【課題】基板の周縁部に対するブラシの当接を検出することができる、基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板の周縁部を洗浄するためのブラシ１３は、電磁クラッチ３９がオフの状態で、ブラシ回転軸１９とともに自由に回転可能である。そのため、この自由回転可能な状態のブラシ１３は、回転中の基板の周縁部に当接すると、その基板の回転に従動して回転する。したがって、電磁クラッチ３９がオフの状態でのブラシ１３の回転は、ブラシ１３が基板の周縁部に当接していることを意味する。よって、ブラシ回転軸１９の回転に伴ってエンコーダ４３から出力されるパルス信号に基づいて、ブラシ１３が基板の周縁部に当接したことを検知することができる。 （もっと読む）

【課題】被洗浄面である車体に強固に付着している汚れを除去することができる高い洗浄性と洗浄時の静粛性を有すると共に、被洗浄面に傷がつき難く、安価に洗車機用洗浄ブラシのブラシ片、及びそれを用いた洗車機用洗浄ブラシ、及びその洗車機用洗浄ブラシを搭載した洗車機を提供する。
【解決手段】自動車あるいは車両の外面の被洗浄面に付着した汚れ等を洗浄する為の洗車機に使用する洗車機用洗浄ブラシのブラシ片において、前記洗車機用洗浄ブラシは、軸体及び、前記軸体の外周部にブラシ片が形成されてあり、前記ブラシ片は、接合部を有する筒状体あるいは袋状体に形成されてあるものである。 （もっと読む）

【課題】ブラシ用毛材の毛腰を強く設定しても、被洗浄面である車体に傷を付けることが無く、高い洗浄性が発揮される洗車機用洗浄ブラシのブラシ用毛材、及びそれを用いた洗車機用洗浄ブラシ、及びその洗車機用洗浄ブラシを搭載した洗車機を提供する。
【解決手段】自動車あるいは車両の外面の被洗浄面に付着した汚れ等を洗浄する為の洗車機に使用する洗車機用洗浄ブラシのブラシ用毛材において、前記ブラシ用毛材は少なくとも外層部及び芯部を有し、前記芯部は前記外層部の硬度よりも大の硬度を有すると共に、前記外層部は前記芯部の外周面の一部又は全部を被覆して形成されてあるものである。 （もっと読む）

【課題】高い洗浄性を有すると共に、被洗浄面に傷を付けることが無く、凍結が無く、且つ高い耐久性を有する洗車機用洗浄ブラシを提供する。
【解決手段】自動車洗浄用あるいは車両洗浄用の洗車機に使用する洗浄ブラシにおいて、前記洗浄ブラシは、繊維質基材、及び高分子弾性体より形成されてあり、前記繊維質基材にたいして高分子弾性体が被覆されて形成されてあるブラシ片が使用されてあるものである。 （もっと読む）