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Fターム[3C007CV02]の内容

Fターム[3C007CV02]に分類される特許

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【課題】動作時にアームが通過するための広い空間を必要とすることがなく、かつアームを高速で移動させることが可能なロボットを提供する。
【解決手段】ロボット10は、基端側に固定されたベース部11と、ベース部11に設けられた駆動部12と、ベース部11に連結され、駆動部12からの動力により軸線方向(Z方向)に沿って伸縮自在な伸縮アーム20とを備えている。伸縮アーム20の先端には、軸線方向(Z方向)に平行なエンドエフェクタ取付面13を有するスライダ14が設けられている。伸縮アーム20は、互いに連動して軸線方向(Z方向)に沿って進退するとともに軸線方向に垂直な方向(X方向)に互いに積層された複数の移動体40、60、80からなっている。スライダ14は、移動体80に対して、軸線方向(Z方向)に沿って相対移動する。 (もっと読む)


【課題】全体の大きさや重量を大きくすることなく可搬重量を増やす。
【解決手段】水平多段式伸縮装置3のベース11を、直動ガイド13の長さより短い寸法に形成し、且つこのベース11の下面に同じく直動ガイド13の長さより短い寸法の平行状態をなす一対のレール摺動体12L、12Rを設けている。又、直動ガイド13を2本のレール17L、17Rと二つの連結端板18A(ひとつのみ図示)とから構成している。さらに一対のレールレール17L、17Rを連結するについて各レールの端面で各連結端板18Aをねじ止めする構成とした。 (もっと読む)


【課題】マーキング装置およびマーキング方法において、識別マークを形成できる領域が狭いワークの場合であってもワークに効率よく識別マークを形成することができるようにする。
【解決手段】把持可能領域Hを有するワークWに識別マークMを形成するマーキング装置1であって、把持可能領域HにおいてワークWを把持する把持アーム部6と、把持アーム部6に設けられ、ワークWを把持するとともに、把持した位置に識別マークMの少なくとも一部を形成するマーキング把持部6bと、を備えるものを用いる。 (もっと読む)


【課題】チャンバ100の外側に無用なスペースを必要とすることなく、低価格で、チャンバ100に設けたウェーハWの搬出入口101を可及的に小さくでき、しかも正確なウェーハWの搬送が可能なウェーハ搬送装置300を提供する。
【解決手段】Xリンクユニット21で構成した伸縮手段2と、前記Xリンクユニット21を構成するリンク要素21a同士の回転軸22に係合して伸縮軸線Cに沿ってスライド可能に支持するガイド部材8と、前記伸縮手段2の先端部に取り付けられて前記載置板1を抜脱可能かつ回転不能に保持する保持手段4と、前記伸縮手段2によってウェーハW交換室から受渡位置に向かって移動する途中での載置板1の、若干の伸縮軸線Cからの位置ずれを是正しながら受渡位置に導く案内機構63とを設けた。 (もっと読む)


【課題】装置の近傍に基板を搬送したときに、基板の下方にスライダベースが存在しないようにすることができる基板搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板搬送装置1であって、本体部10に支持された第一スライダベース20と、第一スライダベース20の第一ガイドレール22に沿って移動自在な第二スライダベース30と、第二スライダベース30の第二ガイドレール32に沿って移動自在なハンド部材40と、第二スライダベース30に連動してハンド部材40を移動させる連動機構50とを備え、連動機構50は、第二スライダベース20に連動して回転する第一連動ギヤ51と、第一連動ギヤ51に対してギヤ比が小さい第二連動ギヤ53とを備え、第二スライダベース20に第一連動ギヤ51及び第二連動ギヤ53が取り付けられ、第一連動ギヤ51に連動する第二連動ギヤ53によってハンド部材40が送り出される。 (もっと読む)


ロボットは、リソグラフィ装置の真空チャンバ内で対象物を位置決めする。ロボットの第1コンポーネントは、並進軸に沿って対象物を位置決めするために真空チャンバ内に配置される。シャフトは、シャフトの対称軸が並進軸に対して垂直になるように第1コンポーネントを支持し、第2コンポーネントは、対称軸の周りでシャフトを回転させ、かつシャフトを対称軸に対して平行方向に移動させる。第2コンポーネントは、シャフトの外周面に沿ってガスを導入するように構成されたガスベアリングと、第2コンポーネントガスベアリングによって導入されたガスを排気するように構成された排出シールとを含む。ロボットは、炭化水素分子のガス放出を約0〜200a.m.u.の範囲に実質的に減少または除去し、よってロボットは極端紫外線(EUV)フォトリソグラフィ用途での使用に適する。 (もっと読む)


【課題】 アームとハンドとを備えたマニピュレータにおいて、ハンドを操作するための操作レバーの操作の際に、アームを操作するための操作ハンドルに意図しない操作力が入力されることを抑制する。
【解決手段】パワーアシストアーム(マニピュレータ)は、操作者がハンドの動作を視認可能な範囲内またはハンドが把持対象物を把持するときの音を聞き取り可能な範囲内に設置された操作装置を備えている。操作装置は、棒状体9を有する操作ハンドル13と、6軸力覚センサ10と、操作レバー15とを備えている。操作レバー15は、上側押圧プレート97および下側押圧プレート93と、連結プレート96に貼り付けられた歪みゲージ16とを備えている。棒状体9には、下向きに延びる第1支持棒91と下向きに延びる第2支持棒92とが設けられている。操作レバー15および操作ハンドル13は、固定プレート95に固定されている。 (もっと読む)


【課題】十分な強度の付与と軽量化を両立させることが出来、然も過大な外力の作用によってアームが折れ曲がったときにも復旧が可能な伸縮式のマニピュレータ機構を提供する。
【解決手段】本発明に係るマニピュレータ機構は、アーム1と、アーム1の基端部が連結されてアーム1の巻き取り及び繰り出しを行なうアーム繰り出し装置2とを具え、アーム1は、弾性を有する複数本のテープ41を束ねてなるテープ集合体4と、テープ集合体4の長手方向に間隔をおいてテープ集合体4に装着されて、前記複数本のテープ41を互いに結束する複数の結束部材5とを具え、前記複数本のテープ41は、1本の連続する帯状弾性資材46を折り畳んで構成され、帯状弾性資材46の一方の端部がアーム繰り出し装置2に巻き取られている。 (もっと読む)


【課題】伸縮型移動体を構成する2つの移動部材が互いに連動して移動し、且つ一方の移動部材を他方の移動部材よりも長距離移動させるための機構を、大型化を避けながら、しかも、発塵を極力抑制できる形態にて実現する。
【解決手段】伸縮型移動体5を構成する第1の移動部材9および第2の移動部材10に夫々第1のラック19および第2のラック20を設け、昇降用モータ18の回転軸18aに設けられた小径側の第1のピニオン21を第1の移動部材9の第1のラック19に噛合させ、大径側の第2のピニオン22を第2の移動部材10の第2のラック20に噛合させたので、第1の移動部材9および第2の移動部材10を連動して、且つ第2の移動部材10が第1の移動部材9の2倍の距離移動するように構成する。 (もっと読む)


本発明によれば、ハンドリングロボットは垂直伸縮マスト(11)を含み、垂直伸縮マスト(11)は、垂直に固定されたベース(20)及び同期された動作の複数のセクション(21〜23)を備え、前記動作は速度及び加速度が制御され且つ重力伸長動作及び動力退避動作を含み、それぞれのセクションは個々に駆動され、最後のセクション(23)はパレットに載せられる製品(3)を把持するためのヘッド(13)を担う。該ロボットは、異なるセクション(21〜23)を動かすための共通の駆動シャフト(30)を含み、前記シャフト(30)は、それらがそれぞれ伝達部材を経由して操作するセクション(21〜23)の移動に適した直径を有するホイールを含む。ホイール(31、32)及びそれらのセクション(21、22)の間の伝達部材は、対応するホイール上に巻き付くベルトから構成される。把持ヘッドを担う最後のセクション(23)に関しては、伝達動作がチェーンにより実行される。ハウジング(46)は、各動作伝達チェーンの自由端を受容して、格納し、それぞれ曲がったらせん経路を規定するノッチを備えたブロックの形態で作られる。
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【課題】昇降用の駆動手段および回動動作用の駆動手段といったように、大きく重量大な駆動手段を2種類も備えなくて済み、小型で軽量に構成することができるワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】ワークとなるウィンドウ5を把持する把持具20と、把持具20を移動可能に支持する支持アーム10とを備え、把持具20にて把持したウィンドウ5を支持アーム10によりウィンドウ5が組み付けられるウィンドウ枠7a・枠7bまで搬送するとともに、ウィンドウ5の姿勢をウィンドウ枠7a・7bに応じた姿勢に変更するワーク搬送装置1であって、支持アーム10を、複数のリンク11・12・13・14が閉ループ状に接続される閉ループリンク機構に構成し、支持アーム10の把持具20に接続される一対のリンク13・14のうち、何れか一方のリンク13・14に対する把持具20の姿勢を固定可能に構成する。 (もっと読む)


【課題】アームを直動式の構成とし、その回転駆動部であるモータをダイレクトドライブ方式とし、さらにそのモータの回転位置検出器を1回転以内での位置検出が可能なものを使用できるようにする。
【解決手段】多段の直動式アームを伸縮動作させる大プーリ16について、第2アームを直線状に駆動する連結プレートが第1ベルトの直線状部分におけるストローク量を移動しても第1ベルトによって回転する量が1回転未満となる直径を備えるように構成する。 (もっと読む)


【課題】直動式アーム内にあるリニアスライダなどの機構からの発塵を抑制するとともに、真空中に置かれる基板搬送ロボットでも使用可能な防塵機構を提供すること
【解決手段】リニアスライダによって直動する直動式アーム3を備えて基板9を所望の位置に搬送する基板搬送ロボット1において、リニアスライダ18、23を摺動可能に保持するリニアレール7、8の近傍に、リニアスライダ18、23と微小な隙間を介して敷設され、ポリ塩化ビニール又はフッ素樹脂で製作された集塵カバ44をリニアレール7、8に沿って敷設した。リニアレール6上を摺動するリニアスライダ7直近に集塵カバ10を設置し、リニアレール6上のリニアスライダ7が摺動する際に飛散するパーティクル13を集塵カバ10のラビリンス形状部で収集し、アームカバ8の開口部からパーティクル13が流出することを防止し、ウエハ搬送フォーク3上のウエハ12にパーティクル13を付着させない処置をする。 (もっと読む)


【課題】熟練者に頼ることなく精度よく位置決めすることができ、作業効率を向上する。
【解決手段】ピペット24、34のZ軸テーブル28、38への装着、並びに、キャピラリ24A、34Aのピペット24、34への装着に際し、ピペット24、34には第1の突き当て部材35を設け、キャピラリ24A、34Aには第2の突き当て部材37を設けたため、手作業であっても、ある程度の位置決め精度を期待することができる。 (もっと読む)


【課題】構造の簡略化を図るとともに汎用性の高い作業補助装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る作業補助装置A1は、支持ベース1と、支持ベース1に対してZ軸方向に伸縮するZ軸駆動機構2と、Z軸駆動機構2に対して基端部が接続され、この基端部に対して先端部がX軸,Y軸方向に沿って揺動する揺動駆動機構3と、上記先端部に接続され、XYZ方向に操作可能な操作部材4と、操作部材4のXYZ方向の操作力を個別に検出する操作力検出手段5と、操作力検出手段5からの情報に基づきZ軸駆動機構2および揺動駆動機構3を操作部材4の操作方向への移動を支援するように制御する制御手段とを備える。また、揺動駆動機構3は、上記基端部に対して上記先端部がX軸に沿って揺動可能な第1のパンタグラフ機構と、上記基端部に対して上記先端部がY軸に沿って揺動可能な第2のパンタグラフ機構との複合パンタグラフ機構によって構成される。 (もっと読む)


【課題】基板の位置決めの際に、基板に生じる傷を軽減できる基板移載ロボットを提供すること。
【解決手段】基板が載置されるハンドユニットと、前記ハンドユニット上に載置された前記基板の位置決めを行なう位置決め手段と、を備えた基板移載ロボットにおいて、前記ハンドユニットが、ハンド本体部と、前記ハンド本体部から上方へ突出し、前記基板が載置される複数の載置部材と、を備え、各々の前記載置部材は、その上端において回転自在に支持されて自由回転する回転体を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 正確な直線移動行程を実現しつつ、構造の簡略化を図ることができる直線移動機構、およびこれを用いた搬送ロボット、さらには真空環境下での使用に適した当該搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 本発明に係る直線移動機構B1は、ガイド部材1と、このガイド部材1上に設定された水平直線状の移動行程GLに沿って移動可能な2つの移動部材と、駆動プーリ31b、およびこの駆動プーリ31bに掛け回されて移動行程GLの平行線に沿う所定の往復動区間3Aa,3Bbを往復動する出力ベルト33を含んで構成された駆動機構3A,3Bと、駆動プーリ31bを駆動するためのモータM3,M4とを備え、移動部材は、連結部材24a,24bによって駆動機構3A,3Bの出力ベルト33にそれぞれ連結されており、駆動機構3A,3BおよびモータM3,M4は、それぞれガイド部材1に支持されている。 (もっと読む)


【課題】ベースから移動体への配線のためのスペースを小さく済ませ、構成の簡単化を図る。
【解決手段】フレーム12内に、移動体15を左右方向に直線移動可能に支持する金属製の2本のスライドシャフト20,21を設け、移動体15に、それらスライドシャフト20,21の外周に摺動可能に嵌挿されるスライドブッシュ24,25を設ける。フレーム12に、駆動用モータ17、ボールねじシャフト13、ボールねじナット16等からなる駆動機構を設ける。スライドシャフト20,21の左端部に、電力用一次側巻線27,信号用一次側巻線28を巻装する。スライドブッシュ24,25に、電力用二次側巻線29,信号用二次側巻線30を設ける。一次側巻線27,28に交流電流を流し、電磁誘導作用により、二次側巻線29,30に電力,信号を伝達する。 (もっと読む)


【課題】主に上向きの作業を行い、前後左右方向に限られた空間に複数のロボットを稠密設置可能な、干渉域の少ない省スペースな、かつモータ・減速機への負荷を低減することができ、モータ・減速機容量を小さくすることが可能なアーム構造を有する産業ロボットを提供。
【解決手段】固定ベース1上に第1水平軸aの回りに回転自在に支持された第1垂直アーム2、第1垂直アーム2の先端に第1水平軸aと直交する第2水平軸bの回りに回転自在に支持された第2垂直アーム3、第2垂直アーム3上に支持された軸方向に直線移動可能な第3垂直アーム4及び第3垂直アーム4の上に支持された手首機構5を有する。 (もっと読む)


【課題】教示作業が容易であり、且つ実動作でのタクトタイムを短縮できるロボット装置を提供する。
【解決手段】ワークを保持するワーク保持部10を有して往復運動する第1アーム11、その第1アーム11を連結して第1アーム11と同じ方向に往復運動する第2アーム12とで少なくとも構成されたアーム部2、及び、第1アーム11の動作を第2アーム12に優先して制御して、アーム部2を始点座標P0から所定の座標位置Pまで移動させる制御装置を備えたロボット装置1により、上記課題を解決した。前記の制御装置は、ロボット座標系としてR軸を設け、始点座標P0から所定の座標位置Pまでの距離RをR=R1+R2(R1は第1アーム11の移動距離であり、R2は第2アーム12の移動距離である。)の順機構解を定義し、RからR1,R2への割付を逆機構解として定義することが好ましい。 (もっと読む)


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