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Fターム[3C007BS01]の内容

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【課題】半導体ウエハを対向するチャンバ間でスムーズに移動することのできる搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ウエハ搬送ロボット100は、2本のリンク12、13で構成されているアーム10を備える。アーム10の先端にはウエハホルダ6が備えられている。アーム10の基部に相当する駆動リンク13は筐体2に回転可能に連結されている。アーム10は、駆動リンク13の回転に伴うアーム先端の運動が直線又は曲線の軌道に制限される構造を有しているとともに、その軌道は、始点Wsと終点Weが駆動リンク13の回転中心から等距離の位置にあり、始点におけるアーム先端の向きと終点におけるアーム先端の向きが、始点と終点の間の中点と前記回転中心を通る直線に対して鏡像の関係を満たしている。 (もっと読む)


【課題】見かけ上、非線形な弾性係数を有するアクチュエータおよびリンク機構を提供する。
【解決手段】直動可能に支持された基台20に、第1のプーリ22aおよび第2のプーリ22bが一体に回転可能に支持されている。第1のプーリ22aには、第1のワイヤ17aが巻き付けられており、第1のワイヤ17aの出力端Toが負荷に接続されている。第2のプーリ22bには、第2のワイヤ17bが第1のワイヤ17aとは逆方向に巻き付けられている。基台14には、取付部材12が連結されている。駆動源3は、基台3および取付部材12を一体に直動させる。取付部材12にはバネ4の一端が接続され、バネ4の他端が第2のワイヤ17bに接続されている。 (もっと読む)


【課題】コントローラの配置位置にかかわらず、ティーチングを容易に行うことを可能とするアクチュエータ及びアクチュエータシステムを提供する。
【解決手段】アクチュエータシステムAは、アクチュエータ10と、アクチュエータ10を制御するためのコントローラ20と、アクチュエータ10のプログラムを作成するためのティーチングを行うティーチングペンダント30と、を有する。そして、アクチュエータ10は、コントローラ20と、ティーチングペンダント30と、を接続する中継ユニット11を備える。これにより、アクチュエータ10から離れた位置に、コントローラ20が配置されている場合においても、作業者は、アクチュエータ10の動作を目視しやすい位置で、ティーチングを行うことができるようになる。 (もっと読む)


【課題】動作時にアームが通過するための広い空間を必要とすることがなく、かつアームを高速で移動させることが可能なロボットを提供する。
【解決手段】ロボット10は、基端側に固定されたベース部11と、ベース部11に設けられた駆動部12と、ベース部11に連結され、駆動部12からの動力により軸線方向(Z方向)に沿って伸縮自在な伸縮アーム20とを備えている。伸縮アーム20の先端には、軸線方向(Z方向)に平行なエンドエフェクタ取付面13を有するスライダ14が設けられている。伸縮アーム20は、互いに連動して軸線方向(Z方向)に沿って進退するとともに軸線方向に垂直な方向(X方向)に互いに積層された複数の移動体40、60、80からなっている。スライダ14は、移動体80に対して、軸線方向(Z方向)に沿って相対移動する。 (もっと読む)


【課題】小型で高速動作が可能な移載装置を安価に提供する。
【解決手段】側面に第1と第2の円筒溝カム(11,12)、底面51に溝カム52が形成されたシリンダー4と、ピニオンギア23環装され、第1円筒溝カムにより上下するシャフト部21と、第2円筒溝カムによってシャフト部内で上下するロッド部22と、ピニオンギアに歯合して溝カムにより前後するラックギア54と、物体W1の把持と開放を相補的に行う二つ一組のチャック部31を備えたチャックユニット6aを備え、ピニオンギアはシャフト部を介してチャックユニットを旋回させ、ロッド部はシャフト部と同期して上下するとともに、シャフト部の下死点停留期間Δt2中にさらに下方の第2下死点Dd2に至り、二つ一組のチャック部はロッド部が第2下死点に至ったときに、それぞれの把持状態と開放状態を切り替え、上死点と第1の下死点までの区間ではその状態を維持する。 (もっと読む)


【課題】 関節の姿勢角度と剛性を独立に制御し、良好な安全性と優れた制御性能を共に達成することができる関節ロボットおよびその制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 基部と、基部に設置された4つのモータと、4つのモータに各々取り付けられた4つの巻取装置と、基部の表面に軸中心線が垂直するように設置された支持柱と、支持柱の上端に取り付けられた球面ジョイントと、球面ジョイントに取り付けられた可動プレートと、可動プレートの底部に設置された4つの自在継手と、4つの前記巻取装置と4つの前記自在継手とを一対一に連結する非線形バネが組み込まれた4本のワイヤと、可動プレートの上面に軸中心線が垂直するように固定された出力軸とを備えた。 (もっと読む)


【課題】シートの交換作業を容易に行うことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置1は、直動装置2と、スライドユニット3と、可撓性のシート5とを備える。直動装置2は、レール10とスライドベース31とを有する。スライドユニット3は、その移動方向に沿って、シート5を収容し、スライドベース31と、該スライドベース31の移動方向の両端部に着脱可能に設けられたガイドロール支持ブロック32と、方向転換部4とを有する。方向転換部4は、第1の方向転換部材41と第2の方向転換部材42とを有する。第1の方向転換部材41は、スライドベース31に複数設けられ、シート5の下面を上方に押し上げて張架する。ガイドロール支持ブロック32に設けられた第2の方向転換部材42によって上面を押さえつけられたシート5は、開口部11を覆うよう案内される。 (もっと読む)


【課題】 スライダ移動時にベルト状カバーがフレームに接触し、発塵するという欠点を解消し、防塵効果の向上を図った軸用スライド装置を提供すること。
【解決手段】 固定されたフレームの開口部内をステージが移動し、前記開口部をステージ移動方向に全面に亘って覆うベルト状カバーを設けた軸用スライド装置において、スライダ移動時にベルト状カバーの幅方向両端部のエッジと接触するフレーム部に開口部に沿った小溝を設けたことを特徴とする軸用スライド装置とした。 (もっと読む)


【課題】構成の簡素化及び低廉化を図る共に生産性及びメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】単軸ロボットは、前後方向(一軸方向)に延びるケース部材と、これに収容される可動部材10と、この可動部材を移動させる駆動手段とを含む。ケース部材は、可動部材10を前後方向に移動可能に支持するガイドレール2及び支持ブロック26,27等のカバー固定用部材と、このレール2の当該レール2に沿って前後方向に延びる一対の側面カバー3と、支持ブロック26,27等に固定される端面カバーとを有する。端面カバーは、各側面カバー3と嵌合可能な嵌合部を有し、各側面カバー3は、それぞれ端面カバーに嵌合することにより両端面カバーに挟持された状態で、当該端面カバーを介してガイドレール2に固定されている。 (もっと読む)


【課題】シャッタ部材を円滑に案内できるようにする一方で、可動部材の構成を簡素化し、生産性やメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】単軸ロボットは、ケース部材と、これに収容される可動部材10と、ケース部材の開口部を塞ぐシャッタ6とを備える。可動部材10は、一対の工具取付部12(突出部)および樹脂材料からなるシャッタ案内面を備える本体11と、シャッタ案内面Fgを覆うように本体11に装着されてシャッタ通過用の隙間Sを形成する樹脂材料からなるテーブルカバー16とを含む。本体11およびカバー16は、カバー16を本体11の上部に重ねた状態で互いに係合し、カバー16を本体11に対して係止する係止部をそれぞれ備える。カバー16は、その上面部に、工具取付部12に取付けられる工具が当接することにより本体11に対するカバー16の上方への変位を規制する変位規制部を有する。 (もっと読む)


【課題】チャンバ100の外側に無用なスペースを必要とすることなく、低価格で、チャンバ100に設けたウェーハWの搬出入口101を可及的に小さくでき、しかも正確なウェーハWの搬送が可能なウェーハ搬送装置300を提供する。
【解決手段】Xリンクユニット21で構成した伸縮手段2と、前記Xリンクユニット21を構成するリンク要素21a同士の回転軸22に係合して伸縮軸線Cに沿ってスライド可能に支持するガイド部材8と、前記伸縮手段2の先端部に取り付けられて前記載置板1を抜脱可能かつ回転不能に保持する保持手段4と、前記伸縮手段2によってウェーハW交換室から受渡位置に向かって移動する途中での載置板1の、若干の伸縮軸線Cからの位置ずれを是正しながら受渡位置に導く案内機構63とを設けた。 (もっと読む)


【課題】 共通の駆動源で作業具を2軸方向に移動可能で、構成が簡略な作業具の移動装置を提供する。
【解決手段】 移動装置1は、作業具2を、レール3に沿って移動させ、かつレール3と交差する方向に移動させる。走行用駆動源7,8を搭載し、レール3上を走行する第1および第2走行体4,5と、これら第1および第2走行体4,5の間に位置し、レール3上を走行する中央走行体6と、この中央走行体6にレール3方向と交差する方向に移動自在に設けられ、作業具2が取付けられる移動部材12とを備える。一端が第1走行体4に固定され、中間部が、中央走行体6に設けた第1案内点15、移動部材12に設けた中間案内点17、中央走行体6に設けた第2案内点16の順に巻き掛けられ、他端が第2走行体5に固定された巻掛体18を設ける。 (もっと読む)


【課題】X軸方向に水平に延びる直動レールに沿って移動される移動体を備えるものにあって、必要な可動範囲及び移動速度を確保しながらも、上下方向の小型化を図る。
【解決手段】移動体3を、X軸移動用モータ5の駆動により直動レール2に沿ってX軸方向に移動するように設け、移動体3の前面部に、旋回アーム9を、r軸用モータ10の駆動によりr軸を中心に旋回するように設ける。旋回アーム9の先端に、テレスコピック型の伸縮アームからなる直動アーム12を、Y軸移動用モータの駆動によりY軸(前後)方向に自在に移動(伸縮)するように設け、直動アーム12の筒状部14aの先端に、作業用ツールが装着される手首部11を、T軸を中心に同軸回転するように設ける。 (もっと読む)


【課題】直線ロボットにおける密閉バンドの結合構造を提供する。
【解決手段】本発明は、ベルト、ボールスクリュー、リニアモータータイプの駆動手段によりテーブルを移動する直線ロボットにおける密閉バンドの結合構造に係り、さらに詳しくは、永久磁石を用いて移動するテーブルと密閉バンドを摩擦なしに作動させて摩擦騒音、粉塵発生、摩擦による密閉バンドの変形がなく、使用寿命を延ばすことができ、完璧なクリーン状態を維持し、直線ロボットの精密性及び作動性を常に最適な状態で提供できるようにした直線ロボットにおける密閉バンドの結合構造に関する。 (もっと読む)


【課題】 製品に損傷を与えることなくプレース動作を行うことができ、しかも製品を安定して移動させることができるピックアンドプレース装置を提供する。
【解決手段】 ピックアンドプレース装置1を、回動軸2と、円弧部分16と垂直部分17a、17bとを有する案内部15が配設され、回動軸2に直交して立設支持される板状体3と、回動軸2に固着される回動アーム25と回転対偶で連結され、水平姿勢を維持しながら回動運動を行うキャリア4と、左右方向へスライド移動自在に、かつ弾性部材38を介装して左右いずれかの所定方向に付勢された状態で、キャリア4に係着されるとともに、案内部15に係合するカムフォロア36が接続された従動ブロック5と、把持手段6と、を備え、従動ブロック5を介して、案内部15に対して所定方向に向かう押圧力Pを作用させながら、カムフォロア36を、案内部15に沿って往復移動させるように構成した。 (もっと読む)


【課題】走行レールに対する支柱の設置位置の変更を可能とすると共に、支柱の位置変更の作業を行う際の安全性を確保する。
【解決手段】支柱上に水平に設けられた支持プレート3に走行レール4を取付ける。走行レール4の上面部に、径小な第1円筒部14と径大な第2円筒部15とを一体に備える取付部7を設ける。支持プレート3の先端部に上面から見て円弧状の立下り壁部3aを介して薄肉な被取付部16を設ける。被取付部16に、取付部7の第1円筒部14が開口部から矢印A方向に水平に挿入されるU字状切込み部16aを形成する。第1円筒部14がU字状切込み部16aの奥部まで挿入された状態で、被取付部16の先端部のU字状切込み部16aの開口部両側部分に、第2円筒部15の投影面から露出した一定長さの露出端部16b,16bが生ずる。 (もっと読む)


【課題】 上下軸に配置されたラックとピニオンにおいて、重力の影響を受けずバックラッシュ量を容易に精度よく測定できる方法および直動型ロボット装置を提供する。
【解決手段】 本発明の直動型ロボット装置のバックラッシュ量算出方法は、減速機7を有したサーボモータ6と、減速機の出力軸に結合されたピニオン3と、上下方向に設けられピニオンに噛合するラック2と、サーボモータを保持しラック上を移動する移動体8と、サーボモータに設けられたトルクおよび回転位置を検出する検出部と、サーボモータを制御する制御部とを備え、サーボモータを回転させて移動体を下方向に移動させ、移動体より下に設けた固定台5に移動体を預けてトルクがゼロになったときからトルクの方向が逆転するまでの間の検出部の回転位置パルス値を用いることによりラックとピニオンのバックラッシュ量を算出するものである。 (もっと読む)


【課題】 複数の荷物を複数の目的地まで運搬して降ろすのに適した運搬用遠隔制御ロボットにおいて、荷降ろし機構の構成を簡略化できるようにした。
【解決手段】
運搬用遠隔制御ロボットは、移動体1と、移動体1に設けられ、複数の荷物100を載せて順次に取り出し側の端部に向かって搬送するコンベア30と、コンベア30の上記取り出し側の端部において、荷物100を所定の取り出し位置に位置決めする位置決め手段としてのストッパ38aと、移動体1に設けられ、上記取り出し位置にある荷物100をコンベア30から降ろす荷降ろし機構40とを備えている。荷降ろし機構40は、コンベア30の長手方向と直交する回動軸線を中心に回動可能な回動アーム41と、この回動アーム30の先端部に設けられた係合シャフト46とを有しており、係合シャフト46を荷物100に対して係合、離脱させる。 (もっと読む)


【課題】単一の撮像手段により検査対象物の複数箇所の外観検査が可能で、小型化が図れる外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置1は、チャック手段10によりチャックされたコネクタ6を撮像手段18により撮像し、画像処理により得られた画像データに基づいてコネクタ6の良否判定を行う。外観検査装置1は、所定の軸心L回りに回動操作自在に支持された回動アーム手段11と、回動アーム手段11に備えられると共に、軸心L上にセットされたコネクタ6をその軸心L方向両側からチャックするチャック手段10と、軸心Lと直交する撮像方向Mからコネクタ6を撮像する撮像手段18と、回動アーム手段11を撮像方向Mと平行な方向に沿ってスライド操作自在な電動スライダ装置12とを備える。 (もっと読む)


【課題】生産サイクルタイムのロスをより確実に低減できるロボットの制御装置を提供する。
【解決手段】制御装置は、所定位置に配置されたパレット56について、ロボット51のアーム54が右手系,左手系の各制御系列により動作可能となる領域を計算し、パレット56に対するワーク供給又は取出し位置Pwを基準に初期作業位置を決定すると、その初期作業位置からロボット51が順次作業を進める位置をパレット56内で決定する。そして、アーム54の現在位置Pl(n)に隣接する作業位置が同じ制御系列で作業可能であればその位置を優先して次の作業位置とし、同じ制御系列では作業不可であればそれ以外に継続して作業可能な位置があれば当該位置での作業を同じ制御系列で行い、前記位置がなければ異なる制御系列で作業可能な位置を次の作業位置とする。 (もっと読む)


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