【課題】汚れの再付着を良好に阻止でき、これまでにない良好なシート洗浄を達成し得る画期的な技術を提供する。
【解決手段】洗浄液２が貯留する洗浄槽３内にシート材１を搬送通過させて前記洗浄液２にシート材１を浸漬することでシート材１を洗浄するシート洗浄装置において、洗浄槽３内に洗浄液２を供給する供給手段Ｓを設け、この供給手段Ｓは前記洗浄槽３内に洗浄液２を吐出供給するノズル部５を有し、このノズル部５は洗浄槽３内を搬送通過するシート材１に向けて前記洗浄液２を吐出することでこの洗浄槽３内に洗浄液２を供給し且つシート材１の巾方向中央部から巾方向左右側方へと向かう液流を発生させる液流発生供給部５として構成し、洗浄槽３の液貯留上限値を超えた洗浄液２をこの洗浄槽３からオーバーフローさせる余液排出部６を、この洗浄槽３内を搬送通過する前記シート材１の巾方向側に設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】例え気孔径が小さく、高密度で体積の大きな多孔質体であっても、この内部まで効率よく洗浄できるようにする。
【解決手段】密閉空間内に多孔質体１１０を配し、多孔質体１１０の内部を通過する加圧した洗浄液１２４で該多孔質体１１０の内部を洗浄し、その後、前記／又は別の密閉空間内に多孔質体１１０を配し、多孔質体１１０の内部を通過する加圧した純水を多孔質体１１０の内部に供給する。 （もっと読む）

【課題】フッ酸に起因する残留物を容易に除去することができる基板処理方法を提供する。
【解決手段】熱酸化膜６１及びＢＰＳＧ膜６３を有するウエハＷに向けてＨＦガスを供給して、ＢＰＳＧ膜６３を選択的にエッチングし、次いで、ウエハＷに向けてＮＨ_３ガスを供給して、ＳｉＯ_２とフッ酸との反応に基づいて発生する残留物６４のＨ_２ＳｉＦ_６とＮＨ_３ガスとを反応させてＮＨ_４Ｆ及びＳｉＦ_４を発生させ、さらに、ＮＨ_４Ｆを昇華させる。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物に与えるダメージを最小限にしながら高い洗浄効果を得られる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液８が収容される洗浄槽１の底部に設置可能で、ノズル面２ａに多数のエア噴出用のノズル４が穿設され、上記各ノズル４に連通する所定容量のバッファ室３を有するノズルヘッド２と、上記ノズルヘッド２を正転逆転を繰り返すよう回転駆動する回転駆動手段５とを備え、上記ノズルヘッド２は、ノズルヘッド２の回転方向においてノズル面２ａがフラットになるよう形成した。 （もっと読む）

【課題】洗浄液の使用量を少なくしながら、被洗浄物の微細な隙間から窪みまで綺麗に洗浄する。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄液Ｗを超音波振動させてミストＭとし、このミストＭを被洗浄物Ｈの表面に供給して被洗浄物Ｈを洗浄する。
洗浄装置は、洗浄液Ｗを超音波振動させてミストＭに霧化する超音波霧化機１と、この超音波霧化機１で霧化されたミストＭを被洗浄物Ｈの表面に供給する供給部５とを備える。超音波霧化機１は、洗浄液Ｗを入れる超音波霧化室４と、この超音波霧化室４の洗浄液Ｗを超音波振動させてミストＭに霧化する超音波振動子２と、超音波振動子２に高周波電力を供給する超音波電源３とを備える。洗浄装置は、超音波霧化機１で霧化されたミストＭを供給部５から被洗浄物Ｈの表面に供給して、被洗浄物Ｈを洗浄する。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物に与えるダメージが小さく、かつ十分な洗浄効果が得られる超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】被洗浄物を超音波洗浄するための洗浄装置であって、少なくとも、超音波振動を発する超音波振動子と、該超音波振動子が装着され、前記超音波振動が印加された洗浄液と被洗浄物を接触させる手段と、前記洗浄液に飽和溶存ガス量以上のガスを導入して洗浄液中に気泡を存在させるガス導入手段とを具備し、前記超音波振動子により超音波振動を前記洗浄液に印加することで、前記洗浄液中に導入された気泡を振動させて前記被洗浄物を洗浄するものであることを特徴とする超音波洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、果実・果菜類の表皮の異物質を除去、洗浄、除菌作業を施しながら、新鮮な農産物である果実・果菜類へのストレスを最小化し、その表皮などに損傷を与えないようにする。
【解決手段】
移送コンベヤーによって連続的に供給される果実・果菜類に圧縮微細空気を噴射して果実・果菜類表皮の異物質を除去する異物質除去段階；前記異物質が除去された果実・果菜類に圧縮水を噴射して洗浄する洗浄段階；前記洗浄された果実・果菜類に圧縮空気を噴射して前記果実・果菜類表皮の水分を除去する脱水段階；及び前記表皮の水分が除去された果実・果菜類を殺菌及び乾燥する乾燥段階を包含する。 （もっと読む）

【課題】微細気泡洗浄方法の洗浄効果をより高め、洗浄液の長寿命化を図り、コンパクトで操作性の良い洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄部２０は、洗浄槽２１と、洗浄ノズル部２２と、オーバーフロー槽２７とを有し、洗浄ノズル部２２は、複数の洗浄ノズルから成り、複数の洗浄ノズルは、洗浄槽２１の各部位に所定の数だけ装着され、洗浄ノズルは、制御ノズルと、ミキシングノズルとから成り、油水分離タンク部３０は、循環用洗浄液２８を浄化して循環させるため、オーバーフロー槽２７とポンプ部４０とに接続され、ポンプ部４０は、浄化された循環用洗浄液２８を洗浄槽２１へ供給するため、洗浄ノズル部２２に接続されて構成される。 （もっと読む）

地下ケーブル（２）は、導電性部材（６）および絶縁油（１２）で満たされた筐体（４）を含む。絶縁油を除去し、汚染を防止するために、適切には、架橋されたポリビニルアルコールから粘弾性配合物を調製し、ケーブル（２）へ導入する。ケーブルを通じて流体を通過させることによって、そこから絶縁油を除去する。
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【課題】基板にダメージを与えることなく該基板表面に付着するパーティクルを効率良く除去する。
【解決手段】洗浄ユニット１にて、その表面に液膜が形成された基板は、基板搬送機構３により凍結ユニット２に搬送される。凍結ユニット２にて、液膜が凍結されることで液膜膜が体積膨張し、基板表面に付着するパーティクルと基板との間の付着力が弱まり、さらにはパーティクルが基板表面から脱離する。そして、凍結処理された基板は、基板搬送機構３により凍結ユニット２から洗浄ユニット１に再び搬送され、洗浄ユニット１にて基板に対して物理／化学洗浄が実行され、凍結膜が基板表面から除去される。このように物理／化学洗浄の前処理として液膜形成・液膜の凍結が行われることにより、基板表面からパーティクルを効率良く除去することができる。 （もっと読む）

【課題】従来の骨材用砂等の土木用素材の洗浄装置においては、与える衝撃力が必ずしも十分とはいえず、土木用素材の靭性が高くて角部が削れにくい又は欠けにくい場合等には、その角部を効率良く除去できない、という問題があった。
【解決手段】管路５８内を圧力流体により移送し、投入口５９から供給される土木用素材４８の洗浄や角取り処理等を行う洗浄装置３にて、前記管路５８の内壁上又は内壁近傍には、管路５８の軸心に向かって突出する突起体１０４を設け、更に、前記管路５８には、前記投入口５９より流下する土木用素材４８に圧力流体を吹きつける噴射ノズル５１を設け、該噴射ノズル５１には、少なくとも一方が高圧に加圧された気体と液体を供給し、気体の気相７４と、該気相７４の周囲を取り囲む液体・気体の混合相７５とから成る二相流体７６によって、前記圧力流体を構成した。 （もっと読む）

【課題】従来の骨材用砂等の土木用素材の洗浄装置においては、与える衝撃力が必ずしも十分とはいえず、土木用素材の靭性が高くて角部が削れにくい又は欠けにくい場合等には、その角部を効率良く除去できない、という問題があった。
【解決手段】管路５８の屈曲管部４７には、土木用素材４８の移送方向に対向して略垂直又は斜めの姿勢に保持された被衝突面８０ａを有する被衝突体８０を着脱自在に設けると共に、該被衝突体８０の前方には、土木用素材４８が滞留しにくい非滞留構造を設け、更に、前記管路５８には、前記投入口５９より流下する土木用素材４８に圧力流体を吹きつける噴射ノズル５１を設け、該噴射ノズル５１には、少なくとも一方が高圧に加圧された気体と液体を供給し、気体の気相７４と、該気相７４の周囲を取り囲む液体・気体の混合相７５とから成る二相流体７６によって、前記圧力流体を構成した。 （もっと読む）

【課題】 汚染有機物の除去性能を高めることができる超音波洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄ヘッド１１のスリット１９を介して基板Ａに、マイクロバブルを含んだ洗浄液を供給するとともに、スリット１９に向けて集束するように超音波を照射させて基板Ａの洗浄を行なう。 （もっと読む）

【課題】 洗浄効果を向上させることができる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】先端に開口を形成し、該開口に超音波透過性を有する隔膜で覆い、内部上方に超音波振動子を配設し、かつ内部に超音波伝播液を充填して洗浄ヘッドを構成するとともに、該洗浄ヘッドの先端を覆うようにしてカバーを配設し、該カバーの底壁にスリットを形成し、前記カバーと前記洗浄ヘッドの先端とによって画成される空間部に洗浄液を供給し、前記超音波振動子からの超音波を照射しつつ前記洗浄液を前記スリットから基板の表面に供給するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】洗剤液の洗浄効果が低下せず、且つ、水道の蛇口が近場になく、ホースが届かない場所でも自動車や犬などのペット、或いは、窓カラスなどを温水で容易に洗浄することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置１０は、所定量の洗浄用水と洗剤液をそれぞれ収納可能な複数の容器１２と、当該各容器１２内に所定の圧力を印加する加圧手段７０と、洗浄用水及び洗剤液を放出する放出部３０と、各容器１２内と放出部３０とをそれぞれ連通する複数の通水経路（ホース２０）と、放出部３０からの洗浄用水及び洗剤液の放出を制御する操作レバー４１と、洗浄用補助具４４を着脱可能に装着可能な装着孔部３８とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板に設けられた無機配向膜のイオン性不純物を確実、かつ簡便に除去できる、基板の洗浄方法を提供する。
【解決手段】無機配向膜１６が設けられた基板１０の洗浄方法である。洗浄槽２内の洗浄液中に設けられた一対の電極４ａ，４ｂ間に、基板１０を配置するとともに電極４ａ，４ｂ間に電圧を印加し、電極４ａ，４ｂ間に電界を生じさせることで無機配向膜１６中のイオン性不純物１７を除去する。 （もっと読む）

【課題】給水管内の洗浄効率が高く、且つ静粛性に優れた給水管洗浄システム、給水管洗浄装置、及び給水管洗浄方法を提供する。
【解決手段】圧縮空気を給水管の内部に射出して給水管内部を洗浄する給水管洗浄システムにおいて、圧縮空気を射出する第１の給水管と、前記第１の給水管と連通する第２の給水管と、圧縮空気を生成するコンプレッサーと、前記コンプレッサーより送られる圧縮空気を、電磁弁を用いて断続的に射出する圧縮空気送出機と、その内部に螺旋状の切り込みを有し、前記圧縮空気送出機より射出される圧縮空気を、前記第１の給水管の内部に螺旋状に回転させながら射出するシリンダとを有する給水管洗浄装置と、を備え、前記第１の給水管の内部に圧縮空気を、螺旋状に旋回させつつ圧送することとした。 （もっと読む）

【目的】共通の洗浄槽にて洗浄と乾燥する場合において、洗浄装置の構造を簡単にしてコンパクト化するとともに、洗浄槽からの排水時に被洗浄物表面へ不純物が縞状に付着しないようにする。
【構成】洗浄槽１と洗浄液タンク２を上下に配置し、洗浄槽１内へ支持治具４に乗せたワーク３を入れ、洗浄液６を満たすとともに、ノズルユニット５のノズル１６から洗浄液と高圧エアによるミックス噴流を噴出させて、キャビテーション現象によりワーク３を洗浄する。その後、ノズル１６から高圧エアのみ噴出させながら洗浄槽１の洗浄液６を洗浄液タンク２へ排水させる。これにより洗浄液が対流してワーク３の表面に不純物を縞状に付着させない。排水後は洗浄時と共通のノズル１６から高圧エアのみ噴出させてワーク３を乾燥する。 （もっと読む）

【課題】無機塩水溶液を用いて基材面のポリイミド膜を除去するにあたり、洗浄能力を高める洗浄液の組成を検討し、ポリイミド膜を効率よく除去する技術を確立する。
【解決手段】水酸化ナトリウムなどのアルカリ性無機塩と過硫酸ナトリウムなどの酸化剤を必須成分として含むアルカリ水溶液を洗浄液とし、この洗浄液にポリイミドが蒸着した石英管などの被洗浄材を浸漬し、必要に応じ加熱、振とうしながら洗浄する。酸化剤がポリイミド膜の組成を変化させ、あるいはポリイミド膜を酸化分解し、アルカリ水溶液によるポリイミド膜の加水分解と溶解を促進させて、無機塩だけの水溶液の場合に比してポリイミド膜の洗浄効果を格段に高める。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板上のガラスカレットの除去性を向上させ、画素の欠けや剥がれを引き起こすことなく、感光性樹脂残渣を効果的に除去することができ、しかも、高アルカリ水溶液中でも幅広い温度変化に対して安定な高濃縮タイプの洗浄液組成物を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で示されるアルキルグルコシドを必須成分として含有する洗浄液組成物であり、更にアルカリ剤及び、又はポリオキシアルキレンエーテル型非イオン界面活性剤を含有することが好ましい。
Ｒ−Ｏ−（Ｇ）ｎ−Ｈ ・・・（１）
（式中、Ｒは炭素数１〜２２の直鎖又は分岐のアルキル基又はアルケニル基であり、Ｇは炭素数５〜６の還元糖を示し、ｎは１〜５である。） （もっと読む）