【課題】
【解決手段】基板の表面からパーティクル汚染物質を洗浄するための装置及び方法は、粘弾性材料の層を表面上に塗布することを含む。粘弾性材料は、薄い膜として塗布され、実質的な液体様特性を示す。粘弾性材料を塗布された表面の第１のエリアには、粘弾性材料を塗布された表面の第２のエリアがその加えられる力を実質的に受けないように、外力が加えられる。外力は、粘弾性材料の固体様特性にアクセスするために、粘弾性材料の固有時間よりも短い持続時間にわたって加えられる。固体様特性を示す粘弾性材料は、表面上に存在するパーティクル汚染物質の少なくとも一部と少なくとも部分的に相互作用する。粘弾性材料は、固体様特性を示している間、パーティクル汚染物質の少なくとも一部と併せて表面の第１のエリアの領域から除去される。 （もっと読む）

【課題】低コストで容易に実施可能であり、剥離フィルムのリサイクルに適した剥離フィルムの洗浄方法を提供すること。
【解決手段】基材フィルムと、基材フィルム上に形成された剥離層と、を有する剥離フィルムの洗浄方法であって、剥離層の表面に付着した異物を、有機溶剤を含む洗浄液で洗浄する洗浄工程と、剥離層の表面に付着した洗浄液を除去する溶剤除去工程と、を有する剥離フィルムの洗浄方法。 （もっと読む）

本発明は、水性重合体組成物と、水性組成物から形成されたフィルムとに関する。水性組成物は、汚染物質を基板から除去するための方法において用いてよい。水性重合体組成物は、水と、少なくとも１つの水溶性フィルム形成性重合体とを含んでよい。一実施態様では、水性組成物は、少なくとも１つのキレート剤および／または少なくとも１つの界面活性剤をさらに含んでよい。水性重合体組成物は、汚染された基板に塗布してよく、あるいは、清浄な基板に塗布した後、基板を汚染物質に曝露させてよい。水性組成物を脱水させ、および／または、重合体を架橋させてフィルムを形成させてよい。汚染された基板に塗布されるとき、フィルムは汚染物と結合してよい。清浄な基板に塗布されるとき、後で汚染物質をフィルムと接触させ、フィルムに付着させてよい。汚染物質と結合したフィルムは、基板から分離させてよく、その結果は汚染物質の基板からの除去である。

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【課題】 基板の吸着面を効率的に洗浄し、かつ安定した洗浄結果を得ることを可能とした貼合せ基板製造装置の洗浄方法を提供する。
【解決手段】 基板を吸着保持する吸着面９ａを備えた処理室の内部に洗浄用治具を設置して、吸着面９ａを洗浄する。 （もっと読む）

【課題】基板の裏面に吸着跡を付けることのないチャックを提供する。
【解決手段】基板の裏面を真空吸着して固定保持するスピンチャックの吸着面３２ｄには、樹脂材料を切削加工したときの削り屑や樹脂に含まれる成分の粒子等の異物９９が付着している。そのような吸着面３２ｄを導電性ポリマーを主成分とする光硬化型のアクリル系樹脂の樹脂膜３９によって被覆する。これにより、吸着面３２ｄに付着していた異物９９を樹脂膜３９によって覆って表面に露出させないようにすることができ、その結果、スピンチャックの吸着面３２ｄに基板を真空吸着したときにも、その裏面に異物９９が付着したりキズを付けたりするのを防ぐことができ、吸着跡の付着を防止することができる。 （もっと読む）