【課題】
適切な性能を維持しながらも、より省コストに提供できるようにしたロボットを得ることを目的とする。
【解決手段】
基台と、第１軸まわりに回転可能に基台に連結される第１構造体と、第１軸に対して直交する第２軸まわりに回転可能に第１構造体に連結される第２構造体と、第２軸と平行な第３軸まわりに回転可能に第２構造体に連結される第３構造体と、を少なくとも有するロボットであって、第１構造体と第３構造体とは、同形状の鋳物材を用いて形成される。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドの摩耗を検出することが可能な吸着装置及びロボットシステムを提供する。
【解決手段】ロボットシステム１０は、搬送物Ｇを吸着する吸着パッド７６及び吸着パッド７６の吸着圧力を検出する圧力センサ６６ａ〜６６ｄが設けられたエンドエフェクタ４８ａ、４８ｂを有するロボット２０と、吸着パッド７６が搬送物Ｇを吸着してから吸着パッド７６の吸着圧力が安定するまでの間に圧力センサ６６ａ〜６６ｄが検出した吸着圧力の過渡データＤに基づいて、吸着パッド７６の摩耗を判断する判断部８６を有する制御装置３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 アームを駆動するモータ、減速機の負荷を軽減するためのバランサ装置のストロークが長くアーム強度を確保しながら、フレームとの干渉を避け、アーム回動範囲を大きくできるコンパクトな産業用ロボット１０を提供
【解決手段】アーム２をフレーム１の水平回動軸ａに片持ち状態で回動自在に支持される基部２ｃと基部側に開口部２ａを有し基部側からアーム先端に向かって形成される筒状ケース部２ｂとアーム先端部２ｄとで構成する。バランサ装置３はロッド３ｂと、ロッドが出入りするシリンダ３ａを備え、ロッド先端係合部４をフレームの一対の第一の支点ｃ部間、シリンダの後端５を筒状ケース部内の一対の第二の支点部ｂ間で回動自在に支持し、アームの水平回動軸の両側を含む回動範囲で筒状ケースとバランサ装置とが干渉しないようにする。バランサ装置をロッドの引き込み又は引き出しに従って反力が大きくなる方向に圧縮性流体６を封入する。 （もっと読む）

【課題】２段のピンセットによる搬入出動作を同じタイミングで行い、基板搬送に係る処理時間を短縮する。
【解決手段】基台上に相対向して立設された一対の第一及び第二の昇降軸７，８と、前記第一の昇降軸に沿って昇降自在に設けられると共に、第一のピンセット１５をステージに対し進退移動させる第一の進退移動手段１３と、前記第一の進退移動手段を前記第一の昇降軸に沿って昇降移動させる第一の昇降手段１１と、前記第二の昇降軸に沿って昇降自在に設けられると共に、第二のピンセット１６をステージに対し進退移動させる第二の進退移動手段１４と、前記第二の進退移動手段を前記第二の昇降軸に沿って昇降移動させる第二の昇降手段１２と、前記第一及び第二の進退移動手段の駆動制御、及び前記第一及び第二の昇降手段の駆動制御を行う制御手段１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】７つの関節のうち基端側にある３つの関節の各回転軸のうち少なくとも１軸が他の軸と一点で交わらない機構を持った７軸多関節ロボットを人間の腕のように滑らかに動作させる制御を適切に実現する。
【解決手段】基端から先端に向かって順に設けられた７つの関節を具備し、当該７つの関節が次の関節を旋回させる回転軸と次の関節を回動させる回転軸とを交互に有しており、かつ当該基端側にある３つの関節の各回転軸が一点で交わらないように構成された７軸多関節ロボットの制御方法であって、前記３つの関節のうち中間関節の回転軸を肩とみなした場合の擬似的な肘角度が一定となるような前記中間関節の関節角を拘束条件に用いて逆変換を実行する（ステップＳ５０５）。 （もっと読む）

【課題】ロボットの設置箇所を小さくすると共に、サイクルタイムの短縮を図ることが可能な、ドア開け方法及び装置を提供すること。
【解決手段】双腕ロボットにおいては、２つのアームがＳ１軸及びＳ２軸の各々によって回動される。その結果、Ｓ１軸を用いた回動により、ドア開き動作（ステップＳＴ２）が実現される。そして、Ｓ１軸とＳ２軸とを用いた回動により、ボルト緩め動作を行うための、ドア９１のインナ側に入り込む移動（ステップＳＴ３）が実現される。この場合の移動は、ドア９１の方向を向くような移動である。その結果、ドア把持位置まで移動したとき（ステップＳ２６）、双腕ロボットは、ボルト緩め動作を行い易い姿勢となっている。 （もっと読む）

【課題】産業用ロボットに、３次元の作業に必要十分な構成を与えつつも、その操作について特にスクーリングを必要とせず誰でも視覚的・経験的にティーチング及び操作が可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボット１が、アーム２と、アームを支えることが可能な柱部材３と、柱部材の土台４とを備える産業用ロボットであって、アームは、柱部材に対して、アーム先端部２２からの長さを水平方向に手動で調節可能に取り付けられ、かつ上下（Ｚ軸）に自動でスライド可能であり、柱部材は、土台に対して鉛直線を軸として手動で回転可能に設けられており、かつ自動で水平方向にスライド可能に取り付けられ、ティーチング及び操作機器として、少なくとも１つの十字キー又はレバーと複数のボタンを有するゲームコントローラ６を備えていることからなる。 （もっと読む）

【課題】移動速度を上げなくても搬送時間を短縮することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送ロボット５０は、第１及び第２ハンド５２，５３を備えている。第１及び第２ハンド５２，５３は、基板６を夫々保持する２つのブレード５６を有している。また、搬送ロボット５０は、回動ユニット、第１進退ユニット、第２進退ユニット、昇降ユニットを有しており、これら４つのユニットにより第１及び第２ハンド５２，５３を基板６が載置されている基板搬送中継装置２５及び４つのプロセスチャンバ２３に夫々移動させることができるようになっている。 （もっと読む）

【課題】昇降駆動手段において必要となる昇降駆動力を低減することができる搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】本発明の搬送ロボットは、第１軸線周りに回転可能に構成された第１リンク部材と、第１軸線に対して所定距離に位置する第２軸線周りに回転可能に構成された第２リンク部材と、第２軸線に対して所定距離に位置する第３軸線周りに回転可能であり且つ物品を保持可能に構成された保持部材と、少なくとも保持部材を昇降駆動するための昇降駆動手段と、を備える。第１リンク部材、第２リンク部材、及び保持部材が、この順番で連結されてアームリンク機構を構成しており、昇降駆動手段が、第１リンク部材と保持部材との間に配置されてアームリンク機構の一部を構成している。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットにより基板を搬送する際に、ハンド上の基板の中心位置の検出精度を向上できるようにした基板位置検出方法を提供する。
【解決手段】ハンド７に、搬送経路上の所定位置に設定した検出点ＰＳに基板の周縁があるか否かを検出するセンサで検出可能な指標として、Ｒ方向に所定距離ＬＲ０離れた第１指標７３と第２指標７４とを設ける。第１指標７３が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置を基準位置として、基準位置から、第２指標７４が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置までの変位量ＬＲを算出し、この変位量ＬＲと指標７３，７４間の距離ＬＲ０との比を補正係数として算出する。そして、基板の周縁の各箇所が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置を、当該Ｒ方向位置と基準位置との偏差に補正係数を乗算して補正する。 （もっと読む）

【課題】水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能であっても小型化することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、搬送対象物が搭載されるハンド３と、ハンド３が連結されるアーム４と、アーム４を支持する支持部材６と、支持部材６を上下方向に移動可能に支持する柱状部材７とを備えている。柱状部材７は、支持部材６を保持する柱部１８と、柱部１８を保持する柱部１７とを備えている。柱部１７、１８は、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜している。柱部１８は、その傾斜方向への支持部材６の相対移動が可能となるように支持部材６を保持し、柱部１７は、その傾斜方向への柱部１８の相対移動が可能となるように柱部１８を保持している。 （もっと読む）

【課題】ハンドの先端と周辺機器とが衝突したときの衝撃が大きい場合であっても、ハンドの損傷を軽減することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】搬送対象物２を搬送する産業用ロボット１は、搬送対象物２が搭載されるハンド３と、産業用ロボット１の周辺機器にハンド３の先端が衝突したことを検知するための検知機構とを備えるとともに、ハンド３が所定方向を向いた状態で略直線状に移動するように構成されている。ハンド３は、ハンド３の先端部分を構成するとともに周辺機器にハンド３の先端が衝突したときにハンド３の基端側に向かって移動可能な衝撃吸収部材２０を備えている。 （もっと読む）

【課題】アームを支持する支持部材を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材を備えている場合であっても、比較的簡易な構成で、搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを適切に補正することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、搬送対象物が搭載されるハンド３と、ハンド３が連結されるアーム４と、アーム４を支持する支持部材６と、支持部材６を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材７と、基台８と、柱状部材７の下端を支持するとともに基台８に対して回動可能な旋回部材９と、基台８に対して柱状部材７を上下方向に直交する所定方向へ相対移動させる移動機構１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】俊敏な動作と高精度な位置制御を可能とする関節装置及び基板搬送装置を提供すること
【解決手段】本発明の関節装置は、第１の平行リンクと、第２の平行リンクと、伝達機構とを具備する。第１の平行リンクは、第１の支点を中心とする第１の回転が可能な第１のレバーと、第２の支点を中心とする第２の回転が可能な第２のレバーとを有する。第２の平行リンクは、第１の支点を中心とする第３の回転が可能な第３のレバーと、第２の支点を中心とする第４の回転が可能な第４のレバーとを有する。伝達機構は、第１の支点を中心として第１の回転と共に回転する第１のギアと、第２の支点を中心として第２の回転と共に回転する第２のギアと、第１のギア及び第２のギアに噛合して回転する第３のギアと、前記第３のギアの回転と第３の回転及び第４の回転とを同期させる連結部とを有し、第１の平行リンクの駆動と第２の平行リンクの駆動とを連動させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、クリーンルームで使用可能でタクトタイムを短縮できる産業用ロボットを提供することを目的とするものである。
【解決手段】ワークを載置するハンド８と、前記ハンド８を前記ワークの所定の位置から取り出しおよび供給するアーム２と、前記アーム２と上下移動機構１１が支持部材１０により連結され、前記上下移動機構１１の下部に台座１３が設けられ、前記台座１３が旋回する基台１４に振り子ストッパ１７が備えられたものである。 （もっと読む）

【課題】 ウエハを載置する位置やゲートの向きに係わらずウエハを略真直ぐ入れることができる搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送装置１は、旋回ベース１３と、２つのハンド機構１３,１４と、２つのハンド用駆動機構３０，４０とを有する。２つのハンド機構１３，１４は、旋回ベース１３に回動軸線Ｌ２，Ｌ３を中心に回動可能に夫々設けられ、ハンド駆動機構３０，４０により個別に回動動可能に構成されている。ハンド機構１３，１４は、アーム２０と、ハンド２１と、連動機構２６とを有している。アーム２１は、回動軸線Ｌ２，Ｌ３を中心に回動可能に前記旋回リンクに夫々設けられ、ハンド２０は、ハンド用軸線Ｌ４，Ｌ５を中心に回動可能に前記アーム２１に夫々設けられている。連動機構２６は、アーム２０に対する前記ハンド２１の減速比が１．５５でアーム２０と前記ハンド２１とを連動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】待機時のアーム等の落下を防止しつつ待機時の産業用ロボットの消費電力を低減することが可能で、かつ、産業用ロボットのスループットを向上させることが可能なロボット制御装置を提供する。
【解決手段】ロボット制御装置１５は、産業用ロボットを駆動するためのモータ１７と、モータ１７を制動するための制動手段１８と、モータ１７を駆動するモータ駆動手段２０と、モータ駆動手段２０に電力を供給する電力供給手段２１と、制動手段１８、モータ駆動手段２０および電力供給手段２１を制御する制御手段２２とを備えている。制御手段２２は、制動手段１８を作動させてモータ１７を停止させるとともに、制動手段１８の作動中に電力供給手段２１を制御してモータ駆動手段２０に電力を供給しながらモータ駆動手段２０を制御してモータ１７への電流の供給を停止する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板搬送装置の待機姿勢時における消費電力を、低減する方法を提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部１４と、前記ハンド部１４と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節を備え、前記ハンド部１４を一方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された水平アーム機構３０と、前記水平アーム機構３０を上下に移動するベース部材に備えられた少なくとも２組のリンク機構から構成され昇降機構２０と、から構成され、前記水平アーム機構３０の待機位置は、前記水平アーム機構３０が最下降位置に移動し、前記水平アーム機構は前記昇降機構２０の間に配置されたものである。 （もっと読む）

【課題】手首の位置を移動する際に７軸多関節ロボットの形態の急激な変化を抑制する。
【解決手段】７つの回転軸のうちのいずれか１つを冗長軸に、残りの回転軸のうちの３つを基軸に、かつ３つの基軸のうちのいずれか１つを変数軸に定め、かつ、基端から前記手首までの直線距離と基端に最も近い回転軸の延在方向における基端から手首までの距離とに基づく手首の位置と前記変数軸の関節角とに関して定式化された４次方程式を解いて手首の位置を３つの基軸の関節角に逆変換するステップを含み、電源オン時に、７軸多関節ロボットの初期形態に基づいて４つの第１求解演算式のうちいずれか１つを特定して記憶し、 電源オンの後、記憶した１つの第１求解演算式を用いて逆変換するステップを遂行して手首の目標位置から３つの基軸の関節角を算定し、それにより、７軸多関節ロボットの動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、２組のリンク機構から構成された、昇降機構において、リンクへの負荷を軽減する機構を提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部と、前記ハンド部と連結され少なくとも２つ以上の回転関節を備え前記ハンド部を一方向に移動するように伸縮し旋回軸方向に対向するように配置された２組の水平アームからなる水平アーム機構３０と、前記水平アーム機構３０の支持ベース８に連結され水平アーム機構３０を昇降する少なくとも２組のリンク機構から構成される昇降機構２０と、から構成され、前記支持ベース８と前記昇降機構２０の第３関節部８ｂとの間には水平アーム機構３０をＸ方向に移動自在に支持する直動機構が配置されたものである。 （もっと読む）