の微細気泡によって、超音波が減衰し、被洗浄物の表面に超音波が伝達せず、洗浄力が落ちてしまうという課題があった。
【解決手段】被洗浄物の一面に微細気泡を含有する第一の洗浄液を供給する第一の洗浄液供給経路と、前記被洗浄物の他面に微細気泡を含有しない第二の洗浄液を供給する第二の洗浄液供給経路と、前記被洗浄物の他面側から前記被洗浄物を通して前記第一の洗浄液と接する前記被洗浄物の一面に超音波を付与する超音波振動子とを有することを特徴とする超音波洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】フィルタの寿命を延ばすことができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、基板Ｗに供給される処理液をろ過するフィルタ１６を内部で保持するハウジング１７と、ハウジング１７に保持されている状態のフィルタ１６に液滴を衝突させるスプレーノズル２３とを含む。フィルタ１６に付着している異物は、液滴の衝突によって除去される。 （もっと読む）

【課題】安定して確実に目詰まりを解消できるエアージェッティング装置及び工法を提供する。
【解決手段】高圧水と圧縮空気を用いて井戸のスクリーン81を洗浄するエアージェッティング装置10であって、装置10の中心軸C上に配置された高圧水送管6と、高圧水送管6が上面に接続されかつ高圧水送管6と連通する内部空間31dを具備する高圧水ノズル取付部3と、高圧水ノズル取付部3の側面に取り付けられかつ高圧水ノズル取付部3の内部空間31dと連通する複数の高圧水ノズルと、圧縮空気を供給するために高圧水送管6内及び高圧水ノズル取付部3の内部空間31d内を貫通しかつ装置10の下端まで延在するエアー送管5と、エアー送管5を通して供給された圧縮空気を放出するためにエアー送管5の下端に接続されかつ中心軸Cの周りに均等に配置された複数のエアーノズル12と、を備える。 （もっと読む）

【課題】硫酸の温度の変更に容易に対応可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】この基板処理装置は、硫酸と過酸化水素水とを混合して生成したレジスト剥離液を基板Ｗの表面に供給する。この基板処理装置は、レジスト剥離液を基板に向けて吐出するノズル２と、ノズル２に向けて過酸化水素水を流通させる過酸化水素水供給路３０と、過酸化水素水供給路３０上においてノズル２までの流路長が異なる複数の混合位置ＭＰ１，ＭＰ２，ＭＰ３，ＭＰ４にそれぞれ接続された複数の硫酸供給路３１，３２，３３，３４と、硫酸供給源２５からの硫酸を前記複数の硫酸供給路から選択された硫酸供給路に導入する硫酸供給路選択ユニット３５とを含む。 （もっと読む）

【課題】洗浄効率の向上を図ることにより環境負荷となる洗浄水自体の使用量を低減し、洗浄後の洗浄水の処理に要するコストを低減する。
【解決手段】洗浄水が自由に流入出可能な構造を有すると共に複数の被洗浄体を収容する洗浄用籠、上記洗浄用籠を設置する洗浄槽、上記洗浄用籠を回転させる回転装置、上記洗浄用籠内の上記被洗浄体が集合する受噴射籠面に向けて洗浄水と気体との気液混合物を噴射する少なくとも２個の互いに分散設置されたインゼクター、上記洗浄槽の上方から流出する洗浄済み水を回収すると共に重量差を利用して上記洗浄済み水を汚れ成分と洗浄水とに分離する回収分離槽、上記回収分離槽において分離された上記洗浄水を上記各インゼクターに再供給する洗浄水再供給装置を備え、上記各インゼクターは、洗浄時間の後半では噴射を停止、あるいは弱めるように構成した。 （もっと読む）

【課題】ディスク駆動装置の清浄度を向上し、磁気ヘッドがトレースするときの磁気ヘッドと記録ディスクとの隙間を小さくした場合にＴＡ障害の発生率を低く保つことのできる技術を提供する。
【解決手段】ディスク駆動装置の製造方法において、組立工程では、クリーンルーム内で固定体に軸受ユニットと軸受ユニットによって固定体に対して回転自在に支持される回転体とを組み付けてサブアセンブリを組み立てる。洗浄工程では、サブアセンブリの固定体と回転体の少なくとも一方に洗浄液と第１気体との混合物を吹付けて洗浄する。密封工程では、サブアセンブリを密封部材により密封する。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体封口用マスクを良好に洗浄することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る洗浄方法は、上面１ａから下面１ｂにかけて厚さ方向Ｄ１に貫通している複数の貫通孔５を有するマスク１の洗浄方法であって、マスク１を厚さ方向Ｄ１に直交する搬送方向Ｄ２に搬送する工程と、搬送されるマスク１の上面１ａ及び下面１ｂに対し、厚さ方向Ｄ１に対して搬送方向Ｄ２の上流側に傾斜する方向Ｄ６に洗浄液３４を供給する洗浄工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体封口用マスクを良好に洗浄することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る洗浄方法は、上面１ａから下面１ｂにかけて厚さ方向Ｄ１に貫通している複数の貫通孔５を有するマスク１の洗浄方法であって、マスク１を厚さ方向Ｄ１に直交する搬送方向Ｄ２に搬送する工程と、搬送されるマスク１の洗浄面３（上面１ａ及び下面１ｂ）に洗浄液１４が供給された状態で、洗浄面３と平行かつ搬送方向Ｄ２と交差する方向Ｄ３に延びる軸回りに回転するローラブラシ１２ａ，１２ｂのブラシ１２ｃを洗浄面３に接触させる洗浄工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体封口用マスクを良好に洗浄することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る洗浄方法は、上面１ａから下面１ｂにかけて厚さ方向Ｄ１に貫通している複数の貫通孔５を有するマスク１の洗浄方法であって、マスク１がホイールコンベア７により厚さ方向Ｄ１に挟持された状態で、厚さ方向Ｄ１に直交する搬送方向Ｄ２にマスク１をホイールコンベア７により搬送する搬送工程と、搬送されるマスク１の上面１ａ又は下面１ｂの少なくとも一方に対し洗浄液又は風を供給する洗浄工程と、を備え、ホイールコンベア７が、マスク１の搬送方向Ｄ２に沿って千鳥状に配列された複数の一対のホイール７ａ，７ｂを有している。 （もっと読む）

【課題】 マスクブランク用基板の洗浄時に、ガラス基板内部に潜傷が発生することを抑制でき、しかも基板主表面に存在するパーティクルを確実に排除できるマスクブランク用基板等の基板の洗浄方法を提供する。
【解決手段】 液体中に配置された基板の少なくとも一つの表面に向かって、気泡又は洗浄用粒子を含む加圧した洗浄液体を噴射ノズルから噴射し、前記基板の少なくとも一つの表面を洗浄することを含むことを特徴とする、基板の洗浄方法である。 （もっと読む）