説明

Fターム[3C007CW07]の内容

マニピュレータ、ロボット (46,145) | 第2の腕の動作形態 (416) | 第2の腕が回動するもの (374) | 水平面内のみ回動 (166)

Fターム[3C007CW07]に分類される特許

1 - 20 / 166


【課題】直動搬送機構を用いることなく省スペース化を図ること。
【解決手段】搬送ロボット10は、スイングアーム部11と、アームユニット12とを備える。スイングアーム部11は、基端部に設けられたスイング軸P1を中心として水平方向に揺動する。アームユニット12は、スイングアーム部11の先端部に設けられた鉛直な旋回軸P2を中心として回転する本体部121と、本体部121に連結され水平方向に伸縮する右伸縮アーム部122Rおよび左伸縮アーム部122Lと、右伸縮アーム部122Rおよび左伸縮アーム部122Lの先端にそれぞれ設けられたワーク保持部123R,123Lとを備える。 (もっと読む)


【課題】制振制御に用いられる角速度センサーの数を低減するとともに該角速度センサーに接続される電気配線に要求される耐久性を低くした水平多関節ロボット及び水平多関節ロボットの制御方法を提供する。
【解決手段】ロボットは、基台に連結される第1水平アームと、第1水平アームを介して前記基台に連結される第2水平アーム15と、各アームを回転させる第1及び第2モーター13,16と、各モーターの回転角度及び回転速度を算出するための第1及び第2エンコーダー13E,16Eとを有している。第1モーター制御部43は、角速度センサー30が検出したセンサー角速度ωA2から第1及び第2エンコーダー13E,16Eに基づく第1及び第2角速度ωA1m,ωA2mを減算し、演算結果である振動角速度ωA1sに基づく振動速度V1sと第1回転速度V1fbとの加算した速度計測値が速度指令Vcとなるように第1モーター13を制御する。 (もっと読む)


【課題】角速度センサーを用いて制振制御を行う水平多関節ロボットにおいて、該角速度センサーに接続される電気配線の耐久性を高めることの可能な水平多関節ロボットを提供する。
【解決手段】ロボット10は、第2水平アーム15に設置され基台11に対する第1水平アーム12の角速度を得るための角速度センサー30を備え、第1水平アーム12の角速度に基づく第1モーター13の駆動によって第1水平アーム12を制振する。ロボット10は、基台11と第2水平アーム15とに端部が連結されるとともに、第1水平アーム12の外側、且つ第2水平アーム15の外側に配設されて、基台11内と第2水平アーム15内とに通じる通路を有する配線ダクト33に、第2水平アーム15に内蔵された第2モーター16に接続される電気配線35と、角速度センサー30に接続される電気配線36とが引き回されている。 (もっと読む)


【課題】低床化を維持しつつ高速でのワーク搬送を行うのに適したワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】ワーク搬送装置Aは、固定ベース1と、固定ベース1に支持されて昇降する昇降ベース2と、昇降ベース2に対して垂直軸O1周りに回動可能に支持された第1アーム3と、第1アーム3の先端に対して垂直軸O2周りに回動可能に支持された第2アーム4と、第2アーム4の先端に対して垂直軸O3周りに回動可能に支持されたハンド5Aと、ハンド駆動機構6Aと、を備え、ハンド駆動機構6Aは、第1アーム3の内部に配置されたモータ61aと、第1ないし第2アーム3,4の内部に配置され、モータ61aの出力をハンド5Aに伝達する伝動機構62aと、を含む。モータ61aと伝動機構62aの一部とを第1アーム3の内部空間に配置することで、第2アーム4先端の伝動機構62aの高さおよび固定ベース1ないし昇降ベース2の高さが低くなる。 (もっと読む)


【課題】可動範囲が広く、位置決め精度やメンテナンス性に優れた搬送アーム装置を提供する。
【解決手段】基台2上に基部111を枢設された第1アーム11と、その先端部112に基部121を枢設された第2アーム12と、その先端部122に基部131を枢設されたハンド部13と、第1アーム回動手段6と、第2アーム回動手段7とを有し、基台2に対する第1アーム11および第2アーム12の角度をそれぞれ変化させることでハンド部13の基部131を所定の位置に移動させる搬送アーム装置1であって、第2アーム回動手段7が、基台2上に枢設され第1アーム11と同一の回動中心114を有する回動部材14と、回動部材14と第2アーム12とを連結する連結手段20とを備えており、基台2に対して回動部材14および第2アーム12が同一方向に同一角度連動して回動するように構成した。 (もっと読む)


【課題】基板の位置ずれを検出することが可能な基板搬送用ハンド、基板搬送用ロボットシステム、基板位置ずれ検出方法を提供する。また、基板位置補正方法を提供する。
【解決手段】基板搬送用ロボットシステム10は、基板Wの下面に接触する接触部PBL、PFL、PBR、PFR及び接触部PBL、PFL、PBR、PFRに接触した基板Wの重心位置を検出するための複数のセンサSBL、SFL、SBR、SFRが設けられた基板搬送用ハンド60を有する基板搬送用ロボット20と、1)基板搬送用ハンド60上の基準となる位置にて基板Wが支持された際の各センサSBL、SFL、SBR、SFRの検出値である基準値と現在の各センサSBL、SFL、SBR、SFRの検出値との差分をそれぞれ演算する差分演算部70及び2)各差分に基づいて基板Wの位置ずれ方向を判断する第1の判断部72を有する第1の制御装置30とを備える。 (もっと読む)


【課題】昇降駆動手段において必要となる昇降駆動力を低減することができる搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】本発明の搬送ロボットは、第1軸線周りに回転可能に構成された第1リンク部材と、第1軸線に対して所定距離に位置する第2軸線周りに回転可能に構成された第2リンク部材と、第2軸線に対して所定距離に位置する第3軸線周りに回転可能であり且つ物品を保持可能に構成された保持部材と、少なくとも保持部材を昇降駆動するための昇降駆動手段と、を備える。第1リンク部材、第2リンク部材、及び保持部材が、この順番で連結されてアームリンク機構を構成しており、昇降駆動手段が、第1リンク部材と保持部材との間に配置されてアームリンク機構の一部を構成している。 (もっと読む)


【課題】水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能であっても小型化することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット1は、搬送対象物が搭載されるハンド3と、ハンド3が連結されるアーム4と、アーム4を支持する支持部材6と、支持部材6を上下方向に移動可能に支持する柱状部材7とを備えている。柱状部材7は、支持部材6を保持する柱部18と、柱部18を保持する柱部17とを備えている。柱部17、18は、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜している。柱部18は、その傾斜方向への支持部材6の相対移動が可能となるように支持部材6を保持し、柱部17は、その傾斜方向への柱部18の相対移動が可能となるように柱部18を保持している。 (もっと読む)


【課題】独立して2組の多関節アームの高さを変化可能なダブルアーム型ロボットを提供する。
【解決手段】第1及び第2の多関節アーム12、第1の多関節アーム11の一端が回動可能に連結される第1のアーム支持部16と、第2の多関節アーム12の一端が回動可能に連結される第2のアーム支持部17と、第1及び第2のアーム支持部17の第1及び第2の多関節アーム12と反対側の一端を鉛直方向に移動可能に保持しており、基台15に固定される基柱14と、第1及び第2の多関節アーム11,12をそれぞれ回動させる第1及び第2のアーム駆動部と、第1及び第2の多関節アーム11,12のハンド部23,33をそれぞれ回動させる第1及び第2の関節回動部と、第1及び第2のアーム支持部16,17を基柱14に対してそれぞれ独立して移動させる第1及び第2の上下駆動部とを備える。 (もっと読む)


【課題】アームの上下のデッドスペースを低減したスカラロボットを得ること。
【解決手段】ベース10と、第1関節軸を介して水平面内で回動可能にベース10に連結された第1アーム1と、第2関節軸を介して水平面内で回動可能に第1アーム1に連結された第2アーム2と、第2アーム2の先端部に上下動するように設置された先端軸4とを備えたスカラロボットであって、ケーブル15を収容してベース10と第1アーム1との間に架け渡された第1ケーブルダクト11及びケーブル15を収容して第1アーム1と第2アーム2との間に架け渡された第2ケーブルダクト12を備え、第1、第2ケーブルダクト11、12の一端は第1、第2関節軸上に位置しており、第1及び第2ケーブルダクト11、12は、上下方向に関して先端軸4の可動域上下動の範囲内に収まるように設置された。 (もっと読む)


【課題】トランスファーチャンバ内の汚染を抑制することができるロボットアームを提供する。
【解決手段】ロボットアーム100は、半導体ウエハを搬送するロボットアームであり、ハンド2と前腕リンク10と上腕リンク14を備えている。ハンド2は、第1関節20を介して前腕リンク10に連結している。上腕リンク14は、第2関節11を介して前腕リンク10に連結している。ロボットアーム100では、前腕リンク10が、第1関節20と第2関節11の間で分割可能に構成されている。 (もっと読む)


【課題】回動するアームの先端部にハンドリング装置を備える作業ロボットにおいて、ハンドリング装置における有効作業エリアと可動エリアの同一化を図ることで、作業ロボットの設置スペースの狭小化を実現するとともに、特に、連続的に搬送されるワークについて作業を行う場合において、工程設計の自由度の高い新規な構成を提案する。
【解決手段】水平面内において互いに直行するX軸方向、Y軸方向に移動可能に設けられる第一アーム3と、第一アーム3に対し水平面内においてθ軸方向に回動可能に設けられる第二アーム4と、を有し、前記第二アーム4の先端部にハンドリング装置5が設けられ得る、作業ロボット1とする。 (もっと読む)


【課題】小型化が可能でかつパスラインを低くすることが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット1は、本体部3と、第1アーム4と、第2アーム5と、第3アーム6と、本体部3と第1アーム4とを繋ぐ第1減速機21と、第1アーム4と第2アーム5とを繋ぐ第2減速機22と、第1減速機21の入力軸25と第2減速機22の入力軸32とを連結する連結機構23と、第3アーム6を回転駆動する第2駆動用モータ40とを備えている。産業用ロボット1では、第2アーム5と第3アーム6とを繋ぐ第3関節部の移動軌跡が直線状となるように、第1減速機21の減速比および第2減速機22の減速比が設定されるとともに、連結機構23が所定の速比で入力軸25と入力軸32とを連結している。また、第2駆動用モータ40は、第2アーム5の、第3関節部よりも先端側に、かつ、第1アーム4側へ突出するように第2アーム5に取り付けられている。 (もっと読む)


【課題】アームの駆動性を向上させて位置決めを向上させながらも、水平多関節ロボットのアームを薄型・小型化できるようにする。
【解決手段】第1アーム3が、第1アーム3の先端部上面において第1アーム3の基端側上面よりも高い面を有する第1アーム凸部43を有し、第2アーム27が、第2アーム27の先端部下面において第2アーム27の基端側下面よりも低い面を有する第2アーム凸部44を有し、第1アーム凸部43と第2アーム凸部44とが、上下方向の配置高さ範囲の少なくとも一部が互いに重なるように配置されるように構成した。 (もっと読む)


【課題】ウェハー搬送工程において、クリーン雰囲気維持、スループット低下、及びコスト増の問題を解決して、半導体製造におけるスループット向上、及び不良率低下とコスト削減出来るロボットを提供する。
【解決手段】四つのアーム構造体ロボットにより、アームによる走行方向動作を可能にする事で、走行におけるクリーン気流の乱れを最小限に抑えると共に走行レールを工程から省く事で簡素化を実現した。また、運動速度の高速化も可能にした。 (もっと読む)


【課題】俊敏な動作と高精度な位置制御を可能とする関節装置及び基板搬送装置を提供すること
【解決手段】本発明の関節装置は、第1の平行リンクと、第2の平行リンクと、伝達機構とを具備する。第1の平行リンクは、第1の支点を中心とする第1の回転が可能な第1のレバーと、第2の支点を中心とする第2の回転が可能な第2のレバーとを有する。第2の平行リンクは、第1の支点を中心とする第3の回転が可能な第3のレバーと、第2の支点を中心とする第4の回転が可能な第4のレバーとを有する。伝達機構は、第1の支点を中心として第1の回転と共に回転する第1のギアと、第2の支点を中心として第2の回転と共に回転する第2のギアと、第1のギア及び第2のギアに噛合して回転する第3のギアと、前記第3のギアの回転と第3の回転及び第4の回転とを同期させる連結部とを有し、第1の平行リンクの駆動と第2の平行リンクの駆動とを連動させる。 (もっと読む)


【課題】 ウエハを載置する位置やゲートの向きに係わらずウエハを略真直ぐ入れることができる搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送装置1は、旋回ベース13と、2つのハンド機構13,14と、2つのハンド用駆動機構30,40とを有する。2つのハンド機構13,14は、旋回ベース13に回動軸線L2,L3を中心に回動可能に夫々設けられ、ハンド駆動機構30,40により個別に回動動可能に構成されている。ハンド機構13,14は、アーム20と、ハンド21と、連動機構26とを有している。アーム21は、回動軸線L2,L3を中心に回動可能に前記旋回リンクに夫々設けられ、ハンド20は、ハンド用軸線L4,L5を中心に回動可能に前記アーム21に夫々設けられている。連動機構26は、アーム20に対する前記ハンド21の減速比が1.55でアーム20と前記ハンド21とを連動させるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】生産性の低下や露光処理等への悪影響を抑制する。
【解決手段】一対の接続部材AM11、AM12を所定の軸周りに回転自在に接続する関節部JT12を有する。関節部は、一対の接続部材を非接触で、所定の軸周り方向に相対的に回転自在、且つ所定の軸と直交する方向への相対移動を拘束するベアリング装置BR12を有する。 (もっと読む)


【課題】被搬送物の振動を抑制するとともに、軽量かつ保守が容易で高い防塵性及び高い防滴性を有するロボット及びロボット用のアタッチメントを提供する。
【解決手段】第2のアーム15の回動中心軸と平行に設けられた主軸16と、主軸16の上端部に連結した上側連結部材21と、主軸16の下端部に連結した下側連結部材22と、上側連結部材21と下側連結部材22とを連結した2本の補助軸23と、第2のアーム15に固着され、2本の補助軸23と係合する嵌合溝を有する補助軸係合部材とを備え、2本の補助軸23は、第2のアーム15の外郭面から外側に離れた位置に配置され、主軸16の軸方向から見て、2本の補助軸23は、主軸16と第2のアーム15の回動中心軸とを結ぶ線に対して、対称に配置されている。 (もっと読む)


【課題】2本のアームを個別に伸縮させることが可能であっても、2本のアームの伸縮動作や本体部に対する回動動作を安定させることが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】第1アーム5は、第1アーム部11と、第1アーム部11に保持される第2アーム部12とを備え、第2アーム6は、第3アーム部13と、第3アーム部13に保持される第4アーム部14とを備えている。ロボット1では、第1アーム5と第2アーム6とを個別に伸縮させることが可能となっている。また、ロボット1では、第1アーム部11の回動中心と第3アーム部13の回動中心とは同軸上に配置されるとともに、第1アーム5と第2アーム6とは、第1アーム5および第2アーム6が縮んでいる状態で仮想線Lに対して略線対称になるように構成され、第1アーム部11と第3アーム部13と第2アーム部12と第4アーム部14とは、上下方向においてこの順番で配置されている。 (もっと読む)


1 - 20 / 166