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Fターム[3B201CD43]の内容

液体又は蒸気による洗浄 (28,239) | 補助処理 (2,748) | 検知、制御 (1,212) | 制御対象 (717)

Fターム[3B201CD43]に分類される特許

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【課題】切削加工後のワークを傷付けずに、ワーク表面の付着物を効果的に除去して、洗浄品質を向上させる。
【解決手段】ノズル41に接続した給水管45には、純水中にマイクロナノバブルBを発生させるマイクロナノバブル発生器49が接続され、ノズル41の先端はワークWの被洗浄部近傍に配置されている。ノズル41の吐出口部には圧力維持バルブ51が設けられ、マイクロナノバブル発生器49で生成した加圧過飽和状態のマイクロナノバブルBを含む洗浄水Cが、洗浄中にノズル41から吐出して、ワークWの被洗浄部に至近距離から供給する。 (もっと読む)


【課題】従来のような二流体ノズルや高圧ジェットを用いた場合、たとえば、パターン等が形成された基板を洗浄する場合、洗浄液の供給される力によって、基板上に形成されたパターンに損傷が生じる場合があり、一方、損傷を防止するために供給する力を抑制すれば、洗浄を十分に行えないという問題があった。
【解決手段】微細気泡を含む洗浄液を用いて基板の洗浄を行う。洗浄液を供給するノズルの先端を、基板上に形成された液膜の液面より低い位置に配置し、ノズルの先端部分付近(微細気泡発生領域)を洗浄液が通過する際に、洗浄液中に微細気泡が発生するように構成する。 (もっと読む)


【課題】 洗浄対象物を分解せずに超音波洗浄を行う際に、洗浄時間を最適化することができる超音波洗浄装置及び方法を提供する。
【解決手段】実施形態の超音波洗浄装置は、内部に液体を保持している構造体30に、所定の洗浄用周波数で洗浄用超音波を入射する洗浄用振動子11bと、洗浄用周波数と異なる周波数である測定用超音波Pを入射する測定用送信振動子21bと、反射波P1、P2を受信する測定用受信振動子21bと、内面付着物31の厚みを算出する制御部23と、を備える。また、その洗浄方法は、洗浄用周波数帯で洗浄用超音波が前記構造体30に入射される洗浄ステップ41と、洗浄ステップ41の最中に、測定用超音波が構造体30に入射される測定用超音波入射ステップ42と、測定用超音波の反射波が受信される反射波受信ステップ43と、内面付着物31の厚みが算出される算出ステップ44と、を備える。 (もっと読む)


【課題】精密工作機械の切削加工による加工部品に付着した切り粉及び切削油を水中洗浄ならびに空中洗浄で除去する切削加工部品洗浄装置を提供する。
【解決手段】精密工作機械の切削加工により加工部品に付着した切り粉及び切削油を水中洗浄ならびに空中洗浄で除去する切削加工部品洗浄装置10であって、前記被洗浄物にエアーブローを施す空圧除去領域部30と、前記被洗浄物を水中で洗浄する水中洗浄領域部と、前記空圧除去領域部と前記水中洗浄領域部40の間を上下に移動する昇降領域部50と、該昇降領域部及び前記空圧除去領域部30を制御する制御領域部70とを、其々本体領域部に配設した構成から成る手段を採る。 (もっと読む)


【課題】 脱水カゴの回転駆動装置が不要になり、構造をコンパクトにさせると共に取り扱いを簡単にさせながら脱水カゴを万遍なく均一にきれいに水洗でき、かつ水洗に伴う水の飛散を防止して良好な作業環境下で水洗作業を行うことができるようにした脱水カゴの水洗技術の提供。
【解決手段】 上面が開口し、周壁10及び底壁11に多数の水切小孔12が形成された円形の脱水カゴ1を水洗対象とし、洗浄空間Sに回転自在に設けた水平テーブル5上に伏せ状態にセットした脱水カゴの外周面に対して水を噴射して水洗させる周面向き噴射ノズル60と、底外面に対して水を噴射させて水洗させる底面向き噴射ノズル61を備え、周面向き噴射ノズル及び/又は底面向き噴射ノズルからの噴射水の勢いにより脱水カゴを回転させながら水洗させる。 (もっと読む)


【解決手段】 複数の金属部品Wを収容した洗浄カゴBを洗浄液13内に浸漬させた状態において、対向位置の壁面3A、3Bの噴射ノズル21から同時に洗浄液13を噴射させると、相互に対向する位置の噴射ノズル21から噴射された洗浄液13が洗浄槽3内で衝突し、その衝突位置Xに洗浄液13による乱流が生じる。この状態において、調整手段22が壁面3Aの各噴射ノズル21の噴射圧力を徐々に大きくするとともに、壁面3Bの各噴射ノズル21の噴射圧力を徐々に小さくする。これにより、上記洗浄液13の衝突位置Xが洗浄槽3内で右方へ移動して、洗浄槽3内の洗浄液13が攪拌される。
【効果】 洗浄カゴB内の金属部品Wを満遍なく洗浄することができる。 (もっと読む)


【課題】液処理工程中に基板を上方から支持する基板支持部、あるいは基板とともに回転する天板を基板へ供給されるリンス液を用いて洗浄する。
【解決手段】液処理装置100はウエハWを上方から支持する回転自在の基板支持部10と、基板支持部10の回転中心に設けられ少なくともリンス液をウエハWに対して供給するトッププレートノズル10nとを備えている。トッププレートノズル10nは基板支持部10に対して上下方向に移動可能となっており、トッププレートノズル10nを基板支持部10から離間した状態でトッププレートノズル10nからリンス液をウエハWに対して供給する。トッププレートノズル10nを基板支持部10に接近させた状態で、トッププレートノズル10nからリンス液を基板支持部10の下面に供給して洗浄する。 (もっと読む)


【課題】 マイクロバブルの洗浄液中での分散性を向上させた洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄液の構成を、洗浄液を溜める洗浄槽と、超音波振動を供給する超音波振動子と、所定の方向の流れを形成するようにマイクロバブルを含有した洗浄液を供給する洗浄液供給系とし、超音波振動子を洗浄槽の内部底面との間に隙間を有し且つ所定の方向の洗浄液の流れと所定の方向とは異なる方向の洗浄液の流れの境界位置に超音波振動子を配置し、洗浄液供給系がこの隙間に向けて洗浄液を供給することとする。 (もっと読む)


【課題】 従来洗浄困難であった被洗浄面全域をコンタミが覆った場合であっても、該コンタミを好適に除去する。
【解決手段 】被洗浄面に対して垂直な方向から洗浄流体を吹き付ける第一の洗浄工程と、第一の洗浄工程により部分的に露出した被洗浄面に対して垂直とは異なる所定の角度を以って洗浄流体を吹き付ける第二の洗浄工程と、によって被洗浄面とコンタミとの剥離部分を拡大させてコンタミの除去を図る。 (もっと読む)


【課題】外壁を洗浄するための洗浄剤を洗い流す工程に関連し、環境汚染を防ぐための新規な技術を提案する。
【解決手段】酸性洗浄剤を建物外壁の汚れ部分に直接塗布する第3工程S3と、アルカリ性洗浄水により酸性洗浄剤を洗い流す第4工程S4を有する。酸性洗浄剤を含む排水を中性に近づけることができ、そのまま下水に排水してしまう場合と比較して、環境負荷を低減することができ、環境汚染を防ぐことが可能となる。また、アルカリ性洗浄水による中和の作用によって、残留してしまった酸性洗浄剤のpHを高めて中性に近づけることができるため、仮に、酸性洗浄剤が完全に洗い流されない場合であっても、酸性洗浄剤を中性に近づけることによって、外壁10の変色や劣化を防止することができる。 (もっと読む)


【課題】被処理物に形成された凸パターンに対する超音波洗浄時のダメージを抑え、かつ凹パターンの底部及び側壁部も十分に洗浄し得る超音波処理技術を提供する。
【解決手段】被処理物を超音波により洗浄処理する超音波処理装置を、超音波振動を放射する超音波振動部と、前記超音波振動部に電力を印加する発振部と、前記被処理物と該被処理物を処理する処理液を収容する収容部を有し該収容部内へ前記処理液を供給する処理液供給部とを備えるように構成し、前記処理液供給部が、前記収容部内へ供給される前の前記処理液を脱気する。 (もっと読む)


【課題】操作性が高く、安価な車両用洗浄装置を提供すること。
【解決手段】車両用洗浄装置は、タンクTに貯留された洗浄液を給送するための電動ポンプPと、給送された洗浄液を車両後部に配置された車載カメラ10のガラス窓10aに向けて噴射するためのカメラ・ウォッシャノズルN2とを備える。又、車両が後進状態であることを示す後進状態信号Xの入力に基づいてディスプレイDSPに車載カメラ10が撮像した画像を表示させるとともにカメラ洗浄用のタッチパネルスイッチTSWを表示させ、該カメラ洗浄用のタッチパネルスイッチTSWの操作に基づいてカメラ・ウォッシャノズルN2に洗浄液を給送すべく電動ポンプPを駆動する制御部Sを備える。 (もっと読む)


【課題】平流しの基板搬送路上で被処理基板に供給した第1の処理液を分別回収して第2の処理液に置き換える動作を効率よくスムーズに行い、現像斑の発生を抑制する。
【解決手段】被処理基板Gに第1の処理液Dを供給する第1の処理液供給手段9と、前記第1の処理液が液盛りされた前記被処理基板の基板面に対し、所定のガス流を吹き付ける気体供給手段21と、前記被処理基板の基板面に対し前記第2の処理液Sを吐出する第2のリンス手段23と、前記気体供給手段と前記第2のリンス手段との間に設けられ、前記気体供給手段によりガス流が吹き付けられた前記被処理基板の基板面に対し、所定の流速で前記第2の処理液を吐出する第1のリンス手段22と、前記基板搬送路上において、前記第1のリンス手段により供給された第2の処理液によって、基板幅方向に延びる液溜まり部を形成する液溜まり形成手段27とを備える。 (もっと読む)


【課題】機器や配管等の金属表面に付着したカルシウム塩のスケールを良好に洗浄する難溶解性付着物の洗浄技術を提供する。
【解決手段】難溶解性付着物の洗浄剤は少なくともギ酸を成分に有し、金属表面に付着したカルシウム塩のスケールを洗浄する。遠心薄膜乾燥機20においてこの洗浄剤を供給する供給タンク31が接続されている。例えば、乾燥処理の対象となる廃液が、ホウ酸カルシウムを主成分とする懸濁液である場合、洗浄剤のギ酸濃度が0.5〜10wt%、好ましくは1〜5wt%の範囲に調整される。 (もっと読む)


【課題】雰囲気が置換される空間の体積を減少させることができ、基板のエッチング量を面内全域で低減できる基板処理装置および基板処理方法を提供すること。
【解決手段】基板処理装置1は、内部空間S1を有するチャンバー2と、チャンバー2内で基板Wを保持して回転軸線A1まわりに回転させるスピンチャック3と、チャンバー2内で基板Wの上面に対向する遮断板4と、遮断板4と基板Wとの間に不活性ガスを供給するガス供給機構5と、基板Wに対して傾いた方向に処理液を吐出することにより、基板Wの上面中央部に斜めに処理液を供給する処理液ノズル29と、処理液ノズル29に供給される処理液から酸素を脱気する脱気手段とを含む。 (もっと読む)


【課題】 端縁に段差を有する基板を処理する場合であっても、端縁を十分清浄に洗浄処理し、乾燥させることが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】 電子ペーパ製造用基板10は、最初にレジストの剥離処理がなされる。次に、電子ペーパ製造用基板10は、洗浄液噴出ノズル51からその長辺S1に洗浄液が噴出され、その長辺S1を洗浄処理されるとともに、表面および裏面に洗浄液を供給されて洗浄処理され、さらに、洗浄液噴出ノズル52からその短辺S2に洗浄液が噴出され、その短辺S2を洗浄処理される。そして、電子ペーパ製造用基板10はエアナイフ80によりその両面の洗浄液を除去された後、ヒータ部90によりその長辺S1および短辺S2を乾燥処理される。 (もっと読む)


【課題】本発明は、魚網等の清掃対象物表面を広範囲において効率よく清掃できるようにした場合であっても、清掃対象物表面の凹凸や撓みに対して安定した走行が可能となるようにする。
【解決手段】本発明の水中清掃ロボット1は、清掃ノズルユニット5が、前記ロボット本体2の下部に回転自在に設けられ、前記ロボット本体を移動させる走行装置3が設けられている。前記走行装置3は、前記ロボット本体の左右に設けられた第1走行手段36a、37a、38a、39aと、前記第1走行手段の前後方向にそれぞれ設けられ且つ前記第1走行手段の下端よりも上方に位置している第2走行手段36b、37b、38b、39bとを備えている。 (もっと読む)


【課題】太陽光パネルの洗浄及び冷却を一層向上させることができると共に、装置の簡素化及び小型化が図れる太陽光パネル洗浄冷却装置を提供する。
【解決手段】傾斜して設置された太陽光パネル3と、太陽光パネル3の上方に配設され、太陽光パネル3に水を噴射するノズル孔11が形成されたノズル管10と、ノズル管10に水を供給する水供給管12とを備えている。水供給管12には、タイマー23によって制御される電磁弁21と、水の疑集の大きさを小さくする流体活性化装置22とが設けられていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】蒸気タービンやガスタービン本体あるいはガスタービン圧縮機のロータを分解せずに洗浄することにより、ロータの表面に付着した錆スケール、動翼にできた孔食や微小き裂内の錆、腐食性物質を取り除く。
【解決手段】タービンロータ1、30の超音波洗浄方法において、ロータ植込部2aに動翼3を植設した状態のタービンロータ1、30を洗浄槽4A,4B内で一部または全体を洗浄溶液5に浸け、タービンロータ1、30を回転駆動モータ10により連続回転駆動または間欠回転駆動させ、洗浄槽4A、4B内の超音波振動子装置6に外部に設置した超音波発信器9から電力を供給して超音波振動させ、洗浄溶液にキャビテーションを発生させる。 (もっと読む)


【課題】比較的簡便な構成で、配管破損を生じることなくかつ短時間で、配管を洗浄することができる配管洗浄方法を提供する。
【解決手段】
まず、内部にオゾンを含む直径が1μm未満の気泡であるオゾンナノバブルを含む洗浄液が生成される。次いで、当該洗浄液が配管内壁の付着物に所定の圧力で供給される。この洗浄液によれば、洗浄液中のオゾン粒子数の残存時間を長期間維持することができ、オゾンの作用を効果的に引き出すことができる。その結果、洗管作業時間内における洗浄液中のオゾンバブルの消滅を実質的に無視することができる。また、この洗浄液は、OHラジカルや酸素ラジカルを含むため、その作用により、スケールやスライムはもちろん、配管内壁に付着している水酸化第一鉄、水酸化第二鉄等を極めて効率よく短時間で分解除去することができる。 (もっと読む)


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