【課題】基板の処理に使用される処理液の消費量を低減すること。
【解決手段】基板処理装置は、処理液を吸収可能で弾性変形可能なスポンジ４１と、スポンジ４１に処理液を供給する貯留槽４０と、基板Ｗを保持する基板搬送ロボット２１とを含む。基板搬送ロボット２１は、スポンジ４１と基板Ｗとを相対移動させてスポンジ４１と基板Ｗの下面とを接触させることにより、スポンジ４１に吸収されている処理液を基板Ｗの下面に供給させる。 （もっと読む）

【課題】簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができる電子部品実装設備用の洗浄ツールおよび洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】部品実装装置に用いられる吸着ノズル１０などを洗浄する電子部品実装設備用の洗浄ツール２０を、作業者が把持して操作可能な本体部２１と、本体部２１の先端に設けられ２流体３１が噴射される噴射ノズル２５と、本体部２１に接続され噴射ノズル２５と切替バルブ２６を介して接続された液体タンク２８とを備え、洗浄水３０の粒子３０ａを圧縮空気２３ａに混合した２流体３１を被洗浄物である吸着ノズル１０に対して噴射する構成とする。これにより、簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス頻度を低減させながらも、除液効率を高く維持する。
【解決手段】洗浄されたコインの洗浄液を除去するコイン除液装置５０であって、コインを挟み込んで搬送する柔軟性ロール８２によって、コインの表面に付着した洗浄液を除去する際に、掻き上げ手段７０によって、この柔軟性ロール８２の表面を長手方向に亘って掻くことで、柔軟性ロール８２の表面の油分をロール表面から浮き上がらせるようにした。 （もっと読む）

【課題】化粧道具を良好に洗うことができる化粧道具洗い具を提供する。
【解決手段】化粧道具２を挟む第１，第２の押し付け体１０，２０をヒンジ部３０で連結し，少なくとも一方に通水口１１（２１）を設ける。第１，第２の押し付け体１０，２０の間に化粧道具２を入れ，必要に応じて通水口１１から化粧道具２へ水等を供給しながら，第１，第２の押し付け体１０，２０をヒンジ部３０回りに複数回回動させて両押し付け体１０，２０で化粧道具２をその弾性力に抗して挟むようにして化粧道具２を好適に押し洗いすることができる。筆洗い干し具は，液体を入れることが可能な容器本体の底面に一体に複数個設けられていて，筆の毛部を捌く半球状の突起を備えた筆洗い具と，容器本体に対して着脱可能に取付可能で，容器本体への装着時に，容器本体の少なくとも外側において，筆の柄部を，柄の軸方向が上下方向を向くように保持する保持部を有する筆干し具とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板の処理を良好に行うことができる基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを格納した記憶媒体を提供すること。
【解決手段】本発明では、基板(2)を処理液(23)で処理する処理槽(24)と、処理槽(24)に第１の薬液(21)を供給する第１薬液供給機構(25)と、第１の薬液(21)と反応して処理液(23)を生成する第２の薬液(22)を処理槽(24)に供給する第２薬液供給機構(26)と、処理槽(24)に接続した循環流路(45)を用いて処理液(23)を循環させる処理液循環機構(27)と、第１及び第２の薬液の処理槽への供給を制御する制御部とを備え、所定の循環流量で処理液を循環させて基板(2)を処理する基板処理装置(1)を用い、第２の薬液(22)の供給を開始するとともに第２の薬液(22)の供給開始に基づいて循環流量を変化させることにした。 （もっと読む）

【課題】平板材料の表面に付着しているゴミを拭き取るゴミ取りロール３１の清掃装置３２の洗浄液吐出ノズル３０の塵埃微粉による目詰まりを解消する。
【解決手段】洗浄液吐出口１１と、洗浄液供給管１２から供給される洗浄液が入り込む注入口１３と、注入口から吐出口まで洗浄液を導く流通管１４を具備するノズル本体１５に、流通管１４から吐出口に向けて進退移動する針桿１６と、針桿を吐出口に向けて進退駆動する駆動装置１７を付設する。吐出口に塵埃微粉が入り込んでも、その塵埃微粉が、流通管から吐出口へと移動する針桿に叩き出され、同時に、洗浄液にも流し出されるので、吐出口の目詰まりが回避される。吐出ノズル３０の内側から塵埃微粉を吐出し排除するので、吐出口がシートで覆われていても支障を来さず、清掃装置の拭取シート１８をゴミ取りロール３１に摺接させるバックアップ材に吐出ノズルを使用することも出来る。 （もっと読む）

【課題】所望の時期に、スクラブ洗浄に用いられるパッド等のスクラブ部材から、付着物を除去する。
【解決手段】本発明は、被洗浄物Ｄのスクラブ洗浄用のスクラブ部材１４を浄化するように構成されたスクラブ部材浄化装置１０であって、スクラブ部材浄化用の付着物除去部材３９を備え、該付着物除去部材３９は、被洗浄物Ｄのスクラブ洗浄の際、スクラブ部材１４の表面部分が被洗浄物Ｄから離れて再び該被洗浄物Ｄに接するまでに通る軌跡上に、付着物除去部材３９の表面部分が位置するように、配置される。 （もっと読む）

【課題】ブラシに付着した異物を十分に除去し得るブラシの洗浄方法を提供する。
【解決手段】スクラブ洗浄に用いられたブラシ１４を洗浄槽２２内に貯留された洗浄液４４に浸漬し、洗浄液に超音波振動を印加するステップと、ブラシを洗浄槽内に設けられた洗浄用基板２４に接触させながら回転させるステップとを有している。 （もっと読む）

【課題】ブラシの寿命を長くした洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持する保持機構１０と、基板Ｗを洗浄可能な洗浄ブラシ２１とを備え、保持機構１０に保持された基板Ｗに洗浄ブラシ２１を当接させながら相対回転させて基板Ｗを洗浄するように構成された洗浄装置１において、洗浄ブラシ２１を洗浄するブラシ洗浄器５０を有し、このブラシ洗浄器５０は、洗浄ブラシ２１の表面電位を変化させて、洗浄ブラシ２１の表面電位および当該洗浄ブラシ２１に付着した異物の表面電位を互いに正負が同じ表面電位にすることにより、洗浄ブラシ２１から異物を分離して除去するようになっている。 （もっと読む）

【課題】紫外線や薬液を使用することなく、ガラス基板に貼り付いている有機汚れを除去することを目的とする。
【解決手段】基板１を水平搬送する搬送ローラ１７の上下位置に配置され、基板１を加熱および加湿する温水シャワー１８と、搬送ローラ１７の温水シャワー１８よりも下流側の上下位置に配置され、カム駆動モータ５０Ｍに取り付けられた回転軸５０にブラシ４１を装着した擦動ユニット１９と、ブラシ４１を基板１に対して押し付けるために、擦動ユニット１９を昇降動作させる昇降ユニットと、搬送ローラ１７の上下位置に配置され、ブラシ４１が基板１を擦動する部位に向けて高温純水を供給する温水ノズル２０と、を備え、上部側のブラシ４１と下部側のブラシ４１とが基板１を挟み込むようにして、基板１の洗浄を行っている。 （もっと読む）

【課題】基板の表面のデバイス形成領域に処理液による悪影響を与えることなく、基板の周縁部から汚染を良好に除去することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】ブラシ１１に関連して、処理液を吸引するための吸引ノズル７０が設けられている。吸引ノズル７０の先端部は、第１接触面３２と第２接触面３３との境界部分３４に対向する先端面７２と、第１接触面３２および第２接触面３３と当接する当接面７３とを有している。先端面７２には、吸引口７４が形成されている。吸引ノズル７０に接続された吸引管７６は、処理室２の外部へ延びており、その先端は、真空発生装置６０に接続されている。真空発生装置６０が駆動されると、ブラシ１１の内部に含まれる処理液は吸引口７４に吸引され、ブラシ１１の内部に吸引口７４に向かう処理液の流れが形成される。 （もっと読む）

【課題】 スピンコ−タ−カップ、半導体ウェハ、液晶ガラスなどに付着したレジスト及びレジスト被膜、油膜、塗料及び塗膜等の有機成分及び有機被膜を、短時間で除去すると共に、洗浄液を多数回繰り返し洗浄できる生産性・経済性の優れた洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】洗浄室内に被洗浄物を保持する保持カゴを回転可能に自立させ、更に洗浄液噴射用、すすぎ液噴射用及び乾燥用を共有するノズルを有するノズルヘッダーを回転可能に配設して、保持カゴとノズルヘッダーとの回転方向が双方対向するように設置して、被洗浄物を炭酸アルキレンによる洗浄後エアーで液切りさせた後、精製水によるすすぎを行って、エアー噴射により短時間で乾燥仕上げ処理することと、洗浄後の洗浄液はオゾンを用いた洗浄液再生装置で有機成分を分解して、循環再使用して経済効率を改善する。 （もっと読む）

洗浄された電極が表面汚染仕様を満たし、かつ製造の歩留まりが向上するように、容量結合プラズマ反応器の電極を洗浄し表面粗さを減少させるための、体系化された効率的な方法。洗浄工程で使用される工具の予備洗浄が、洗浄される電極の汚染を防止するのに役立つ。
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【課題】この発明は半導体ウエハの上面と下面とを同時に、しかも確実に洗浄することができる基板の処理装置を提供することにある。
【解決手段】一側面に出し入れ口２が形成された処理槽１と、この処理槽内の上記出し入れ口と対向する位置に設けられ処理槽内に搬入された半導体ウエハ１０の搬入方向と交差する径方向の両端部を保持してこの半導体ウエハを回転駆動する保持駆動手段８と、保持駆動手段に保持された半導体ウエハに処理液を供給する洗浄ノズル１２４，１２５と、処理槽内の上記保持駆動手段よりも内方に設けられ先端部に上記半導体ウエハの板面を洗浄する洗浄ブラシ７１，１２２を有するアーム６３，１２１およびこのアームを上下方向に駆動するとともに洗浄ブラシが半導体ウエハの径方向に沿って移動するよう上記アームを揺動駆動する駆動手段を有するツールユニット６１，６２とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板表面へのダメージを防止しつつ、良好な熱エネルギー効率で基板表面に対して洗浄処理を施すことができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板表面Ｗｆに液膜１１を付着させた状態で該液膜１１を凍結させて凍結膜１３を形成する。続いて、回転駆動されている基板Ｗの表面Ｗｆに向けて加熱ガス吐出ノズル４から加熱ガスを局部的に吐出させながら、加熱ガス吐出ノズル４を基板Ｗの回転中心位置Ｐ４１から基板Ｗの端縁位置Ｐ４２に向けて移動軌跡Ｔ４に沿って揺動させる。これにより、基板表面Ｗｆの表面領域のうち凍結膜１３が融解した領域（融解領域）が基板表面Ｗｆの中央部から周縁部へと広げられ、基板表面Ｗｆに形成された凍結膜１３の全体が融解する。 （もっと読む）

【課題】基板の表裏両面の好適な洗浄を可能とする。
【解決手段】ベース部材２に設けられた保持部材６によってベース部材２と基板Ｗとが離間された状態で基板Ｗの周縁部が保持され、保持部材６に保持された基板Ｗの面のうち、ベース部材２に向く側の第１洗浄面ＷＦ１を洗浄するための第１洗浄ブラシ２１は、第１洗浄具支持アーム２２によって、基板Ｗとベース部材２との間に第１洗浄面ＷＦ１に沿って移動可能に配置支持される。回転モーター１１によってベース部材２に連結された中空状の回転軸９を介して基板保持機構１及びそれに保持された基板Ｗを回転させながら、回転モーター１６による移動動力によって、第１洗浄面ＷＦ１に沿って第１洗浄ブラシ２１を移動させ、第１洗浄ブラシ２１により基板Ｗの第１洗浄面ＷＦ１を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】従来のバフの洗浄装置においては、手による揉み洗いで、洗浄し、天日乾燥か、強制脱水等による方法が一般的である。この方法は、能率が劣ること、厳寒時には大変に辛い作業であり、その改良が望まれていた。一部において、洗浄水を単にバフ装置に吹き付けて洗浄する方法では、バフ装置のバフの奥に付着した汚れが取れ難い等の問題がある。そして、また乾燥はエアを吹き付けることにより行なっているため、エアの供給が必要であった。
【構成】フレームに設けたケーシングにクロス状に軸支したローラと、洗浄水供給装置と、ホースとで構成した車輌、又は壁面用のバフを備えた電動工具清掃装置で、ケーシングの上面に水噴出用の孔を複数個開設し、この孔を洗浄水供給装置に連通し、またケーシングの上面に排水用の孔を複数個開設する構成とした車輌、又は壁面用のバフを備えた電動工具清掃装置である。 （もっと読む）

【課題】清掃及び保守を考慮して改善されたブラシの利用を可能にすること。
【解決手段】本発明は、印刷シリンダー（２）の清掃装置（４）に関する。前記清掃装置は、前記印刷シリンダーの回転軸線に平行な回転軸線と、駆動シャフト（３０）に取り付けられたブラシ組立体（２８、２８ａ〜ｄ）とを有する回転式のブラシ（１２）を含む。前記ブラシ組立体は、連続して配置された複数の筒状のブラシ部材（２８ａ〜ｄ）を有する。前記清掃装置は、洗浄液を分配させ及び（又は）放出するために使用される少なくとも１つの通路（３８ａ、３８ｂ、４０ａ、４０ｂ）を有する、前記駆動シャフトに平行な搬送部材（６）有する。前記搬送部材は、１つの部材であり、前記通路を有する押出し成形された断面を有する。 （もっと読む）

【課題】ウエハに付着した不純物を取り除くために用いるブラシをきれいに保つことを目的とする。
【解決手段】ブラシ洗浄装置１６は、上部の開いた筒状の囲い２３の内壁に、噴射口２４を設けている。この噴射口２４は、超音波振動子２５を備えた給水管２６が接続し、超音波振動子２５の振動によって超音波が与えられた水を吹き出す。この水は、超音波によっていわゆるキャビテーションを起こしており、この水をブラシ部１７に吹き付けることでブラシ毛の汚れを洗い流すことができる。 （もっと読む）

【課題】硬質材切削装置の洗浄媒体浄化装置における、高度な研磨性を有する洗浄媒体のための、丈夫な電子的流量センサを得る。
【解決手段】硬質材切削装置２のための洗浄媒体浄化装置に、硬質材を装備した洗浄すべき工具４に、少なくとも部分的に閉じたループの洗浄媒体回路を設け、洗浄媒体回路の流れの方向にみて工具４の後段に、沈殿槽８および洗浄媒体ポンプ９を順次に設ける。模擬（シミュレーション）アルゴリズムを有する計算手段１４,１４′によって電子的に分析評価可能な、センサ１５，１５′を備え、このセンサ１５，１５′によって流れの方向にみて洗浄媒体ポンプ９の後段における洗浄媒体圧力ｐを感知する。好適には、洗浄媒体回路内に、流れの方向にみて、電子的に分析評価可能なセンサ１５，１５′の後段に、濾過ユニット１０を備える。 （もっと読む）