【課題】構成の簡略化を図るとともに、設備費およびランニングコストを低減させること。
【解決手段】配管３３と枝管３４との間に設けられるとともに、シリンダー８３と、シリンダー８３内に収められたピストン８４と、ピストン８４に固定されたロッド８５とを有するアクチュエーター８１と、ロッド８５に連結されたリンク機構８２と、を備え、洗浄水供給時には、洗浄水の及ぼす圧力によりピストン８４およびロッド８５が一方向に移動し、配管３３と枝管３４とが連通するとともに、リンク機構８２により、噴射ノズルが航空機に近づくように枝管３４がスイングし、洗浄水非供給時には、アクチュエーター８１内に設けられた付勢手段９５により、ピストン８４およびロッド８５が他方向に移動し、配管３３と枝管３４との連通が遮断されるとともに、リンク機構８２により、噴射ノズルが航空機から遠ざかるように枝管３４がスイングするように構成されている。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物に超音波を照射することにより除去された異物が被洗浄物へ再付着することを防止することができる超音波洗浄装置の提供。
【解決手段】超音波洗浄装置であって、少なくとも、超音波を超音波振動子から洗浄液に伝える振動部材と洗浄液の噴出口と吸引口と、を備えており、
前記振動部材は平板状の剛体であり、平板状の超音波振動子に接合されており、
前記洗浄液の噴出口と吸引口は、前期振動部材の表面または前記振動部材が、被洗浄物が載置された平面に形成する垂直投影の内側に配置されていること、を特徴とする超音波洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】洗浄ノズルの中心軸と被洗浄部との位置合わせを容易に行うことができる技術を提供することを課題とする。
【解決手段】連結手段５７は、支持穴５２を囲うようにして支持ブロック５３に設けられた複数個のピン穴６１〜６８と、これらのピン穴６１〜６８の一つに嵌合するように回転ブロック５３から突出されたピン７１とからなる。ピン７１をピン穴６１からピン穴６２に変更して連結することで、洗浄ノズル２５は矢印（１）のように移動する。同様にピン７１をピン穴６２から隣接するピン穴６３〜６８に変更して連結することで、洗浄ノズル２５は回転中心５４を中心にして一周する。
【効果】回転ブロックを回転させ支持ブロックに固定するだけで洗浄ノズルの位置が調整されるので、洗浄ノズルの中心軸と被洗浄部との位置合わせを容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象となる基板近傍にて光触媒反応を利用してＯＨラジカルを潤沢に発生させることによって、基板上に付着した有機物等のパーティクルを効果的に除去することのできる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】処理対象である基板Ｗ上の被処理面Ｗ１を洗浄する第１のノズル１１と、被処理面Ｗ１上に液を供給する第２のノズル１２と、を備え、第１のノズル１１は、被処理面Ｗ１に対向し液に接触する光触媒１１ａと、光触媒１１ａを保持する保持部材１１ｂと、保持部材１１ｂを透過して光触媒１１ａに光を照射する光源１１ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】全ての部品を同一方向から簡単に組み付けることができる組立性の良い車両用灯具の洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄液が供給されるシリンダ２と、該シリンダ２内に摺動可能に嵌挿されたピストン３と、該ピストン３をシリンダ２内に引き込む方向に付勢する付勢手段と、洗浄液を車両用灯具に向けて噴射する噴射ノズルと、洗浄液の圧力が所定値以上になると開いて洗浄液を前記噴射ノズルに供給するチェックバルブ機構を備えた車両用灯具の洗浄装置において、前記ピストン３が貫通するカバー７によって前記シリンダ２の一端開口部を閉塞するとともに、前記付勢手段を前記カバー７と前記ピストン３の間に介装された圧縮バネ８で構成し、前記カバー７の前記シリンダ２への固定と前記チェックバルブ機構及び前記噴射ノズルの前記ピストン３への固定を同一方向からの凹凸係合によって行う。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象部分の周辺に対し、使用済みの洗浄液が飛散して付着することを効果的に抑制し、洗浄対象部分を効率的に洗浄することができるばかりか、洗浄液の使用量を抑制し、かつ、洗浄後の乾燥時間を短縮できる部分洗浄装置及びそれを用いた部分洗浄方法を提供する。
【解決手段】部分洗浄装置及び部分洗浄方法であって、内部に洗浄液吐出ノズル及びエアー吹き付けノズルを有し、上方または側方の壁面に第１の開口部を有するハウジングと、第２の開口部を有し、ハウジングに対して取り外し可能に密着する弾性マスキング部材と、を備え、ハウジングの上方または側方において、弾性マスキング部材を介して載置された被洗浄物に対し、第１及び第２の開口部を通して、洗浄液吐出ノズルにて洗浄液を吐出した後、エアーを吹き付けノズルにてエアーを吹き付け、被洗浄物に付着した洗浄液を強制的に除去する。 （もっと読む）

【課題】ノズル形成部のクリーニング時に、ノズル形成部の表面に引っ掻き傷が付いてノズル形成部の撥水性が損なわれることを防止し、及び、ノズルから噴射される液滴の着弾位置がクリーニングの前後において位置ずれすることを防止する。
【解決手段】液滴噴射ヘッドのクリーニング装置において、液滴噴射ヘッド３における複数のノズル１１が形成されたノズル形成部１０を洗浄液に浸して洗浄するディップユニットと、洗浄されたノズル形成部１０に非接触で対向するとともに吸引力を作用させてノズル形成部１０の表面に付着した洗浄液を除去する除去ユニット２５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高圧洗浄車において、簡単な構成で操作性を向上させながら、ホースリール操作レバーの誤動作を防止する。
【解決手段】第１油圧モータを流量制御機構を備えた方向切換弁に接続し、この方向切換弁に接続されたホースリール操作レバー１７を操作することで、回転方向及び回転速度を制御可能に構成する。ホースリール操作レバー１７を、第１直線部９０ａと、この第１直線部９０ａの中間の中立位置に連続して第１直線部９０ａに垂直な第１垂直部９０ｂとを有する操作盤表面５０ａの第１ガイド孔９０内に配置し、第１引張コイルバネによって第１垂直部９０ｂに沿って第１直線部９０ａから離れる方向へ付勢する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄対象物に洗浄液混合の圧縮気を噴射可能であると共に、周囲にミストが飛散しなよう吸引回収可能であり、洗浄液を切り替えて汚れや塵埃などを除去し、最終的に圧縮空気のみを噴射して、洗浄の全工程を一挙に完了可能とする新たな洗浄技術を提供する。
【解決手段】 グリップ２の先端に一体化してなる吸引筒７の先端中央に、同吸引筒７に対して同心状配置で、その先端がわ方向に向けた洗浄ノズル８を設け、該グリップ２の基端から該洗浄ノズル８に達する主圧縮気回路３の適所に噴射スイッチ６を配し、該主圧縮気回路３適所から分岐した負圧誘導回路３３の末端を、当該吸引筒７内壁適所において、同吸引筒７末端がわに向けて開口し、当該グリップ２内の一液回路４１および別液回路４２の各内端に液路切換器５を接続し、且つ、同液路切換器５の吐出路５１を、当該主圧縮気回路３の適所に配した気液混合器３５に接続してなる洗浄ガン１である。 （もっと読む）

【課題】特に地下タンクの撤去作業前に可燃性蒸気対策として、比較的安価且つ安全性の高い地下タンクの洗浄方法を提供する。
【解決手段】高圧ホース１０の先端には洗浄ノズル２０が装着され、後端には高圧洗浄機３０が接続されて、高圧水が供給される。高圧ホース１０は、通気管・油面計口Ｌを通って地下タンクＴ内に挿入されている。サクション口Ｓには、先端が地下タンクＴの底面近くまで延びたサクションパイプ４０が差し込まれ、サクションパイプ４０の他端には、ホース５０を介してエアー駆動式ダイヤフラムポンプ６０が接続され、さらにホース７０を介してバキューム車８０に接続されている。高圧ホース１０に高圧洗浄機３０から高圧水が供給されると、洗浄ノズル２０から高圧水Ｈが噴き出し、地下タンクＴ内面に残っていたガソリン等の付着物を洗い流す。同時に、地下タンクＴ内に溜まった洗浄廃水Ｗをサクションパイプ４０から回収する。 （もっと読む）

【課題】シリンダーブロック等の筒ワークから内在物を除去する除去性能を向上させる。
【解決手段】筒ワークであるシリンダーブロック１の開口を閉塞するワーククランパ２１と、ワーククランパ２１に支持軸３０を介して設けられ、支持軸３０の進退によりシリンダーブロック１の開口内を進退自在な封止板３１と、ワーククランパ２１内側の封止板３１の背面空間に流体を供給するエアカプラ４１とを備え、シリンダーブロック１の開口内面と封止板３１との間の隙間Ｓから封止板３１の背面空間に供給した流体を吹き出してボア内壁面の内在物を除去するようにした。 （もっと読む）

【課題】微細化した水粒子の粒径が大きくなることを防止して、被洗浄面に水膜が形成されることを防止し、被洗浄ノズルを効率的に洗浄可能なノズル洗浄装置を提供する。
【解決手段】複数の被洗浄ノズル１を着脱自在に保持するノズルホルダ１１と、微細化した水粒子と圧縮空気とを混合してなる二流体を生成する二流体生成装置１２と、二流体生成装置１２に接近配置され、ノズルホルダ１１に保持した被洗浄ノズル１へ向けて二流体を噴き付ける二流体噴射ノズル１３と、二流体噴射ノズル１３が被洗浄ノズル１に順次対面するように、二流体生成装置１２及び二流体噴射ノズル１３をノズルホルダ１１に対して相対移動させる移動手段１４とを備えた。 （もっと読む）

【解決手段】一実施形態例では、ウェットシステムは、プロキシミティヘッドと、基板（例えば半導体ウエハ）のためのホルダとを含む。プロキシミティヘッドは、メニスカスとしての水性流体の流れをプロキシミティヘッドの表面にわたって生じさせるように構成される。プロキシミティヘッドの表面は、流れを通じて基板の表面に作用する。ヘッドの表面は、流れを閉じ込める、維持する、及び／又は促進する表面形状変更を伴った非反応性材料（例えば熱可塑性プラスチック）で構成される。表面形状変更は、（例えばダイヤモンド又はＳｉＣの先端を伴った）円錐状のスクライブによって表面に彫り込まれてよい、又はテンプレートを使用して表面上にメルトプリントされてよい。これらの変更は、準ウィッキング又は超疎水性を生じさせえる。ホルダは、基板の表面を流れに曝す。 （もっと読む）

【課題】焼き網の洗浄装置において、従前より各々の方法がとられ、また装置が使用されているが、１枚ごとの洗浄のために処理能力に問題があった。
【解決手段】搬送ベルト上に焼き網1枚分の移動を規制する部材を設け、その上に複数枚の焼き網を重ねた状態にて、その上部より高圧の角度を変化させ、回転した洗浄水を噴射し通過させることにより、焼き網どうしが擦り合い研磨作用を発生させ数枚同時に洗浄可能となるため処理能力を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ユニットバス内部の天井及び壁を自動的に洗浄する。
【解決手段】ユニットバスの天井６に設けた穴からホース２が垂れ下げてあり、ホース２は、洗浄水を供給する給水源４に接続されている。ホース２の先端は旋回体１に接続されている。旋回体１は、独立気泡の合成樹脂発泡体製であり、花びら状である。ホース２に給水源４の水をポンプＰで圧力を２ＭＰａ以上に上げて吐出させると、ホース２が不規則に運動し、複数の翼片１０の間には空間があるため空間を通る空気流が生じ、各翼片に不均一な空気力が作用し、旋回体１が不規則にホース２を中心に旋回運動をすると共に、ホース２をＵ字状に折り曲げるので、噴出孔３が天井６の方向を向き、噴出水は天井６に向かい、天井を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】実際の洗浄状態における洗浄圧力のまま洗浄部位に対する洗浄ノズルの位置を正確に調整することができる洗浄機のノズル狙い位置調整装置およびその方法を提供する。
【解決手段】調整用ターゲット３を被洗浄物２０に取り付け、ノズル部２の取付固定位置３５と調整用ターゲット３の中心軸３０が洗浄機のＸ軸上に配置されるように調節する。洗浄圧力を実際の洗浄状態の圧力と同じ圧力に設定して、洗浄液を洗浄ノズル５から調整用ターゲット３に向けて噴射する。洗浄液は円錐８に当たった後、円錐８の斜面に沿ってあるいは円筒７内周面に沿って進み、洗浄液吐出孔１０から円筒外部へ吐出される。ＮＣにより洗浄ノズル５の狙い位置を洗浄機のＸ、Ｙ、Ｚ軸、および旋回方向へ移動させ、洗浄液が各洗浄液吐出孔１０から均等に吐出するように調整する。洗浄液吐出孔１０から均等に洗浄液が吐出される位置座標を洗浄ノズル５の狙い位置原点として、ＮＣにより各洗浄部位を特定する。 （もっと読む）

【課題】液体中のナノバブルとマイクロバブルを短時間で分離して、ナノバブルを多く含む液体を基板に対して供給して使用することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、液体と気体を混合させて微小気泡を含む液体Ｌを生成する微小気泡生成器３２と、マイクロバブルＭＢとナノバブルＮＢを有する微小気泡を含む液体Ｌを溜める貯蔵部３３と、貯蔵部３３内の微小気泡を含む液体Ｌを加圧した状態で通す液体案内部５０と、液体案内部５０内を通る微小気泡を含む液体に対して電場を付与してマイクロバブルとナノバブルとを分離する電場付与部５１とを有して、分離されたナノバブルＮＢを含む液体Ｌを基板Ｗに供給する微小気泡分離器４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被洗浄体が、例えば、孔または溝等、複雑な形状の凹凸部を有した場合であっても、凹凸部に付着した異物を被洗浄体から除去することができる洗浄装置を得る。
【解決手段】洗浄水１の中で、異物が付着した被洗浄体４に向かってマイクロバブル６を噴射して異物に吸着させ、異物を被洗浄体４から分離させ、マイクロバブル６が洗浄水１の水面に向かって浮上するのに伴って異物を浮上させて、被洗浄体４を洗浄する洗浄装置であって、洗浄水１を貯留する洗浄槽２と、マイクロバブル６を噴射するマイクロバブル噴射器３と、被洗浄体４を保持するハンド部５ｃを有しているととともに、被洗浄体４を移動させるロボットアーム５と備え、ロボットアーム５は、被洗浄体４を移動させて、被洗浄体４とマイクロバブル噴射器３との相対位置を変えながら、マイクロバブル６を被洗浄体４に衝突させる。 （もっと読む）

【課題】付着物をより確実に除去することが可能なシリンダーの洗浄方法を提供すること。
【解決手段】表面に電子写真感光体用の堆積膜を形成することが可能なシリンダーを洗浄する方法であって、シリンダー１０１の長軸の周りでシリンダー１０１を回転させながら、洗浄液を、シリンダー１０１の長軸方向の全長ｈに等しい長さのスリット形状の噴射位置から長軸と垂直にかつシリンダー１０１の表面の接線方向に向けて噴射する。 （もっと読む）

【課題】均一な洗浄性能を得るとともに、洗浄液供給ノズルと被洗浄基板との間に液膜を形成する際の使用液量を低減することが可能な超音波洗浄ヘッドを備える超音波洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】超音波を、供給される洗浄液に照射することで、被洗浄基板３０を洗浄する超音波洗浄装置１０において、被洗浄基板３０を垂直な姿勢で保持する基板保持手段３１と、洗浄液を供給する複数の超音波洗浄ヘッド２０ａ、２０ｂを備え、超音波洗浄ヘッド２０ａ、２０ｂは、超音波を発生させる超音波振動子２１ａ、２１ｂと、洗浄液を噴射する洗浄液供給ノズル２２ａ、２２ｂを備え、複数の超音波洗浄ヘッド２０ａ、２０ｂは、被洗浄基板３０の洗浄方向に沿って複数設けられており、各洗浄液供給ノズル２２ａ、２２ｂの開口部の中心軸が被洗浄基板３０と超音波洗浄ヘッド２０ａ、２０ｂの間で交差することを特徴とする超音波洗浄装置１０である。 （もっと読む）