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Fターム[3B201BB93]の内容

液体又は蒸気による洗浄 (28,239) | 流体的清浄手段 (13,243) | 清浄流体の種類 (4,381) | 液体、蒸気 (3,917) | 純水 (507)

Fターム[3B201BB93]に分類される特許

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【課題】従来のような二流体ノズルや高圧ジェットを用いた場合、たとえば、パターン等が形成された基板を洗浄する場合、洗浄液の供給される力によって、基板上に形成されたパターンに損傷が生じる場合があり、一方、損傷を防止するために供給する力を抑制すれば、洗浄を十分に行えないという問題があった。
【解決手段】微細気泡を含む洗浄液を用いて基板の洗浄を行う。洗浄液を供給するノズルの先端を、基板上に形成された液膜の液面より低い位置に配置し、ノズルの先端部分付近(微細気泡発生領域)を洗浄液が通過する際に、洗浄液中に微細気泡が発生するように構成する。 (もっと読む)


【課題】粒度分布を有する粒状物であっても、粒状物の洗浄ロスを効果的に低減でき、かつ洗浄効率を犠牲にしない洗浄方法を提供する。
【解決手段】粒度分布を有する粒状物(1)および不純物(2)を含んで成る洗浄対象物(10)を洗浄媒体(3、3’)により洗浄して不純物(2)を除去する方法であって、洗浄対象物(10)が容器(5)内で洗浄媒体(3’)と接触し、かつ、洗浄媒体(3’)の上昇速度が容器(5)内で変化するように、容器(5)に洗浄媒体(3’)を下方(5a)から上方(5b)へ流通させる。 (もっと読む)


【課題】 脱水カゴの回転駆動装置が不要になり、構造をコンパクトにさせると共に取り扱いを簡単にさせながら脱水カゴを万遍なく均一にきれいに水洗でき、かつ水洗に伴う水の飛散を防止して良好な作業環境下で水洗作業を行うことができるようにした脱水カゴの水洗技術の提供。
【解決手段】 上面が開口し、周壁10及び底壁11に多数の水切小孔12が形成された円形の脱水カゴ1を水洗対象とし、洗浄空間Sに回転自在に設けた水平テーブル5上に伏せ状態にセットした脱水カゴの外周面に対して水を噴射して水洗させる周面向き噴射ノズル60と、底外面に対して水を噴射させて水洗させる底面向き噴射ノズル61を備え、周面向き噴射ノズル及び/又は底面向き噴射ノズルからの噴射水の勢いにより脱水カゴを回転させながら水洗させる。 (もっと読む)


【課題】
スプレー操作における管理の困難さがなく、またリンスと被洗浄面へのスプレーとの切替えという面倒な作業を不要とし、非常に操作性の良い吹付け洗浄方法の提供を目的とするものである。
【解決手段】
コンプレッサによる加圧状態において給水を2つの系統に分岐させ、1つの系統においては加圧した水を加温して高温とした高温水中に炭酸水素ナトリウムを添加しつつ、該炭酸水素ナトリウムを含んだ高温水を先端の吹付け用ノズルから被洗浄面へ吹付け、また他の系統においては加圧した水を先端の吹付け用ノズルから吹付けながら被洗浄面を水洗することにより、炭酸水素ナトリウムにより洗浄力を高めた高温の強アルカリ性洗浄液を被洗浄面へ吹付けて汚れを除去し、加圧した水による水洗によって洗浄液を温度低下させることにより弱アルカリ性として、洗浄液を廃棄しやすいようにしたことを特徴とする吹付け洗浄方法。 (もっと読む)


【課題】平流しの基板搬送路上で被処理基板に供給した第1の処理液を分別回収して第2の処理液に置き換える動作を効率よくスムーズに行い、現像斑の発生を抑制する。
【解決手段】被処理基板Gに第1の処理液Dを供給する第1の処理液供給手段9と、前記第1の処理液が液盛りされた前記被処理基板の基板面に対し、所定のガス流を吹き付ける気体供給手段21と、前記被処理基板の基板面に対し前記第2の処理液Sを吐出する第2のリンス手段23と、前記気体供給手段と前記第2のリンス手段との間に設けられ、前記気体供給手段によりガス流が吹き付けられた前記被処理基板の基板面に対し、所定の流速で前記第2の処理液を吐出する第1のリンス手段22と、前記基板搬送路上において、前記第1のリンス手段により供給された第2の処理液によって、基板幅方向に延びる液溜まり部を形成する液溜まり形成手段27とを備える。 (もっと読む)


【課題】液切処理にかかる時間を短縮できる液切処理装置、液処理装置及び液切処理方法を提供する。
【解決手段】液処理装置1は、キャリア2に液処理を施す液処理部10と、液処理後のキャリア2が搬送される搬送部20とを有する。搬送部20は、搬送レール21と、液切処理部22とを有する。液切処理部22は、回転テーブル24と、回転テーブル24上に固定され、搬送レール21から搬送されるキャリア2を水平状態に保持する回転レール23と、回転テーブル24を回転駆動し、回転レール23に保持されたキャリアを高速回転させる駆動モータとを有する。 (もっと読む)


【課題】蒸着マスクに強固に付着した付着物を、蒸着マスクにダメージを与えるおそれを低減しつつ、効率よく除去する蒸着マスク洗浄装置、蒸着マスク洗浄システムおよび蒸着マスク洗浄方法を提供する。
【解決手段】有機ELデバイスの製造工程に用いられる蒸着マスク16を洗浄するための蒸着マスク洗浄装置としての電解洗浄装置13は、蒸着マスク16を収容する洗浄槽としての電解槽20と、電解槽20にアルカリ性の電解液を供給するポンプ21および貯留槽22からなる電解液供給部と、洗浄槽内に設けられている陽極電極23および陰極電極24の電極と、陽極電極23および陰極電極24の電極間に通電する通電部26と、を備える。 (もっと読む)


【課題】エレメント繊維の劣化・損耗を抑制しつつ電磁フィルタに付着した鉄酸化物を取り除くことができ、且つ、洗浄処理に要する期間を短縮できる洗浄方法及び洗浄装置、並びにそれに用いる洗浄液を提供することを目的とする。
【解決手段】金属製フィルタの洗浄方法は、鉄酸化物に対して還元性を有し、且つ、鉄と錯体形成が可能な1種以上の化合物を主成分とする、pHが5.0以上8.0以下に調整された除錆剤と、還元剤と、腐食防止剤とを、化合物が3質量%以上10質量%以下、還元剤が化合物に対して5質量%以上15質量%以下、腐食防止剤が化合物に対して5質量%以上15質量%以下、となるよう水に溶解させて洗浄液16を調製する準備工程と、洗浄液16に、被洗浄対象物を浸漬させて洗浄処理する洗浄工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】フィルターエレメントのみならず集塵容器をも安全に洗浄することができる集塵装置とする。
【解決手段】フィルターエレメント21と、このフィルターエレメント21を収納する集塵容器10とを有し、この集塵容器10内がフィルターエレメント21上流の集塵室R1と、フィルターエレメント21下流のろ過室R2とに区分され、集塵室R1に臨むガス流入路D1と、ろ過室R2に臨むガス流出路D2とが集塵容器10に備えられた集塵装置1であって、集塵室R1に臨む液供給路D7及び液排出路D4が集塵容器10に備えられ、液排出路D4及びガス流入路D1に開閉弁V4,V1が備えられ、これらの開閉弁V4,V1を閉じて液供給路D7から洗浄液W1を供給すると、洗浄液W1によって集塵室R1が浸漬し、更にろ過室R2も浸漬する構成とされる。 (もっと読む)


【課題】分散機運転中の処理効率の低下が抑制される媒体撹拌型分散機を提供する。
【解決手段】被処理液を導入する液入口16と処理後の処理液を排出する液出口20とを有する分散容器10と、分散容器10の内部に設けられた撹拌手段と、分散容器10の内部に設けられ、液出口20を覆うスクリーン14と、分散処理中に、液出口20側からスクリーン14の内部に備えた回転ノズルよりスクリーン14の内面へ向かって流体を噴射する逆洗手段と、を有する媒体撹拌型分散機である。 (もっと読む)


【課題】金属部材表面に付着したシリカ及びシランカップリング剤等を除去することが可能な金属部材の洗浄方法を提供する。
【解決手段】塩化水素とフッ化アンモニウムと水とを含む洗浄剤によって金属部材の表面を洗浄する工程を含む金属部材の洗浄方法である。 (もっと読む)


【課題】溶剤系洗浄剤は引火の危険性や揮発による環境や人体への影響があり、水系洗浄剤は洗浄後の界面活性剤やアルカリ剤などの残留物を除去するために、さらに水ですすぐといった手間があり、また洗浄面の腐食といった問題があった。
【解決手段】非水溶性溶剤、界面活性剤およびアルカリ剤を使用せず、(A)界面活性化作用および耐腐食性を有する気化性化合物、(B)水、(C)水溶性溶剤を使用し、pHの範囲が5.0〜13.5である水系洗浄剤を用いて前記課題を解決できる。 (もっと読む)


【課題】装置の小型化を図ることのできる洗浄装置を得る。
【解決手段】洗浄装置10には、洗浄対象物22を洗浄する洗浄部13と、当該洗浄部13内に液体を導入する導入路17eと、洗浄部13内の液体を洗浄部13から排出する排出路17aと、を少なくとも有する循環路18が形成されている。そして、循環路18の洗浄部13以外の部位に、電圧を印加することで放電を行う電極51a、51bを設けた。 (もっと読む)


【課題】外径が異なるチューブバンドルであっても、十分に洗浄することができるチューブバンドル洗浄装置を提供する。
【解決手段】チューブバンドルTの長手方向に延在するようにガイドレール1が配置されている。アーム支持体10の盤体11の下面から、チューブバンドルTの一方の側面側に第1のアーム20が延設されると共に、チューブバンドルTの他方の側面側に第2のアーム20Aが延設されている。ノズル35から高圧水を噴射させ、アーム支持体10をガイドレール1に沿ってチューブバンドルTの他端側まで移動させる。次に、ベース30の位置をピッチPの2倍(2P)分だけアーム20,20Aに沿って移動させて固定した後、アーム支持体10を上記と同様に移動させる。これを繰り返すことにより、チューブバンドルTのすべてのチューブtの外面が洗浄される。 (もっと読む)


【課題】被洗浄物の洗浄に好適な洗浄ノズル及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】内部が洗浄水の圧送通路20とされ、圧送通路20の基端部10a側から圧送する洗浄水にキャビテーション気泡を発生させて先端開口部10bから噴出させる洗浄ノズル8であって、圧送通路内には、軸線方向に直交する方向に隣接配置された第1及び第2の絞り部材21A、21Bを備え、第1の絞り部材21Aは、先端開口部側へ向けて圧送通路の断面積を漸次狭める第1の傾斜面26Aを有し、第2の絞り部材21Bは、先端開口部側へ向けて圧送通路の断面積を漸次拡げる第2の傾斜面26Bを有し、第1、第2の絞り部材は、第1、第2の傾斜面26A、26Bがその中間部で交叉し、圧送通路が前記交叉する部分の上方において連通し、前記中間部の下流側には、洗浄水の圧送方向に突出し先端に向かって漸次縮径した外形を有する突起100が備えられていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】車両支持用ベアリングやベアリング周辺部品などの形状が複雑な部品についても、表面に付着する油類を機械的に且つ高効率に除去できる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液50を収容し、筒状容器からなり周壁に油流入部が設けられた油回収部11を中心部に有する洗浄槽10と、洗浄液50の通過が自在な材料からなり、洗浄すべき部品を収容して洗浄槽10内の油回収部周囲に挿入される籠状の部品容器20とを備え、洗浄槽10内の洗浄液50を槽内に循環させると共に、槽内の洗浄液50が油回収部11回りの両方向の旋回流を形成するように、吐出ノズル10A,19Aから洗浄槽内面の接線に沿って両方向へ洗浄液50を吐出し、洗浄槽10内の洗浄液50を槽内に循環させると共に、槽内の洗浄液50が上下方向の旋回流を形成するように、槽底部10Bの2つの吐出ノズルから上方へ洗浄液を吐出する。 (もっと読む)


【課題】パーティクル等の異物が基板表面に強固に付着する前に、基板表面に吸着し、これらの異物の強固な付着を防ぎ、後の洗浄工程で基板上の異物の残留を著しく減少させることが可能となる電子材料用表面保護剤を提供することを目的とする。
【解決手段】炭素数6〜24の脂肪族第1級アミンのアルキレンオキサイド付加物(A1)、炭素数8〜36の脂肪族第2級アミンのアルキレンオキサイド付加物(A2)、炭素数6〜24の第1級アルカノールアミンのアルキレンオキサイド付加物(A3)および炭素数8〜36の第2級アルカノールアミンのアルキレンオキサイド付加物(A4)からなる群から選ばれる1種以上のアルキレンオキサイド付加物(A)並びに水を必須成分として含むことを特徴とする電子材料用表面保護剤を用いる。 (もっと読む)


【課題】乾式洗浄と湿式洗浄とを選択的に実施できる基板処理設備及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】本発明による基板処理設備は、基板が載せられた容器が置かれるポート1100及びインデックスロボット1200を有するインデックス部1000と、基板処理を遂行する処理部200と、処理部200とインデックス部1000との間に配置されてこれらの間に搬送される基板が一時的に留まるバッファユニット4000と、を含み、処理部200は、基板を搬送するための移送路に沿って配置されるグルー除去用処理モジュール、基板冷却処理モジュール、加熱処理モジュール、及び機能水処理モジュールを含む。 (もっと読む)


【課題】ポンプの羽根車を主軸から取り外す際に、カジリ傷の発生を抑制できるポンプの羽根車取り外し方法を提供することである。
【解決手段】ポンプを駆動するモータを取り外した後に、ポンプを収納したバレルからポンプを吊り上げ、バレルの外部でポンプの羽根車を主軸から取り外すにあたり、ポンプをバレルから所定位置だけ吊り上げた状態でバレル内の水を排水し、バレル内の排水後に水と弱アルカリ性の洗浄剤とを注入しポンプの羽根車の取付部を洗浄剤溶液で浸漬させ温水循環をし、バレル内の洗浄剤溶液を所定温度範囲で所定時間以上加温した後にポンプを吊り上げてバレルの外部の所定場所に横置きし、羽根車の取付部に洗浄剤溶液をジェット噴射しながら羽根車を取り外す。 (もっと読む)


【課題】洗浄槽の超音波強度を自動的に監視し、所定の閾値を外れた場合に速やかにこの事象を判定して超音波洗浄機の洗浄能力の経時変化や故障などに起因する瞬時異常を検出し、信頼度の高い管理を可能とする実用的な超音波強度監視装置を提供し、また、この超音波強度監視装置を具備して信頼度の高い洗浄性能を備えた超音波洗浄機を提供する。
【解決手段】超音波洗浄機用の超音波強度監視装置であって、洗浄槽2に設けられ該洗浄槽2を伝播した超音波を電気信号に変換する変換部4と、この変換部4で変換された電気信号の大きさを調整する調整部5と、この調整部5で調整された電気信号の大きさが所定の範囲内か否かを判定する判定部7とを具備し、電気信号の大きさは、該電気信号の瞬時的電圧,瞬時的電流,移動平均値若しくは単純平均値のいずれかである。 (もっと読む)


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