【課題】 ガラス・シリコン薄膜・フイルム等の大面積基板の薬液反応において、薬液との接液を面状態とし、さらに節液状態で行える超音波薬液反応装置を提供することにある。
【解決手段】 薬液供給口２１，３２より薬液６０を上下薬液槽２０，３０に送り、上部薬液槽２０の液吸引パイプ２３からの流量バランスで、基板出入り口になる上下槽間の空隙部１２に薬液６０を保持する。薬液６０には下部槽３０より超音波定在波１３が付加され、振動波の最大振幅位置と一致させた空隙レベルに基板５０をローラー４０で搬送し、キャビテーション効果で基板表裏の薬液反応を促進化させる。液吸引パイプ２３の位置を振動波の最小振幅位置と一致させ液面レベルを反射面として機能させる。 （もっと読む）

【課題】高価なＨＦＥ溶剤液を用いて蒸気洗浄を行いながら、廉価な蒸気洗浄作業を可能にする。即ち、高価なＨＦＥ溶剤液を用いて蒸気洗浄を行いながら、ＨＦＥ溶剤液の消耗を小さなものとし、ＨＦＥ溶剤液を繰り返し使用し、結果的にはＨＦＥ溶剤液を用いた廉価な蒸気洗浄作業を可能とするものである。本発明は環境性能とともに洗浄性能に優れた高価なＨＦＥ溶剤液を用いながら廉価な蒸気洗浄を可能にする事が出来るものである。
【解決手段】ＨＦＥ溶剤液２の上面を、ＨＦＥ溶剤液２よりも比重が小さいとともに沸点が高い液体にて形成した表面被覆液４により被覆し、この表面被覆液４の上面にＨＦＥ溶剤液２を加熱して発生した洗浄蒸気を供給し、この洗浄蒸気を被洗浄物５に凝縮液化して被洗浄物５の蒸気洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】 ワーク載架用のステージに接離可能となる二重カップによる洗浄槽において、二重カップの内側カップに洗浄ノズルを付設し、内外側カップで構成される通路を、排液、又は排気用の流路とする構造であり、密封型の清浄槽である。渦状の流れをつくり、ワークに均一に洗浄液が噴射され、均一な清浄が可能となる。通路による吸引効果と、内側カップの周辺部には吸引力が生成し、渦の発生は可能である。しかし、渦発生力が弱いので、渦のトルネード効果は期待できないと考えられる。
【解決手段】 本発明は、カプセル型の開閉自在の洗浄室と、洗浄室の一方に設けたノズルと、他方に設けた吸引部と、洗浄室内に設けた回転自在のワーク支持台とで構成したカプセル型の洗浄機であり、洗浄室において、ノズルより噴射される洗浄液、洗浄水、又は空気を旋回するとともに、吸引部に誘導可能とする構成としたカプセル型の洗浄機である。 （もっと読む）

【課題】洗浄ノズルの中心軸と被洗浄部との位置合わせを容易に行うことができる技術を提供することを課題とする。
【解決手段】連結手段５７は、支持穴５２を囲うようにして支持ブロック５３に設けられた複数個のピン穴６１〜６８と、これらのピン穴６１〜６８の一つに嵌合するように回転ブロック５３から突出されたピン７１とからなる。ピン７１をピン穴６１からピン穴６２に変更して連結することで、洗浄ノズル２５は矢印（１）のように移動する。同様にピン７１をピン穴６２から隣接するピン穴６３〜６８に変更して連結することで、洗浄ノズル２５は回転中心５４を中心にして一周する。
【効果】回転ブロックを回転させ支持ブロックに固定するだけで洗浄ノズルの位置が調整されるので、洗浄ノズルの中心軸と被洗浄部との位置合わせを容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】瞬間的な洗浄後に直ちに蒸発する高温高圧のスチーム特性を利用し、フラックスによって汚染されたフラックスツールやアタッチツールなどのフラックスによる汚染物を、瞬間的に早く、かつ正確に洗浄することによって、洗浄時間はもとより、乾燥時間及びクーリング時間を画期的に短縮させるフラックス洗浄装置を提供する。
【解決手段】本体と、前記本体に設置され、フラックスが付着した対象物が搭載される搭載台と、前記本体に設置され、前記フラックスが付着した対象物に残留するフラックスなどの異物を除去するために、前記搭載台に搭載されたフラックスが付着した対象物に向かってスチームを噴射する少なくとも一つのスチーム噴射ノズルと、前記本体に設置され、前記スチーム噴射ノズルにスチームを供給するスチーム供給装置とを有してなる。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄および殺菌に適した超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄水９０を収容し、底壁部１３の外面１３ｂに超音波振動子１４が取り付けられる洗浄槽１０と、被洗浄物３０を底壁部１３から離れた状態で支持する多孔状の支持部材２３と、底壁部１３と支持部材２３との間に配置された少なくとも１つの散気管５０とを有する超音波洗浄装置１である。少なくとも１つの散気管５０は、洗浄水９０にオゾン８１を含む空気８０を吐出し、底壁部１３に対向するように配置される吐出孔５１を含む。 （もっと読む）

【課題】 重機と併用せずともコンクリート打継面を効率的に処理する。
【解決手段】本発明に係るコンクリートの打継面処理装置１は、コンクリート打継面３を覆うことが可能なケーシング４と、該ケーシングの底部に貫通配置されたジョイント部材５と、該ジョイント部材のケーシング側端部に連結された高圧水噴射ノズル機構６とを備える。高圧水噴射ノズル機構６は、シャフト８の先端から左右２方向に２本のアーム９ａ，９ｂを延設するとともに、シャフト８の基端側をジョイント部材５に設けられた軸受７に保持させることで、シャフト８の材軸Ａの廻りに全体が回転自在となるように構成してあり、アーム９ａ，９ｂにはそれぞれ噴射ノズル１０ａ，１０ｂを設けてある。噴射ノズル１０ａ，１０ｂは、それらの噴射方向が、材軸Ａの方向ではなく、その方向に対し、アーム９ａ，９ｂの材軸廻りに角度θだけ回転させた方向を向くように構成してある。 （もっと読む）

【課題】より低価格な油孔洗浄装置を提供することを課題とする。
【解決手段】油孔洗浄装置では、油孔４８をボール４９で塞ぎ、油孔４６の他端１１７を閉塞部材８７で塞いだ状態で、（ａ）と（ｃ）に示すように、油孔４６の一端１１６を閉塞部材８１で塞ぐと共に油孔４５の一端１１９へ洗浄ノズル５４で洗浄液を注入するか、又は（ｂ）に示すように、油孔４５の一端１１９を閉塞部材６１で塞ぐと共に油孔４６の一端１１６へ洗浄ノズル７４で洗浄液を注入する。
【効果】全油孔を開放して洗浄液を注入する場合に比べ、油孔内の液圧力の低下を防止できるので、洗浄液供給手段の負荷が軽減される。そのため、洗浄液供給手段の能力を下げられ、洗浄液供給手段の価格が下がるので、より低価格な油孔洗浄装置を提供できる。 （もっと読む）

本発明は、表面洗浄ヘッド（１０；９０）であって、ドーム状の下方に開口したハウジング（１２）を備え、このハウジング（１２）内に、少なくとも１つのスプレーアーム（４２，４４）が回転軸（５４）を中心に回転するために搭載されており、スプレーアーム（４２，４４）が、回転軸（５４）から距離をおいてノズル（５０，５２）を担持し、ノズル（５０，５２）が、液流で洗浄されるべき表面に作用するために、加圧を受けた洗浄液の作用を受け、前記スプレーアーム（４２，４４）と共に回転軸（５４）を中心に回転することに適合されており、更に、前記ハウジング（１２）の開口した下面に向けて少なくとも１つのスプレーアーム（４２，４４）を覆い、液流を通過させるためのリング状流体通路（８２）を規定する保護円盤（６４）を備え、流体通路が保持棒（８０）により貫通されており、少なくとも１つのスプレーアーム（４２，４４）が、保護円盤（６４）に対して回転可能である、表面洗浄ヘッドに関する。表面洗浄ヘッドが発生する騒音が少なくなるように表面洗浄ヘッドを更に改良するため、保持棒（８０）が、周方向に不均一に分布するように配置されることが提案される。
（もっと読む）

【課題】物品への汚れの再付着を低減できる物品洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄すべき物品を内部に密閉可能に収容する洗浄槽３と、洗浄槽３に形成される液体供給口５ａ及び上部に形成される液体排出口８に接続され、浄化されて循環する洗浄液７を貯留する洗浄液タンク手段６と、洗浄槽３に形成される液体供給口５ａ及び上部に形成される液体排出口８に接続され、浄化されて循環するすすぎ液１６を貯留するすすぎ液タンク手段１５と、一端が液体排出口８に接続され、他端が洗浄液タンク手段６又はすすぎ液タンク手段１５に切り替え可能に接続されると共に、循環により通過する洗浄液７又すすぎ液１６を浄化させるフィルタ手段９ｃと、フィルタ手段９ｃに接続され、液体排出口８とフィルタ手段９ｃとの間に滞留する洗浄液７又はすすぎ液１６を排出可能なバルブ手段２０ｇを有する。 （もっと読む）

【課題】内部に形成された狭隘部を洗浄対象部位に含む被洗浄ワークを対象として、十分な洗浄性能を確保することが可能な洗浄方法および洗浄装置を提供する。
【解決手段】ライデンフロスト現象の作用により被洗浄面に付着した異物を除去する異物除去工程を、洗浄液を噴射インターバルＴ２毎に噴射継続時間Ｔ１だけ複数回噴射して供給する洗浄液間歇噴射工程と、被洗浄面に形成された蒸気層を介して洗浄液が被洗浄面に沿って液滴の状態で流動する状態を発生させる液滴流動状態形成工程と、被洗浄面に付着した異物を液滴によって捕集する異物捕集工程と、異物を捕集した液滴を洗浄液が気化した蒸気の流れによって移動させることにより洗浄対象部位から排除する液滴移動工程とで構成し、洗浄液間歇噴射工程において、先行して供給された洗浄液についての流動状態形成工程、異物捕集工程および液滴移動工程が完了した後に、後続して供給される洗浄液を噴射する。 （もっと読む）

【課題】洗浄効果の高い泡洗剤を生成できると共に洗剤の漏れ防止を図ることができる泡洗剤吐出装置を提供すること。
【解決手段】洗剤タンク２の底部に洗剤出口９を設け、洗剤タンク２の上部に、外部から洗剤タンク２内部に取り込まれる空気を溜めるタンク空気層１１と、該タンク空気層１１の空気を取り出すためのタンク空気出口１０とをそれぞれ設ける。洗剤タンク２が着脱自在に装着される本体３側に、洗剤供給路４に通じる本体洗剤受け口１２と、エゼクター部６の空気供給路５に通じる本体空気受け口１３とをそれぞれ設ける。洗剤タンク２の本体３への装着の際に、洗剤出口９と本体洗剤受け口１２とが接続されると同時にタンク空気出口１０と本体空気受け口１３とが接続される構成とする。 （もっと読む）

【課題】熱の再利用ができ、配管の破損が生じても問題が生じることがなく、その上、装置のコストアップを抑制することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】二重容器２７における熱交換により、排出される燐酸と供給される燐酸との間で熱の再利用ができる。また、熱交換が燐酸同士であるので、二重容器２７の内容器２９が破損したとしても問題が生じない。その上、別体の予備温調ユニットを設けることなく、供給する燐酸に加温することができるので、装置のコストアップを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】処理液バルブのリーク故障や吸引手段の故障を検出して、基板処理不良を抑制する。
【解決手段】この基板処理装置は、基板Ｗに処理液を吐出するノズル１２と、ノズル１２に接続された処理液供給管２５と、処理液供給管２５に介装された第１および第２処理液バルブ２８Ａ，２８Ｂとを備えている。第１処理液バルブ２８Ａとノズル１２との間に設定された分岐位置３６には、処理液吸引管３２が処理液供給管２５に分岐接続されている。処理液吸引管３２には吸引装置３４が接続されており、その途中部には吸引バルブ３３が介装されている。処理液供給管２５は、分岐位置３６とノズル１２との間において、鉛直方向に沿う液面検出部４０を有している。この液面検出部４０に設定された液面検出位置４２には、液面センサ４１が配置されている。 （もっと読む）

【課題】シュート式のキャップ洗浄殺菌装置において、シュート内での合成樹脂キャップに作用する積圧を緩和してキャップの変形を防止し、且つ上流側で噴射した温水や無菌水が下流側の温水や無菌水に及ぼす影響を少なくして効率よく殺菌洗浄できるようにする。
【解決手段】シュート５は上り勾配シュート部７、９を有し、該上り勾配シュート部に沿って殺菌洗浄媒体としての温水を噴射する複数個の噴射ノズルを有する温水パイプを配置し、該上り勾配シュート部に供給されたキャップに温水を噴射し、該温水の噴射圧力により前記キャップ３５に前記上り勾配シュート部を上昇する推力を付与し、前記殺菌洗浄媒体によりキャップを殺菌洗浄すると共に搬送を行う。 （もっと読む）

【課題】洗浄廃液を分別して効率よく回収することができる廃液分別装置を提供すること。
【解決手段】廃液分別装置としての回収ホッパー１は、ホッパー本体１１の上部に回転霧化式塗装機２の回転霧化頭４を挿入する挿入口１２が設けられ、回転霧化頭４から吐出された塗料や洗浄液を含む複数種類の洗浄廃液を受け入れる。ホッパー本体１１の側壁の内面側に溶剤型塗料の洗浄廃液を回収するトイ１５が設けられ、ホッパー本体１１の底部かつ挿入口１２の直下となる位置に水性塗料の洗浄廃液を排出する排出口１７が設けられている。水性塗料の洗浄廃液を排出口１７に案内する第１流体案内流路１９ａが設けられ、第１流体案内流路１９ａの第１流体案内壁１８ａは、その口径が下方側に行くほど小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】エネルギー消費を抑制しながら洗浄効率を高め、かつ、コンパクトで簡易な構成により製造コストの低減を可能とする洗浄装置を提供する。
【解決手段】ワーク８を回転自在に支持する回転支持台１６と、洗浄液が噴出する洗浄液ノズル２０と、エアが噴出するエアノズル２１と、回転支持台１６と洗浄液ノズル２０とエアノズル２１を収容する洗浄ケース１２からなる洗浄部２と、洗浄液を貯溜するダーティータンク４と、油水分離タンク５と、クリーンタンク６と、洗浄液を供給する洗浄液供給手段５８と、エアを供給するブローエア供給手段６５と、を備える洗浄装置１であって、ワーク８が、洗浄液ノズル２０から噴出する洗浄液により付勢されて、回転しながら洗浄されて、さらに、前記エアノズル２１から噴出するエアにより付勢されて、回転しながら乾燥される構成とする。 （もっと読む）

【課題】パーティクル除去性能を少なくとも低下させることなく、かつ、基板のダメージを低減できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】制御部４７は、処理槽１の基板処理環境を大気圧よりも高い加圧環境とするように圧力調整ユニット４５を制御し、かつ、純水供給源１９から処理槽１内へ供給される純水に気体を溶存させるように気体溶存ユニット２５を制御するとともに、処理槽１内に貯留された処理液に超音波振動を付与するように超音波発生部５１を制御しているので、処理槽１の基板処理環境が大気圧よりも高い加圧環境とすることができ、大気圧下での気体溶存量よりも多くの気体を純水に溶存させることができ、キャビテーションを和らげるクッションとして作用する溶存気体を増加させることができ、ダメージを低減できるだけでなく、気体溶存量の増加によってパーティクルの除去性能も上がる。 （もっと読む）

【課題】基板を吸着保持する方式の処理装置における吸引通路に存在する塵埃やパーティクル等によって基板が汚染されるのを防止する。
【解決手段】被処理基板であるウエハＷを回転可能に保持するスピンチャック１０に、ウエハを吸着するための吸引口１４を設けると共に、この吸引口に真空ポンプ２０を接続してなる基板処理装置において、スピンチャックにおける吸引口と真空ポンプとを連通する吸引通路１５ａの汚れを防止するための汚れ防止手段４０を設ける。この汚れ防止手段を、吸引通路における吸引口側に配設されるフィルタ部材４１にて形成する。 （もっと読む）

【課題】省スペースで洗浄及び付帯作業を同時に実現でき、洗浄品質や作業環境を好適に維持することができる小型洗浄装置を提供すること。
【解決手段】小型洗浄装置１は、超音波振動子を有して被洗浄物を超音波洗浄する洗浄槽と、被洗浄物の洗浄における付帯作業を行う作業面５を有する作業机６と、を備え、洗浄槽が、作業面５よりも下方位置にて作業机６と一体に配されている。 （もっと読む）