【課題】 雌ねじ部が形成された加工穴をきれいに洗浄することができる技術を提供する。
【解決手段】 ワーク１２をロボット８によって支持し、ワーク１２に形成される加工穴１４と洗浄ノズル２２を対向させて、洗浄ノズル２２から洗浄流体を噴射する。このとき、洗浄ノズル２２は、加工穴１４の内壁に形成されたねじ溝３６に向けて洗浄流体を斜めに噴射し、加工穴１４の内部にねじ溝３６に沿って旋回する洗浄流体の旋回流を発生させる。 （もっと読む）

【課題】ミストの漏洩防止および排気が十分になされ、加工装置が備える他の機器や部品へのミストによる悪影響を防止する。
【解決手段】ケーシング２０内の洗浄室２１に設けたスピンナテーブル３０にウェーハ（ワーク）Ｗを保持し、ケーシング２０上方の開口をフラップ２５で閉じ、洗浄室２１内を密閉した状態で、スピンナテーブル３０を回転させ、洗浄水供給ノズル５０から、回転するウェーハＷの上面に洗浄水を供給して洗浄するスピンナ洗浄装置１において、洗浄室２１内の、スピンナテーブル３０の保持面３０Ａよりも上方に配したエアブロワ７０から下向き、かつスピンナテーブル３０の回転方向に沿った方向に空気を噴出させて、発生するミストを下方におさえ込み、ケーシング２０の下部に接続した排気管６０からミストを外部に排出する。 （もっと読む）

【課題】基板の上面に対向し近接して押付部材を配置し基板の処理を行う場合に、高温の処理液を使用するときでも、基板の面内温度の均一性を高め、押付部材の下面と基板上面とで挟まれる空間における温度の上昇を抑えることができる装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗの上面に対向し近接して配置される雰囲気遮断板のプレート部６０の内部に、その中央領域から周辺領域の気体噴出口８０に向かって気体を流通させる気体通路８４を形成し、気体通路の途中を部分的に狭隘にし、その狭隘通路部分１２６とプレート部の下面側とを連通させる吸引細孔１２８を形成して、気体通路にエジェクタ部１１６を設け、吸引細孔の、プレート部の下面に開口する吸い込み口１３０を、気体噴出口よりプレート部下面の中心寄りに配置する。 （もっと読む）

【課題】 液化炭酸ガスをドライアイスにして被洗浄物に投射して洗浄するに、ノズルとこれを囲包するホーンとの面積比を考慮して洗浄に適したドライアイスの粒径と硬度を得る。
【解決手段】 加圧された液化炭酸ガスを噴出するノズルと、ノズルの吐出口を囲包してその前方に配され、ノズルから噴出された液化炭酸ガスをドライアイスに生成して被洗浄物に投射するホーンとからなる噴射ヘッドを有する洗浄装置において、あるホーンの内径に対するノズルの内径を、ホーンの断面積／ノズルの断面積が２５〜３５の範囲にあるように設定する。 （もっと読む）

【課題】装置構成を簡略化しつつ、洗浄性能を向上させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを水平姿勢で保持する基板保持部１と、基板Ｗに接触して基板Ｗを洗浄する洗浄ブラシ７と、洗浄ブラシ７の側方に設けられ、処理液の液滴をキャリアガスとともに基板に噴射して基板を洗浄する二流体ノズル９と、洗浄ブラシ７と二流体ノズル９とを保持する保持アーム５と、この保持アーム５に連結して設けられ、基板Ｗ面に沿って洗浄ブラシ７と二流体ノズル９とを移動させる単一のアーム移動機構と、を備えている。このように構成される基板処理装置によれば、洗浄ブラシ７と二流体ノズル９を移動させる単一のアーム移動機構を備えているので、装置構成を簡略化しつつ、洗浄性能が一層向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】短時間、低コストで効率よく洗浄でき、装置コストも安価な物品洗浄装置を得る。
【解決手段】物品表面上の付着不純物を洗浄する本発明物品洗浄装置１は、蓋手段２によって密閉可能である耐圧性の洗浄槽３と、洗浄槽３内に回転可能に設け、洗浄すべき物品を収容かつ保持することができる有孔容器４ｂと、洗浄槽３下部に設けた液体供給口５ａ及びガス供給口５ｂと、洗浄液タンク手段６から洗浄液７を液体供給口５ａに圧送する洗浄液供給手段と、ガス供給源１２からガスをガス供給口に圧送するガス供給手段と、有孔容器４ｂを洗浄槽３内で回転させる回転駆動手段４ａと、各手段を制御して協調動作させる制御手段とを具える。有孔容器の回転で生じる洗浄液の乱流によって発生した大量のガス気泡のハンマーリング作用により、有孔容器４ｂに保持した被洗浄物品を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】気液混合管内で、液体と気体が激突することがないため、キャリブレイションの発生を防止することができ、気液二相流で管路を洗浄する場合に、静かで、且つ、振動の発生を大幅に減少させる。
【解決手段】出口３ａを備えた気液混合管３と、該気液混合管３に空気Ａを供給する気体供給手段７と、該気液混合管３に水Ｗを供給し旋回流ＷＳを形成させる液体供給手段５と、を備えた気液二相流発生装置１において、前記気体供給手段７は、前記気液混合管３の中心３ｃ方向に空気Ａを供給する。 （もっと読む）

【課題】微細な回路が形成されたテープ状物やスペーサテープに付着した異物を洗浄除去するために好適に用いられる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】被洗浄体の移動経路上で被洗浄体を洗浄する洗浄装置であって、被洗浄体を移動させる被洗浄体搬送手段、先端に設けた水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させる水供給手段、及び、先端に設けた過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てる加熱水蒸気供給手段を備える洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】洗剤の使用が不要で且つコンパクトで洗浄性能が高い洗浄方法を提供する。
【解決手段】液体を搬送経路１に流して加圧すると共に脈動流を発生させる。気体を前記搬送経路１を流れる液体に供給し加圧溶解させて気体が飽和状態となった液体を生成する。気体が飽和状態となった液体を大気圧まで減圧する。減圧された液体を被洗浄物６に噴射する。被洗浄物６の表面の汚れＹと噴射された前記液体との界面に気泡を発生して汚れＹを除去する。 （もっと読む）

【課題】基板の主面に対向部材を極めて微小な間隔を隔てて対向配置させて基板に処理を施すことができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】遮断板４の対向面には、中央部吐出口１２と多数個の周縁部吐出口１９とが形成されている。遮断板保持体１７は、ボールブッシュ機構２３を介してアーム１０に取り付けられている。そのため、遮断板保持体１７および遮断板４は、アーム１０に対して上下方向に変位可能に保持される。周縁部吐出口１９からの不活性ガスの吐出によって、遮断板４に、鉛直上向きの離反方向力が作用し、遮断板４はアーム１０に対して鉛直上向きに相対変位する。遮断板４は、この離反方向力と遮断板４等に働く重力とが釣り合う位置に保持される。 （もっと読む）

【課題】主流配管から閉塞部内へ流入する洗浄液の滞留を防ぎ、かつ閉塞部内の洗浄効率を高め、配管ライン全体の効率的な洗浄を行うことが可能な配管ラインの定置洗浄方法を提供する。
【解決手段】主流配管１２から分岐された閉塞部１４を有する配管ライン１０を定置洗浄する方法であって、主流配管１２から閉塞部１４へ流入する洗浄液に対し、閉塞部１４内で気泡を供給し、閉塞部１４の内部で気液混合流を生成することを特徴とする。また、このような方法では前記気泡の供給は、断続的または供給量を変化させながら行うことが望ましい。 （もっと読む）

【課題】環境汚染を引き起こすことなく、しかも細部まで確実に洗浄し得る洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】液体と窒素とを混合およびせん断して窒素マイクロバブル含有水を作製する第１気体せん断部２１と、窒素マイクロバブル含有水を更にせん断して窒素ナノバブル含有水を作製する第２気体せん断部２２と、窒素ナノバブル含有水に対して磁場をかける第１活性化手段２８と、磁場がかけられた後の窒素ナノバブル含有水を更にせん断する第３気体せん断部４と、第３気体せん断部によって更にせん断された窒素ナノバブル含有水が吐出される槽１と、を有する洗浄装置によって洗浄対象３を洗浄する。 （もっと読む）

【解決手段】 洗浄システム１は、クランクケース２を支持したパレット３を洗浄位置Ｂまで搬送する搬送手段６と、クランクケース２を洗浄する洗浄手段７とを備えている。
パレット３には固定通路１２を設けてあり、その一端にフレキシブルチューブ１３の一端１３Ａが接続されている。フレキシブルチューブ１３の他端１３Ｂは、クランクケース２の油穴４の開口に接続されている。上記パレット３が搬送手段６により洗浄位置Ｂの液槽２２内に浸漬されると、固定通路１２と吐出通路２４とが重合して相互に連通する。その後、ポンプ２３から吐出される洗浄液が吐出通路２４、固定通路１２およびフレキシブルチューブ１３を介してクランクケース２の油穴４に直接給送される。
【効果】 クランクケース２の油穴４を効率的かつ確実に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】新規なマイクロナノバブル発生方法、マイクロナノバブル発生システム及び前記マイクロナノバブル発生システムを有するマイクロリアクターを提供すること。また、洗浄性及び／又は殺菌性に優れたマイクロ流路の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】マイクロ流路内に液体を導入する工程、及び、マイクロ流路壁の全部又は一部に形成された半径１０〜１，０００ｎｍの貫通孔を有する多孔壁の外部から、加圧ガス供給手段によりマイクロ流路内にガスを供給することにより、前記液体にマイクロナノバブルを含有させる工程を含むことを特徴とするマイクロナノバブル発生方法。 （もっと読む）

【課題】表面にディンプル状の凹部や溝を有するローラーに付着した異物等をコンパクトで安易な装置で良好に洗浄できるローラー洗浄装置を提供することことを目的とする。
【解決手段】
ローラー表面にディンプル状の凹部や溝を有するローラーを洗浄するローラー洗浄装置であって、前記ローラーの下面にローラーと微小隙間を有し、ローラーの下面の一部を覆う洗浄槽と、前記洗浄槽の内方に、洗浄液または圧縮空気のいずれかを噴出する少なくとも１個以上のスプレーノズルと、前記洗浄液を貯蔵する洗浄タンクと、前記洗浄タンクから洗浄槽へ洗浄液を送る搬送手段と、前記洗浄槽から洗浄済みの洗浄液を回収するドレン機構と、
を具備していることを特徴とするローラー洗浄装置である。 （もっと読む）

【課題】基板上の不要物を良好に除去することができる基板処理装置および基板処理方法を提供すること。
【解決手段】バキュームチャック１１の上方には、ほぼ円錐形状の遮断板１２が配置されている。遮断板１２の下面１２１には、それぞれエッチング液、純水および窒素ガスを吐出する開口１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃが形成されている。エッチング液、純水および窒素ガスは、ウエハＷの回転半径外方に向かうにつれてウエハＷに近づくように傾斜した方向に吐出されて、それぞれウエハＷの表面のエッチング液供給位置Ｐｅ、純水供給位置Ｐｄおよび窒素ガス供給位置Ｐｎに供給される。 （もっと読む）

本発明は、プロセス中の清浄化溶液の改善された流れを用いた多結晶シリコンの清浄化方法に関する。 （もっと読む）

【課題】微細な凹凸を有する被洗浄面の汚れを効率良く洗浄する。
【解決手段】ノズル本体１１に、気体噴出口１５と液体噴出口１６とを設ける。気体噴出口１５を中心とする同心円上に一定ピッチで３個の液体噴出口１６を形成する。気体噴出口１５から圧縮エア３６を噴出し気体噴流６６を形成する。液体噴出口１６から洗浄液４６を噴出し液体噴流６５を形成する。気体噴流６６に７°の交差角度θで交差するように、液体噴出口１６を構成する孔を傾斜させる。液体噴流６５の交差部７０に気体噴流６６を衝突させることで、洗浄液４６を粉砕・分割して微細液粒７１にする。微細液粒７１を気体噴流６６で加速させ、被洗浄面７５に衝突させる。微細液粒７１が被洗浄面７５の微細な凹部まで入り込み、汚れを除去する。気体噴流６６の被洗浄面７５への衝突による衝撃波で被洗浄面７５を振動させ、汚れやゴミを浮かせ、除去する。 （もっと読む）

【課題】容易な構成により、従来通りの生産性と優れた洗浄性を確保し、かつ、洗浄液使用量の削減を実現する塗料供給装置の洗浄方法に関する技術を提供する。
【解決手段】洗浄液用バルブ９とエア用バルブ１０が、塗料供給経路４の他端に対して、洗浄液供給経路５を介して接続され、予め設定したタイムチャートに従って、まず洗浄液用バルブ９を一定時間だけ開として洗浄液供給経路５と塗料供給経路４に洗浄液を供給し、その後エア用バルブ１０を一定時間だけ開として洗浄液供給経路５と塗料供給経路４にエアを供給し、洗浄液供給経路５および塗料供給経路４に滞留する洗浄液を吐出口６より排出して塗料供給経路４を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】被洗浄面に気泡を含んでいる噴流水を噴射することで、その面を洗浄する気泡式洗浄装置において、高圧ノズルから噴射される噴流水中の気泡が、そのノズルから被洗浄面までの間に弾けるのを防止し、洗浄効果を高める。
【解決手段】噴流水ＨＷを噴射する高圧水ノズル１８と、高圧水ノズル１８を囲むように設けた洗剤ノズル１９，２０を備え、噴流水ＨＷを、洗剤ノズル１９，２９から噴射する洗剤噴流水ＬＷで覆う。 （もっと読む）