【課題】低床化を維持しつつ高速でのワーク搬送を行うのに適したワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】ワーク搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に支持されて昇降する昇降ベース２と、昇降ベース２に対して垂直軸Ｏ１周りに回動可能に支持された第１アーム３と、第１アーム３の先端に対して垂直軸Ｏ２周りに回動可能に支持された第２アーム４と、第２アーム４の先端に対して垂直軸Ｏ３周りに回動可能に支持されたハンド５Ａと、ハンド駆動機構６Ａと、を備え、ハンド駆動機構６Ａは、第１アーム３の内部に配置されたモータ６１ａと、第１ないし第２アーム３，４の内部に配置され、モータ６１ａの出力をハンド５Ａに伝達する伝動機構６２ａと、を含む。モータ６１ａと伝動機構６２ａの一部とを第１アーム３の内部空間に配置することで、第２アーム４先端の伝動機構６２ａの高さおよび固定ベース１ないし昇降ベース２の高さが低くなる。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドの摩耗を検出することが可能な吸着装置及びロボットシステムを提供する。
【解決手段】ロボットシステム１０は、搬送物Ｇを吸着する吸着パッド７６及び吸着パッド７６の吸着圧力を検出する圧力センサ６６ａ〜６６ｄが設けられたエンドエフェクタ４８ａ、４８ｂを有するロボット２０と、吸着パッド７６が搬送物Ｇを吸着してから吸着パッド７６の吸着圧力が安定するまでの間に圧力センサ６６ａ〜６６ｄが検出した吸着圧力の過渡データＤに基づいて、吸着パッド７６の摩耗を判断する判断部８６を有する制御装置３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】移動速度を上げなくても搬送時間を短縮することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送ロボット５０は、第１及び第２ハンド５２，５３を備えている。第１及び第２ハンド５２，５３は、基板６を夫々保持する２つのブレード５６を有している。また、搬送ロボット５０は、回動ユニット、第１進退ユニット、第２進退ユニット、昇降ユニットを有しており、これら４つのユニットにより第１及び第２ハンド５２，５３を基板６が載置されている基板搬送中継装置２５及び４つのプロセスチャンバ２３に夫々移動させることができるようになっている。 （もっと読む）

【課題】搬送物の状態に応じて使い分けることができるエンドエフェクタを、簡単な構造によって達成すること。
【解決手段】本発明のエンドエフェクタにおいて、アームの先端部に装着されるハンド基部と、ハンド基部に回転可能に設けられた複数の基板保持部材と、複数の基板保持部材を各回転軸線周りに回転させる回転駆動手段と、を備える。複数の基板保持部材のそれぞれは、回転軸線に沿って延在する細長部材を有し、回転軸線周りに細長部材を回転させることによって、細長部材の側面全体のうちの基板を保持する部分が変わるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れ、切断時の加工物の落下を防止することが可能な取り外し工具を提供する。
【解決手段】 材料の上部に接続部で接続され、表面から垂直方向に貫通孔を有する中央部、中央部から一端に向かって延伸し、垂直方向において第１空隙を挟んで互に対向する第１及び第２アーム、中央部から他端に向かって延伸し、垂直方向に直交する面内で互に対向し、第２及び第３空隙を挟んでそれぞれ材料と対向する第１及び第２レグを備える加工物を材料から取り外す取り外し工具であって、基体１０の一主面に軸部１２が配置され、他の主面に、軸部１２の中心軸上に延伸する第１ピン２、第１ピン２の周囲に配置された第１〜第３フック３、５、７及び第２ピン９が配置される。第１ピン２を貫通孔に挿入して軸部１２を回転させることにより、第１〜第３フック３、５、７をそれぞれ第１〜第３空隙に位置させると共に、第２ピン９を加工物の一側面に接触させる。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットにより基板を搬送する際に、ハンド上の基板の中心位置の検出精度を向上できるようにした基板位置検出方法を提供する。
【解決手段】ハンド７に、搬送経路上の所定位置に設定した検出点ＰＳに基板の周縁があるか否かを検出するセンサで検出可能な指標として、Ｒ方向に所定距離ＬＲ０離れた第１指標７３と第２指標７４とを設ける。第１指標７３が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置を基準位置として、基準位置から、第２指標７４が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置までの変位量ＬＲを算出し、この変位量ＬＲと指標７３，７４間の距離ＬＲ０との比を補正係数として算出する。そして、基板の周縁の各箇所が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置を、当該Ｒ方向位置と基準位置との偏差に補正係数を乗算して補正する。 （もっと読む）

【課題】 保持部材の姿勢に異常があるか否かを確実かつ容易に検出すること。
【解決手段】 保持部材であるフォーク３Ａを前進させたときに、当該フォーク３Ａがその前を通過するように、フォーク３Ａの進行方向に対して側方にラインセンサ４を設ける。そして、フォーク３Ａをラインセンサ４に対して進退させたときに、当該フォーク３Ａの上下方向の位置と、フォーク３Ａの進退方向の位置とを対応付けたデータを取得する。この取得されたデータに基づいて前記進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいて保持部材の姿勢の異常の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】自重で撓んだ状態の基板を破損させずに基板収容容器から取り出すことができる基板搬送アームを提供する。
【解決手段】基板搬送アーム１は、基板収容容器内に水平に置かれた基板の下側に挿入されて、この基板の裏面を支持しつつ基板を前記収容容器から搬出する。基板搬送アーム１は、基板が搬出されるときに基板の裏面を支持する載置面１２ｓを有する載置部と、当該基板搬送アーム１が基板の下側に挿入されるときに、基板の裏面を少なくとも載置面１２ｓの高さにまで押し上げる押上部１２ｒとを備える。 （もっと読む）

【課題】シンプルな構造で複数の種類のワークを搬送することができる搬送ロボットを提供する。
【解決手段】三次元に移動可能な移動部１１を備えた搬送ロボット１である。移動部１１は、第１ワーク８を把持するための第１把持部３と第２ツール４を接続するための第１接続部２３とを設けた第１ツールを有しする。第２ツール４は、第１接続部２３に着脱可能に係合する第２接続部４３を有すると共に、第２ワーク９を把持するための第２把持部５を有する。第１接続部２３と第２接続部４３は鉛直方向に互いに嵌合することにより水平方向の位置決めを行う位置決め部２４、４４を有している。 （もっと読む）

【課題】ハンドの先端と周辺機器とが衝突したときの衝撃が大きい場合であっても、ハンドの損傷を軽減することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】搬送対象物２を搬送する産業用ロボット１は、搬送対象物２が搭載されるハンド３と、産業用ロボット１の周辺機器にハンド３の先端が衝突したことを検知するための検知機構とを備えるとともに、ハンド３が所定方向を向いた状態で略直線状に移動するように構成されている。ハンド３は、ハンド３の先端部分を構成するとともに周辺機器にハンド３の先端が衝突したときにハンド３の基端側に向かって移動可能な衝撃吸収部材２０を備えている。 （もっと読む）

【課題】粒状物を充填した不定形袋のパレタイジングにおいて、高い積載効率を確保するとともに荷崩れを起こしにくい積付け山を形成できるようにする。
【解決手段】パレタイジング装置のロボットアーム先端側に取り付けられて不定形袋５０をワーク支持手段１２で支持しながら積載スペース内に積付けてパレタイジングを行うロボットハンド１０であって、そのワーク支持手段１２は横向きにした不定形袋５０を下から支えて持ち上げるための複数本のフォーク１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄをロボットハンド前面下端側から前方に突出した状態で横方向に並列して有しており、両端のフォーク１２ａ，１２ｄの間で少なくとも１本以上のフォーク１２ｂ，１２ｃが上面を両端のフォーク１２ａ，１２ｄ上面よりも高い位置で設けられて正面視山形のフォーク配置とされており、不定形袋５０を中央部が弧状に持ち上がった状態で支持しながら積付けを行うものとした。 （もっと読む）

【課題】平板状の基板を着脱自在に搬送するロボットハンドに使用する基板載置用パッドおよびそれを用いたパッド機構に関し、基板の保持力を高めると共に、耐久性が高く長寿命の新しい基板載置用パッドを提供すること。
【解決手段】弾力性のある外郭層２の内部に閉じた空間３を有することを特徴とする基板載置用パッド１であって、特に、外郭層の基板に接する側の面４が外側に凸な曲面を有し、平坦な基板が載置された際に、基板の荷重により基板との接触面積が増加する。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットを用いて、カセットに収容された液晶基板等の板状の基板を搬出する際に、基板検出センサを用いて基板の位置を検出していた。従来は、基板がカセットの手前側（入り口側）に寄せられてカセット内部に収容されていたが、基板がカセットの奥側に寄せられる場合があり、従来の搬送ロボットでは対応できない。
【解決手段】本発明の搬送ロボットは、ハンド４の先端付近に取り付けられた基板の有無を検出する基板検出センサ５と、ハンドの位置を移動させる移動機構１１（アーム機構２等）と、ハンドの位置及び移動速度を制御する動作制御部１２と、基板のエッジ位置を演算する基板エッジ位置解析部１３とを備えた。上記構成にすると、基板がカセットの奥側に寄せられて収容された場合であっても、基板の位置を検出できる。 （もっと読む）

【課題】フレームに対する加工を増やすことなく、フレームに対するフォークの本数や位置を変更することができる基板搬送用ハンドを提供すること
【解決手段】基板１１６を載置するフォーク１１２と、フォーク１１２の基端を固定するフレーム１１１と、を備え、フォーク１１２が、フレームに対してスライド可能に固定されるようにした。 （もっと読む）

【課題】ウェハのデバイスが形成された面または形成される面に吸着痕や損傷を生じさせることなくウェハを搬送することができるウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法を提供すること。
【解決手段】搬送ハンド３０の内部には、段差部２４に設けられた吸着孔３２と、複数の通気用の孔３１，３３とが設けられている。段差部２４は、リブウェハ１０のデバイス面２と重ならない位置に設けられている。第１通気用の孔３１は、吸着孔３２に接続されている。各第１通気用の孔３１同士は互いに独立している。各第１通気用の孔３１には、異なる第２通気用の孔３３が接続されている。各第２通気用の孔３３は、それぞれ異なる配管２５を介して真空発生源２６に連結されている。つまり、複数の吸着孔３２に対する真空系統が互いに独立して設けられている。リブウェハ１０の吸着状態は、搬送ハンド３０の内部に流れる空気の流速に基づいて判定される。 （もっと読む）

【課題】 曲げ剛性を確保しつつ制振性を向上させることができるロボットハンドを提供する。
【解決手段】 ロボットに組み込まれる際に保持される保持予定部Ｂを有するロボットハンド１は、互いに積層されたＣＦＲＰ層２，３とＣＦＲＰ層２とＣＦＲＰ層３との間に配置された制振弾性層４とを備える。制振弾性層４は、粘弾性樹脂からなる粘弾性樹脂領域４１と高剛性樹脂からなる高剛性樹脂領域４２とを有する。粘弾性樹脂領域４１と高剛性樹脂領域４２とは、保持予定部Ｂにおいて、ＣＦＲＰ層２の長手方向に交差する方向に沿って交互に配列されている。ロボットハンド１においては、粘弾性樹脂領域４１により制振性が向上される。また、保持予定部Ｂにおいて、粘弾性樹脂領域４１と高剛性樹脂領域４２とが、ＣＦＲＰ層２の長手方向に交差する方向に沿って交互に配列されているので、ＣＦＲＰ層２の長手方向に交差する方向に沿っての曲げ剛性が確保される。 （もっと読む）

【課題】 曲げ剛性を確保しつつ制振性を向上させることができるロボットハンドを提供する。
【解決手段】 ロボットハンド１は、互いに積層されたＣＦＲＰ層２，３と、ＣＦＲＰ層２とＣＦＲＰ層３との間に配置された制振弾性層４と、を備えている。制振弾性層４は、粘弾性樹脂と粘弾性樹脂に混練された繊維状物質とを含む材料からなる粘弾性樹脂領域４１を有する。繊維状物質は、粘弾性樹脂の剛性よりも高い剛性を有する。このロボットハンド１によれば、ＣＦＲＰ層２とＣＦＲＰ層３との間に、剛性が比較的高い繊維状物質が混練された粘弾性樹脂を含む材料からなる粘弾性樹脂領域４１を有する制振弾性層４が配置されているので、曲げ剛性を確保しつつ制振性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板載置部から基板を受け取ったときに基板の姿勢が異常な状態であるか否かを確実に検出すること。
【解決手段】前記フォーク３Ａを基体３１に沿って前進させ、ウエハＷを保持する突き上げピン７３に対して上昇させることにより、当該突き上げピン７３上のウエハＷをフォーク３Ａに受け取る。このときに前記保持爪３０Ａ〜３０Ｄの各々に設けられた歪みセンサ４Ａ〜４Ｄにより、保持爪３０Ａ〜３０Ｄに上から荷重が加わったときの当該保持爪３０Ａ〜３０Ｄの歪み量を検出する。各々の歪みセンサの歪み量に基づいて、ウエハＷの姿勢が正常であるか否かを判断し、ウエハＷの姿勢が異常であると判断したときに、前記フォーク３Ａの後退を禁止する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の移送時に、基板表面を損傷することなく安全に移送するための基板移送ロボットを提供すること。
【解決手段】基板（１１）を移送するためのロボットアーム（１０）と、当該ロボットアーム（１０）から前記基板（１１）を浮上させる浮上部（２０）と、当該ロボットアーム（１０）に装着されて前記基板（１１）の重量を支持する基板支持部（３０）とを含み、ガラス基板の移送時に、基板表面を損傷することなく安全に移送するための基板移送ロボットが提供される。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの搬送ハンドを小型、軽量化し、さらに１つのハンドで異なるウェーハ口径でも、ウェーハの撓みや位置ずれを生じさせない最適な吸着位置を選択してウェーハを保持し、ウェーハを目的位置に搬送することができるハンドを提供する。
【解決手段】ウェーハを搬送するウェーハ搬送ロボットのアームに取り付けられ、ウェーハを吸着保持するための真空吸着穴が設けられたフォークを備えるウェーハ搬送ロボット用のハンドにおいて、フォークは、フォーク長手方向を回転軸として自転可能に設けられ、上面がウェーハを保持する保持面を構成し、各保持面には少なくとも１つの真空吸着穴が互いに異なる位置に設けられている構成とした。 （もっと読む）