【課題】 処理液を形成する薬液の特性を一定に維持して処理の安定化及び品質の向上を図れるようにすること。
【解決手段】 処理槽１０内に循環供給される薬液（ＤＨＦ，ＥＧ）の混合液からなる処理液であるエッチング液Ｅでエッチング処理する液処理装置において、各薬液を処理槽内に貯留された処理液に補充する薬液補充手段４０，５０と各薬液補充手段をそれぞれ構成する補充管路４３，５３に介設される開閉弁Ｖ2〜Ｖ5と、各補充管路に介設されて所定量の薬液を供給する薬液供給ポンプＰ1，Ｐ2と、各薬液の処理槽への補充タイミングを記憶し、この記憶された情報に基づいて各開閉手段及び各薬液供給手段に動作信号を伝達する制御コンピュータ７０とを具備する。制御コンピュータを、処理液の排液後に、処理槽内に複数の薬液を供給して処理液を作成する処理液交換工程後の経過時間毎に、各薬液毎に補充のタイミングを可変設定可能に形成する。 （もっと読む）

【課題】 純水供給装置の新設あるいは修理の後に、配管内に残る微粒子を簡単な操作で効率よく排出できる純水供給配管の洗浄方法を提供する。
【解決手段】 純水供給配管に過酸化水素水溶液を通水しつつ、過酸化水素水溶液中に過酸化水素分解酵素を添加することにある。過酸化水素分解酵素は、カタラーゼであることが好ましい。過酸化水素水溶液に過酸化水素分解酵素水溶液が注入されることにより過酸化水素が分解されて水中で非常に細かな気泡を発生し、この気泡により微粒子を運び出す作用を強めるのみならず、微粒子を管壁から剥離させる。 （もっと読む）

【課題】非塩素系フッ素化合物と、エーテル結合及び／またはエステル結合を有する有機化合物を含有する洗浄剤において、高洗浄性、良好な乾燥性、非引火性を維持するための洗浄剤組成を調整する方法、装置及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄剤の物性値及び／または容量の変化を測定することによって洗浄剤の組成を検知し、洗浄剤組成を調整する。 （もっと読む）

【課題】 高洗浄性、良好な乾燥性、非引火性を維持するための洗浄剤組成を調整する方法、装置及び洗浄装置の提供。
【解決手段】 ２０℃における蒸気圧が１．３３×１０^３Ｐａ以上である非塩素系フッ素化合物（ａ１）と、２０℃における蒸気圧が１．３３×１０^３Ｐａ未満の成分であり、かつ、エーテル結合及び／またはエステル結合を有する有機化合物からなる群から選ばれる一種以上の化合物（ｂ）とを含有する洗浄剤組成を、洗浄工程における洗浄剤の沸点変化を測定することにより検知し、補給液の給液により洗浄剤組成を調整する方法。 （もっと読む）

【課題】 設備費用、環境負荷などが少なく、被洗浄物の電気的特性が限定されず、被洗浄物に付着する除去対象物質を剥離除去する能力、すなわち洗浄力および洗浄速度の高いウェット処理装置を提供する。
【解決手段】 スリット状開口部１７を有するノズル本体４とラジカル生成手段５とからなるノズル２、基板搬送手段３、第１純水供給手段７および第２純水供給手段８を含むウェット処理装置１であって、ノズル本体４の外部にラジカル生成手段５が設けられ、スリット状開口部１７から吐出される純水の水流と、ラジカル生成手段５において生成するラジカルなどの活性種を含有する純水とを混合して洗浄液１０とし、この洗浄液１０を基板９の被洗浄面９ａに供給する。 （もっと読む）

本発明は、食品送出機構及び浄化機構（７００）を含む食品分配器（１００）に関する。食品分配機構は、食品源（２１１）と、そこから食品成分（２１１ａ）を受け入れるように食品源（２１１）と関連した食品導管（６００）と、導管（６００）からの食品成分（２１１ａ）の給仕物を分配するように構成された分配機構（５００）とを含む。浄化機構（７００）は、食品送出機構に対して浄化動作を実施するための条件下で食品送出機構に浄化関連した流路（９８７ａ）に沿って浄化流体を向けるように食品送出機構と関連した浄化導管（８００）を含む。所定の条件に基づいて自動的に浄化動作を実施するための制御器（１０００）を設けることができる。制御器（１０００）、供給機構及び浄化機構（７００）は、オペレータからの実質的な介入を伴わずに、一日に複数回の間隔で、給仕物の分配と浄化動作を切り換えるように構成されうる。
（もっと読む）

【課題】製鉄工業におけるストリップを洗浄したアルカリ液を処理対象とし、その被処理アルカリ液の効果的な泡処理、洗剤使用量の低減、効果的で実用性の高いスカム除去が達成されるアルカリ液処理装置を提供する。
【解決手段】処理されるアルカリ液を貯留するタンク１に、該貯留タンク１内のアルカリ液の液面上の泡相を該タンク１から吸い出し、遠心分離方式で消泡して生じた微細泡及び液の混淆体を該タンク１外に抽出する処理器２付きのものを充て、この処理器２の抽出管２４に、スカムと液を分離するタンク３を接続し、該分離タンク３において分離したスカムと液分とを、スカム取出し手段３１、液取出し手段３４で、別々に該分離タンク３外に取出すようにする。 （もっと読む）

【課題】この発明の目的は、粒体に吸着された汚染物質を効率良く除去することができ、粒体の有効利用の促進を図ることができ、粒体を処分する際の管理項目を低減することにある。
【解決手段】この発明は、汚染物質を吸着した粒体の浄化方法及びその装置であって、汚染物質を吸着した粒体を洗浄液に浸漬し、次いで、洗浄液に超音波を照射しつつ粒体と洗浄液を撹拌して汚染物質を洗浄液に溶出させ、しかる後に、洗浄液に超音波を照射しつつ粒体を洗浄液から分離することを特徴とする。 （もっと読む）