【課題】被洗浄体を表裏両側から同時にスクラブ洗浄する洗浄工程において、被洗浄体に与えるダメージを低減させる。
【課題手段】１対のブラシローラ１Ａ，１Ｂがそれぞれ挿着された２つの回転軸の回転方向と略直交してこれら２つの回転軸の軸心を含む断面において、第１の被洗浄面１１Ａと接触する複数の第１の突起５Ａの各基端部分を第１の被洗浄面１１Ａの略垂直方向から被洗浄体１０に投影した複数の第１領域Ｌａと、第２の被洗浄面１１Ｂと接触する複数の第２の突起５Ｂの各基端部分を第２の被洗浄面１１Ｂの略垂直方向から被洗浄体１０に投影した複数の第２領域Ｌｂとが重なる複数の重複範囲Ｌｐは、２つのブラシローラ１Ａ，１Ｂの回転位置に関わらず、当該重複範囲Ｌｐを含む第１領域Ｌａ及び第２領域Ｌｂの何れに対しても８０％以下の範囲に制限される。 （もっと読む）

【解決手段】 被加工物を洗浄するためのブラシを提供する。ブラシは、互いに貼り付けられた第１部分及び第２部分を有する硬質コアを含む。硬質コアは、硬質コアの回転軸線を中心に画成された開口を有する。流体チャンネルが、第１部分及び第２部分の反対面の間に画成される。流体チャンネルは、開口を画成する面から半径方向に延びる。第１膜及び第２膜が、第１部分及び第２部分の外側面に貼り付けられ、第１膜及び第２膜の運動は、流体チャンネルを通る流体の導入によって制御される。一実施形態では、膜は多孔質であり、流体は、洗浄のための磁気ディスク又は半導体基板等の被加工物に接触する洗浄液である。 （もっと読む）

【課題】鋭角状の角や隅でも確実に清掃ができ、家電製品等の表面に接触して傷つける恐れがなく、清掃時等にて手に対する負担の度合が少ない組合せブラシを提供する。
【解決手段】
第１ハウジング１Ａと第１ブラシ２とを係合可能に設け、第２ハウジング３と第２ブラシ４とを一体的に設け、第１ハウジング１Ａおよび第２ハウジング３を同一の中心点４７にて回動可能に設け、第１ハウジング１Ａと係合した第１ブラシ２を内円寄りに配置し、第２ブラシ４を外円寄りに配置し、第１ブラシ２の基台９の外円側１０に立毛群１１を配置し、第２ブラシ４の基台１３の内円側１４に立毛群１５を配置し、第１ブラシ２の立毛群１１と第２ブラシ４の立毛群１５とを当接可能に配置し、塵埃が付着した第１ブラシ２を第１ハウジング１Ａと係合し、回動させることにより、第１ブラシ２に付着した塵埃を除去し、塵埃を除去した第１ブラシ２を第１ハウジング１Ａより取り外しできる。 （もっと読む）

【課題】ブラシローラを有する鋼板用洗浄装置に関して、ブラシローラ中央部の洗浄液等の滞留を抑制する。
【解決手段】鋼板１１をその長手方向に搬送しながら洗浄する鋼板１１の洗浄装置１であって、鋼板１１の表裏両面にそれぞれ当接して鋼板１１の表裏面を洗浄液で洗浄する少なくとも一対のブラシローラ３０（３１，３２）を備え、これらのブラシローラ３０を回転することによって鋼板１１は洗浄されるとともに搬送され、ブラシローラ３０は、軸方向中心部に周囲に渡り所定の幅Ｗａを有した帯状の中央ブラシ部７０と、この中央ブラシ部７０によって軸方向において左右に分割された一対の側ブラシ部７１を有し、この側ブラシ部７１は、所定の幅Ｗｂを有し、鋼板１１との接触によって中央ブラシ部７０から鋼板１１の幅方向端部ＲＥＵ，ＬＥＵに向かって洗浄液ＰＯＬを送ることができる螺旋状に設けた。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁部に対するブラシの当接を検出することができる、基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板の周縁部を洗浄するためのブラシ１３は、電磁クラッチ３９がオフの状態で、ブラシ回転軸１９とともに自由に回転可能である。そのため、この自由回転可能な状態のブラシ１３は、回転中の基板の周縁部に当接すると、その基板の回転に従動して回転する。したがって、電磁クラッチ３９がオフの状態でのブラシ１３の回転は、ブラシ１３が基板の周縁部に当接していることを意味する。よって、ブラシ回転軸１９の回転に伴ってエンコーダ４３から出力されるパルス信号に基づいて、ブラシ１３が基板の周縁部に当接したことを検知することができる。 （もっと読む）

【課題】ロールブラシ等、両端で支持される軸状回転体を、当該回転体が長軸化した場合にも水平に保ち得るようにすること。
【解決手段】ロールブラシ１０Ａは次のように構成される。外周にブラシ毛１３をもつ中空のブラシシャフト１２と、回転可能に支持され、かつブラシシャフト１２に遊挿されて同シャフト１２をその軸方向に貫通するとともに、このシャフト１２の中間部分で同シャフト１２に対してスプライン結合されるブラシ主軸１４と、このブラシ主軸１４に装着され、ブラシシャフト１２がその軸方向に水平に延びるように同シャフト１２をその内周側から支持するベアリング１５と、を備える。そして、ブラシ主軸１４がモータ１８に接続されることにより、ブラシシャフト１２およびブラシ主軸１４が一体に回転駆動される。 （もっと読む）

【課題】汚染した洗浄液が基板上に滞留せず、洗浄効果が一層改善された洗浄ブラシを提供する。
【解決手段】本発明による洗浄ローラは、ローラ本体（１０）を有し、ローラ本体の外周面にブラシ毛（１５）を植設する。ローラ本体は、洗浄液の流路を構成する内部空間を有し、当該内部空間は、カップリング（１２ｂ）を介して洗浄液供給導管（１４）に接続する。ローラ本体（１０）には、前記内部空間と連通し洗浄液を噴射させる複数の噴射孔（１６）をローラ本体の軸線に沿って螺旋状に形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ワーク表面を洗浄または研磨する工業ブラシの製造方法に関するものである。
【解決手段】本発明のブラシ毛は、最初、互いに重ならないように並べられる。次に、前記ブラシ毛の上または下には、前記ブラシ毛の並び方向に対して、少なくとも一列の溶着部によって互いのブラシ毛が接着される。前記溶着部は、前記ブラシ毛の上側または下側、あるいは上および下の両側で溶着するようにすることもできる。また、前記溶着部は、前記ブラシ毛の端部のいずれかに一列、両端部にそれぞれ一列ずつ、前記両端部および中央の三列、あるいは、これらを任意に組み合わせて設けることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置用の基板の製造に用いる基板洗浄用ブラシのブラシ毛の絡み合いを防止し、洗浄能力の向上と、基板洗浄用ブラシの長寿命化図り、洗浄品質の向上による洗浄コストの削減をすることである。
【解決手段】基板洗浄用ブラシのブラシ毛を帯鋼のチャネル台座に芯金を介して挟みつけて製作するチャネルブラシを、円筒状のブラシシャフトの表面にコイル巻きの要領手順で、手前側から奥側へ順番に巻き付けるように取り付け、ブラシシャフトの表面をチャネルブラシで埋め尽くす基板洗浄用ブラシにおいて、隣り合うチャネル台座とチャネル台座との間の位置に柔軟な隔壁を設け、該柔軟な隔壁によって、隣り合うチャネルに植毛したブラシ毛の双方が絡まることを防止する基板洗浄用ブラシである。 （もっと読む）

【課題】本発明はディスプレイパネル拭掃において求められる毛先の拡散を良好に惹起し、拡散した毛先による拭掃効果を発揮する拭掃用ブラシ材を提供する。
【解決手段】合成樹脂から成るモノフィラメント１１ａを多数本集束して撚合した構造を有する複数本の拭掃用マルチフィラメント撚合糸１２ａを形成し、他方該拭掃用マルチフィラメント撚合糸１２ａを形成するモノフィラメント１１ａよりも低融点のモノフィラメント１１ｂを多数本集束して撚合した構造を有する融着用マルチフィラメント撚合糸１２ｂを形成し、上記複数本の拭掃用マルチフィラメント撚合糸１２ａと上記融着用マルチフィラメント撚合糸１２ｂを集束すると共に撚合して複撚合糸１３を形成し、上記融着用マルチフィラメント撚合糸１２ｂを形成する低融点マルチフィラメント１１ｂの熱溶融を介して上記各拭掃用マルチフィラメント撚合糸１２ａ相互を融着した構造を有する拭掃用ブラシ材。 （もっと読む）