【課題】電子部品を載置するトレイなどの高さを適宜自動的に測定することのできる電子部品把持装置及び電子部品検査装置を提供する。
【解決手段】供給側ロボットハンドユニット２０は、電荷を拡散させる材料からなるトレイに載置されたＩＣチップを把持部３２を当接させて把持する当接装置２０Ａと、当接装置２０Ａをトレイに対して上下方向に駆動制御する制御手段とを備える。把持部３２は当接装置２０Ａにて独立した導電性を有するとともに、電荷の拡散に基づいて電荷を拡散させる部材との当接を検出する当接検出装置４０が接続され、制御手段は、電荷を付与された把持部３２をトレイに下降させ、把持部３２のトレイへの当接を検出したとき、把持部３２の上下方向の位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】吸着対象体を確実に保持する機能を維持しつつコストの低減を実現し得る吸着台を提供する。
【解決手段】上面８１ａ側に吸気口８１ｈが形成された板状の基体部８１と、通気性を有して吸気口８１ｈを覆うように基体部８１の上面８１ａ側に配置されるシート体８２と、厚み方向に貫通する複数の通気孔８３ｃが形成されると共に一面８３ａが基体部８１の上面８１ａに対向するようにシート体８２を挟んで上面８１ａ側に配置される吸着板８３とを備え、吸着板８３を上面８１ａ側に配置した状態においてシート体８２を介して吸気口８１ｈと通気孔８３ｃとが連通し、吸気口８１ｈから吸気して吸着板８３の他面８３ｂに載置された基板４００を吸着して保持する。 （もっと読む）

【課題】連結パンタグラフ機構の最大長に合わせて設置していた固定的支持ガイドを省略し、コンパクトなサイズの配列ピッチ変換装置及び配列ピッチ変換方法を提供する。
【解決手段】菱形部材からなるパンタグラフ機構ＰＮＴを複数連結させてなる連結パンタグラフ機構１２ｂにおける各連結ヒンジ部１４に補強棒材を把持するグリッパ１７をそれぞれ取り付け、連結パンタグラフ機構１２ｂを伸縮させることにより、複数の補強棒材における配列ピッチを一括して変換する。連結パンタグラフ機構１２ｂを支持補強する支持部材としての連結パンタグラフ機構１１ａ・１２ａが連結方向に平行に設けられている。連結パンタグラフ機構１１ａ・１２ａは、連結パンタグラフ機構１２ｂの伸縮長さ内において連結パンタグラフ機構１２ｂの伸縮に合わせて一体に伸縮する。 （もっと読む）

【課題】三次元集積回路の段数に応じたチップサイズの変化やチップ中心位置のずれに対応することが可能な一括保持トレイを提供する。
【解決手段】一括保持トレイ４６を、第一の吸引経路５５を有する本体部４７と、本体部４７に着脱自在に装着されるアタッチメント４８と、から構成する。アタッチメント４８は、複数のチップ２０を吸着する複数の吸着部５０と、複数の吸着部５０から気体を吸引する第二の吸引経路４９と、を有する。アタッチメント４８を本体部４７に装着するとき、複数の吸着部５０で複数のチップ２０を吸着できるように本体部の４７第一の吸引経路５５がアタッチメント４８の第二の吸引経路４９に繋がる。複数のチップ２０を吸着するアタッチメント４８を本体部４７に対して交換可能にすることで、三次元集積回路の段数毎のチップサイズの変化やチップ中心間ピッチの変化に対応することができる。 （もっと読む）

【課題】大きさの異なる電子部品に、より対応することが可能なＩＣハンドラを提供する。
【解決手段】このＩＣハンドラ１は、電子部品を吸着する吸着ノズル８６８と、水平面内のＸ方向およびＹ方向に各々独立して移動することが可能な８つの移動ユニット８９とを備え、各々の移動ユニット８９毎に１つの吸着ノズル８６８を装着可能で、かつ、少なくとも２つの移動ユニット８９に対して１つの吸着ノズル８６８を装着可能なように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板とその保護シートの高速搬送を実現し、併せて、高精度で高品質の積載梱包を達成する。
【解決手段】ガラス基板梱包装置は、保護シート３上にガラス基板４が載置される載置ステーションと、保護シート３とガラス基板４とを交互に積載する積載ステーションと、保護シート３上に載置されたガラス基板４を保護シート３と共に保持し、積載ステーションに積載する積載手段としてのガラス基板積載装置とを備える。ここで、ガラス基板積載装置を構成するロボットアームは保護シート３およびガラス基板４を保持する保持部４３を有し、この保持部４３は、ガラス基板４を吸着する複数の吸着パッド４５と、載置された状態のガラス基板４からはみ出た保護シート３の辺縁部分のうち互いに対向する２つの辺縁部３ａ，３ｂを挟持する挟持部４６とを有する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトに構成することができると共に、ＩＣデバイスの保持状態を維持したまま、保持形態を非接触保持と吸着保持との間で円滑に切り替えることができる吸引保持ハンド等を提供すること。
【解決手段】ＩＣデバイス１を非接触保持する専用ベルヌーイチャック６２ａと、ＩＣデバイス１を非接触保持および吸着保持が選択的に為される兼用ベルヌーイチャック６２ｂと、専用ベルヌーイチャック６２ａおよび気体供給源１０１を接続した専用チューブ１１１ａと、兼用ベルヌーイチャック６２ｂおよび気体供給源１０１を接続した兼用チューブと、兼用ベルヌーイチャック６２ｂおよび真空吸引源１０２を接続した真空吸引流路と、第２気体供給流路に介設された分岐部開閉バルブ１２５と、真空吸引流路に介設された真空部開閉バルブ１２６と、両開閉手段１２５，１２６を制御する制御装置１０５と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】第１位置において、複数のワークの位置と姿勢がランダムである場合でも、複数のワークを同時または集中して搬送することができ、第２位置において、ワークの向きを整列させることができ、ワークに吸着しにくい箇所があっても、効率よくワークを移載することができるデパレタイズ装置および方法を提供する。
【解決手段】１又は２以上の第１位置２にランダムに位置する複数の同一ワーク１を１又は２以上の第２位置４に移載するデパレタイズ装置１０。第１位置において複数のワークを上方から撮像する撮像装置１２と、撮像した画像から各ワークの上面位置と向きを検出する画像処理装置１４と、ワークの上面を吊り上げ可能に吸着するロボットハンド２０を有する搬送ロボット１６と、搬送ロボットを制御する制御装置１８とを備える。ロボットハンド２０は、その下面に複数のワークを同時に吸着可能でありかつそれぞれ独立に吸着力を制御可能な複数の吸着部２１を有する。 （もっと読む）

【課題】 ロボットハンドの関節のような小型の関節部分が駆動する際の負荷の軽減を図ることができるロボットの関節部分におけるケーブルの配線構造を提供する。
【解決手段】 ロボットハンド１は、掌部材２を備えており、掌部材２には、屈曲関節３を介して指部材４が回動可能に取り付けられている。掌部材２における第２取付位置Ｐ２および指部材４における第１取付位置Ｐ１にはケーブル５が取り付けられている。ケーブル５は、第２取付位置Ｐ２において、左斜め上方向に向けて取り出されており、第１取付位置Ｐ１において、右斜め下方向に向けて取り出されている。また、ケーブル５は、指部材４が伸展状態にあるときには、２箇所の屈曲点をもって弛んで配線されている。 （もっと読む）

【課題】 移動状態から停止した時の慣性による振動を抑制することで、振動消失までの時間を短縮して生産設備の生産能率の向上に寄与することができる把持具を提供する。
【解決手段】 生産設備２で生産されたワークまたはインモールドワークをワーク把持位置からワーク解放位置に搬送する搬送手段３に設けられる把持具１であり、この把持具１は、搬送手段３側の基部１０と、この基部１０に延設され、かつ複数の把持ヘッド４を備えた把持部１１とからなり、把持部１１は、複数の枝１２〜１９を分岐延出した枝群２０によって構成し、基部１０から最も離れている各枝１２〜１９それぞれの先端部側の重量を小さく（軽く）する。 （もっと読む）

【課題】各寸胴型の把持対象物間の間隔を空けることなく箱詰めするのに適した把持装置を提供する。
【解決手段】把持装置は、開放状態において、ベースプレートの連通孔からシリンダ内にエアが送られると、ピストンが下降し、当該ピストンの下降に伴って、本体部の４隅相当部位に上下摺動自在に立設された各プッシュロッドも下降する。各プッシュロッドが下降すると、プッシュロッドのそれぞれの移動に伴う楔作用により、各係合部材はそれぞれの一部分が本体部の内方の空間に向かって突出するので、各係合部材の一部分が寸胴型のボトルのくびれ部に押し付けられて係合し、当該係合により、把持装置は、寸胴型のボトルを把持することができる把持状態を形成する。把持状態においてシリンダ内のエア圧を開放すると、ピストン及び各プッシュロッドが上昇し、把持装置は開放状態となる。 （もっと読む）

【課題】 基板をトレイに載せて搬送することなく、１台のロボットで複数枚の基板を同時に搬送することができる基板搬送システムを提供する。
【解決手段】 本発明の基板搬送システム１は、複数枚のウェーハＷを支持するトレイ２と、複数枚のウェーハＷが載置されるステージ３と、伸縮自在な多関節アーム４Ｂの先端に複数枚のウェーハＷを支持するハンド部４Ａが設けられ、トレイ２とステージ３との間で複数枚のウェーハＷを一括的に移載する基板搬送ロボット４とを備え、ハンド部４Ａ及びトレイ２はそれぞれ、互いに係合する櫛型形状を有しており、ステージ３には、ハンド部４Ａとの間で複数枚のウェーハＷを受け渡すための機構部（リフターピン）３２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 ＩＣデバイスを移送するＩＣ搬送装置に用いられ、ＩＣデバイスを吸着保持するコンタクタにおいて、ＩＣデバイスの搬送効率の向上を図り、かつ、ＩＣ搬送装置の製造コスト及びランニングコストの削減を図ることができるようにする。
【解決手段】 第１のエアライン３１を有する本体部３３と、一端が前記第１のエアライン３１に連通可能とされ、他端が外方に開放される第２のエアライン４１を有すると共に、これら第１及び第２のエアライン３１，４１を相互に連通又は遮断する位置の間で前記本体部３３に対して移動自在なシリンダ４３と、前記第１及び第２のエアライン３１，４１を相互に遮断する位置に向けて前記シリンダ４３を付勢する付勢手段４７と、前記第１及び第２のエアライン３１，４１を相互に連通する位置に前記シリンダ４３を保持する保持手段とを備えることを特徴とするコンタクタ７を提供する。 （もっと読む）

本発明は、製品積載用ロボットハンドに関する。本発明の製品積載用ロボットハンドは、複数の製品を一度に積載する。ロボットハンドは、水平に並んで離隔して配列された複数のグリッパーと、これら複数の各グリッパーの上部に結合されて各グリッパーを固定する複数の移動フレームと、これら複数の移動フレームを貫通して固定するガイドロッドと、複数の移動フレームの両側に設けられた一対のガイドウイングと、これら一対のガイドウイングを互いに連結させ、長さ調節可能なシリンダロッドとを具備する。 （もっと読む）

【課題】 静電チャックと基板との間にトレーを介在させることなく、静電チャックに複数枚の基板を設置できる静電チャックを提供する。
【解決手段】 本発明の静電チャック１０は、そのチャック台１３の上面に、複数のチャック領域１６を備えている。各チャック領域１６は、チャック台１３の上面に複数突出形成された島状部１７の各々の上面に形成されている。各島状部１７の内部には、基板吸着用の双極型の電極層と、基板冷却用ガスの流出孔１８がそれぞれ設けられている。この構成により、複数の基板が載置されたトレー上面にカバーを取り付けて基板をトレー４０に保持する作業が不要となるので、作業性および生産性が向上し、基板の冷却効率も高められる。 （もっと読む）

本発明のフークハンドリング装置は、ワークを載せるトレイを担持すると共に所定方向に往復動自在な可動テーブル（２１）、ワークに対して所定の処理を施す処理部（３０）を略中央に挟むようにしてトレイと処理部との間で往復動自在に配置され，かつ，ワークを搬送するべく水平方向及び鉛直方向に駆動される関節型アーム（４１０）及びその先端に設けら
れた複数の吸着ヘッド（４２０）をそれぞれ有する一対のハンドラ（４０，４０’）、一対のハンドラ及び可動テーブルを駆動制御する制御ユニット（７０）を備え、制御ユニットは、トレイから処理部への未処理ワークの搬入動作及び処理部からトレイへの処理済みワークの搬出動作の両動作を，一対のハンドラにそれぞれ行わせるように駆動制御する。これにより、装置が完全に停止するのを防止できる。
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