【課題】 洗浄対象物を分解せずに超音波洗浄を行う際に、洗浄時間を最適化することができる超音波洗浄装置及び方法を提供する。
【解決手段】実施形態の超音波洗浄装置は、内部に液体を保持している構造体３０に、所定の洗浄用周波数で洗浄用超音波を入射する洗浄用振動子１１ｂと、洗浄用周波数と異なる周波数である測定用超音波Ｐを入射する測定用送信振動子２１ｂと、反射波Ｐ１、Ｐ２を受信する測定用受信振動子２１ｂと、内面付着物３１の厚みを算出する制御部２３と、を備える。また、その洗浄方法は、洗浄用周波数帯で洗浄用超音波が前記構造体３０に入射される洗浄ステップ４１と、洗浄ステップ４１の最中に、測定用超音波が構造体３０に入射される測定用超音波入射ステップ４２と、測定用超音波の反射波が受信される反射波受信ステップ４３と、内面付着物３１の厚みが算出される算出ステップ４４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】カスケード方式の洗浄装置における菌体の繁殖を簡易な手段で防止することができ、被洗浄物の洗浄効率を向上させることができる洗浄装置及び方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板１がローラー２で搬送され、ジェット洗浄ノズル３及び最終リンスノズル４で洗浄される。最終リンスノズル４に純水が供給される。最終リンスノズル４からの洗浄排水がタンク７に流入し、ポンプ９からノズル３に供給される。タンク７内の菌体数が増加した場合、タンク７内の水をオゾン水供給装置１２に循環通水し、タンク７内にオゾン水を供給し、殺菌する。 （もっと読む）

【課題】 簡素かつコンパクトな構成で、被洗浄面に対して、均一で高い洗浄度が確保できる洗浄装置を提供すること。
【解決手段】
洗浄装置本体２と、洗浄装置本体２の内側に形成される洗浄槽３と、洗浄槽３の内周壁４と、内周壁４に８個設けられる吐出口５と、吐出口５に連通する８個の吐出経路６と、内周壁４に８個設けられる第１の排出口７と、第１の排出口７に連通する第１の排出経路８と、洗浄槽３の上方で内側に突設されピストンＷとのクリアランスが１．０〜１．５ｍｍとなる洗浄液噴出防止壁９と、を備える洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】 脱水カゴの回転駆動装置が不要になり、構造をコンパクトにさせると共に取り扱いを簡単にさせながら脱水カゴを万遍なく均一にきれいに水洗でき、かつ水洗に伴う水の飛散を防止して良好な作業環境下で水洗作業を行うことができるようにした脱水カゴの水洗技術の提供。
【解決手段】 上面が開口し、周壁１０及び底壁１１に多数の水切小孔１２が形成された円形の脱水カゴ１を水洗対象とし、洗浄空間Ｓに回転自在に設けた水平テーブル５上に伏せ状態にセットした脱水カゴの外周面に対して水を噴射して水洗させる周面向き噴射ノズル６０と、底外面に対して水を噴射させて水洗させる底面向き噴射ノズル６１を備え、周面向き噴射ノズル及び／又は底面向き噴射ノズルからの噴射水の勢いにより脱水カゴを回転させながら水洗させる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で洗浄効果の高い洗浄ノズルを提供する。
【解決手段】洗浄ノズル８は、被洗浄物に微細気泡を含む加圧水流を洗浄水として噴射するノズル本体８１と、ノズル本体８１の軸線から偏心した位置に配置され、微細気泡を含む加圧水流を導入して、ノズル本体８１の内周壁８１３の円周方向に沿って流す導水管８２１として機能する空間Ｓ３が形成された混合ホルダ部８２と、ノズル本体８１の噴射口８１２の縁部に吸引口８３１が配置され、回収した洗浄水を再利用するための液部吸引管８４２として機能する流路が形成されたヘッド部８３と、ノズル本体８１と同軸線上に配置されていると共に、噴射口８１２の中心部に吸引口８４１ａが配置され、回収した洗浄水を廃棄するための気泡部吸引管８４１とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でかつ効率良く木材を洗浄できる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置１は、傾斜しつつ回転可能に設けられた円筒状のドラム１０と、突出部がドラム１０の内周側に突出するように配置された複数の鋲１１と、ドラム１０の内周に水を噴霧するノズル１２と、ノズル１２に水を供給するパイプ１３と、を備える。突出部は、ドラム１０の側面に対してらせん状に設けられる。パイプ１３は、ドラム１０の外周側に沿って配置され、ドラム１０と一体回転可能に設けられるとともに、ドラム１０の一端側に開口する吸水口１３ａを有する。吸水口１３ａは、ホース１４により水源と接続され、ホース１４と吸水口１３ａは、連結器１５によって互いに相対回転可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】洗浄用流体が塗装ガン及びロボットアーム等に飛び散ることなく、洗浄することができる塗装ガンの洗浄技術を提供することを課題とする。
【解決手段】閉塞手段５１は、環状の弾性部材であり、開口部４８に設けられ開口部４８の中心に向かって延びる閉塞本体部５２と、この閉塞本体部５２の中央に設けられ塗装ガン２０が挿入できる塗装ガン挿入口５３と、閉塞本体部５２の下面５４に設けられ塗装ガン挿入口５３から洗浄容器４１の壁４２に向かって下方に傾斜する傾斜面５５と、閉塞本体部５２の上面５６に設けられ湾曲溝状にえぐられている湾曲溝５７と、閉塞本体部５２の外径側に設けられ段を為すこどとで開口部４８に嵌る取付部５８と、からなる。
【効果】洗浄用流体が塗装ガン及びロボットアーム等に飛び散ることなく、塗装ガンを洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】太陽光パネルの洗浄及び冷却を一層向上させることができると共に、装置の簡素化及び小型化が図れる太陽光パネル洗浄冷却装置を提供する。
【解決手段】傾斜して設置された太陽光パネル３と、太陽光パネル３の上方に配設され、太陽光パネル３に水を噴射するノズル孔１１が形成されたノズル管１０と、ノズル管１０に水を供給する水供給管１２とを備えている。水供給管１２には、タイマー２３によって制御される電磁弁２１と、水の疑集の大きさを小さくする流体活性化装置２２とが設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スライムの洗浄速度が速く、スライムの洗浄時間を短縮することができ、スライムの除去効率を向上させることができるスライムの洗浄方法を提供する。
【解決手段】スライムの洗浄方法は、水タンク等の機器又は水配管等の内壁面に付着したスライムに洗浄剤としての過酸化物を作用させてスライムの洗浄を行うにあたり、該洗浄を減圧状態で行うものである。過酸化物としては、酸素と水に分解する過酸化水素が最も好ましい。その過酸化水素を過酸化水素水として用い、過酸化水素水中の過酸化水素の濃度は０．１〜１０質量％であることが好ましい。また、減圧状態の圧力は０．００１〜０．０９ＭＰａに設定され、スライムの洗浄は酸性条件下で行われる。 （もっと読む）

【課題】フィルタの寿命を延ばすことができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、基板Ｗに供給される処理液をろ過するフィルタ１６を内部で保持するハウジング１７と、ハウジング１７に保持されている状態のフィルタ１６に液滴を衝突させるスプレーノズル２３とを含む。フィルタ１６に付着している異物は、液滴の衝突によって除去される。 （もっと読む）

【課題】硫酸の温度の変更に容易に対応可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】この基板処理装置は、硫酸と過酸化水素水とを混合して生成したレジスト剥離液を基板Ｗの表面に供給する。この基板処理装置は、レジスト剥離液を基板に向けて吐出するノズル２と、ノズル２に向けて過酸化水素水を流通させる過酸化水素水供給路３０と、過酸化水素水供給路３０上においてノズル２までの流路長が異なる複数の混合位置ＭＰ１，ＭＰ２，ＭＰ３，ＭＰ４にそれぞれ接続された複数の硫酸供給路３１，３２，３３，３４と、硫酸供給源２５からの硫酸を前記複数の硫酸供給路から選択された硫酸供給路に導入する硫酸供給路選択ユニット３５とを含む。 （もっと読む）

【課題】基板の主面への処理液の飛散を抑制しつつ基板の端面を局所的に処理できる技術を提供する。
【解決手段】基板処理装置１００は、硬脆性基板の一種であるガラス基板（基板９０）の側端面９１Ｓをエッチングする。基板処理装置１００は、その外周面が基板９０の側端面９１に当接される当接面を形成するスポンジ体２１３（当接部材）と、スポンジ体２１３を回転させるスポンジ体回転駆動部２４０（回転駆動部）と、スポンジ体２１３に処理液を供給する処理液供給管２５１（処理液供給部）とを備える。搬送ローラー３１により＋ｙ方向に搬送される基板９０の側端面９１Ｓに対して、ｚ軸回りに回転するスポンジ体２１３の外周面が押し当てられることにより、基板９０の側端面９１Ｓのエッチングが行われる。 （もっと読む）

【課題】塗布動作を行う際に塗布液がミスト状に飛散する場合がある。ミスト状に飛散した塗布液が装置内部のうち基板以外の部分に付着すると、装置を汚してしまうという問題があるので、装置内の環境を清浄化する。
【解決手段】基板収容装置ＡＣＭは、基板Ｓを保持する基板保持部１０と、前記基板保持部１０に保持された状態の前記基板Ｓを囲うカップ部２０と、前記基板Ｓと前記カップ部２０との間に異物を回収する回収液を供給する回収液供給部３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 洗浄サイクルタイムを一定にでき、かつ洗浄効果を上げることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】 ノズルを回転させて洗浄液を噴射するタービン式の洗浄装置であって、洗浄液が流入するヘッドパイプ３入口と、洗浄液の圧力を駆動源としてノズル１９を回転させるタービン５との間に、タービン５の回転調整を行う専用のインレットコア４を設けるとともに、ノズルロータ１７とノズル１９との間に整流格子として二段式ずれ格子１８を装着したことを特徴とする。専用のインレットコアを装着することで、タービンの回転速度を一定とし、洗浄サイクルタイムを一定にできる。また、洗浄効果を上げるために、整流格子として働くスタビライザに二段式ずれ格子を装着することで整流を細分化し、直進棒流性能を向上させて洗浄効果を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 基板の表裏両面を均一に処理することが可能な基板処理装置および基板処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 処理槽１１にエッチング液を貯留するエッチング液供給工程と、ガラス基板１００を搬送ローラ２１により搬送してエッチング液が貯留された処理槽１１内に進入させる基板搬入工程と、ガラス基板１００の下面からエッチング液を吐出することによりガラス基板１００を搬送ローラ２１より上方で、かつ、処理槽１１に貯留されたエッチング液の液面より下方の位置まで浮上させるエッチング液吐出工程と、エッチング液の吐出を停止してガラス基板１００を搬送ローラ２１と当接する位置まで下降させる基板下降工程と、処理槽２１に貯留されたエッチング液を排出するエッチング液排出工程と、ガラス基板１００を搬送ローラ２１により搬送して処理槽１１より退出させる基板搬出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、移動不可能又は移動困難な廃トランスを洗浄化処理することを目的としたものである。
【解決手段】
ライトを備えた光触媒入り洗浄液を収容する洗浄液タンクと、バルブと、送液並びに排液パイプと、送液及び排液ポンプと、前記洗浄液タンク、送液及び排液パイプ及び送液及び排液ポンプを載置できる台車とを組み合わせたことを特徴とするＰＣＢ汚染廃電気機器の処理装置により前記課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】 ＰＣＢを含有する絶縁油が付着したトランスコア用の鉄心を構成する個々の鋼板の洗浄を確実且つ容易に行うことができるトランスコア用鉄心の処理方法を得る。
【解決手段】 トランスコア１の鉄心２を構成する複数の矩形状の鋼板４に解体して、個々の鋼板４をそれぞれ洗浄して無害化処理するにあたり、上記鉄心２を、予め定めた鋼板４の積層枚数からなる鋼板束５に分割した後、これらの各鋼板束５について、長手方向の一端側を、該一端側において各鋼板４の相対的な位置が不動となるように結束した状態で複数のロール１７ａ〜１７ｃ間に通して、板面方向に湾曲する方向に連続的に曲げ加工し、隣接する鋼板同士をその曲率の差よって位置ずれを生じさせることにより個々の鋼板４に分離し、その分離した個々の鋼板を洗浄液６で洗浄する。 （もっと読む）

【課題】 マスクブランク用基板の洗浄時に、ガラス基板内部に潜傷が発生することを抑制でき、しかも基板主表面に存在するパーティクルを確実に排除できるマスクブランク用基板等の基板の洗浄方法を提供する。
【解決手段】 液体中に配置された基板の少なくとも一つの表面に向かって、気泡又は洗浄用粒子を含む加圧した洗浄液体を噴射ノズルから噴射し、前記基板の少なくとも一つの表面を洗浄することを含むことを特徴とする、基板の洗浄方法である。 （もっと読む）