【課題】樹脂成形品の把持装置において、樹脂製形品の把持不良を抑止し、かつ吸着部品による擦り傷等の発生を抑止すると共に、三次元的に複雑な表面形状の多種類の樹脂成形品にも対応可能とし、かつ当該装置の小型化及びコストダウンを図る。
【解決手段】当該装置の長さ方向に移動可能な垂直ロッド１７の一端側の支持部材１８は、係止部材３５により垂直ロッド１７に固定可能であり、他端側の支持部材１８はシリンダ１９により昇降自在であり、中央バキュームハウジング３２及び外側バキュームハウジング１２の表面には可撓性の当接部材３２がそれぞれ配設され、かつ内部にはマニホールドがそれぞれ形成され、各バキュームハウジング１２，３１の当接部材３２には、各マニホールドに連通すると共に樹脂成形品Ｗの表面に向けて開口する複数の開口３２ａがそれぞれ開設される。 （もっと読む）

【課題】搬送物の状態に応じて使い分けることができるエンドエフェクタを、簡単な構造によって達成すること。
【解決手段】本発明のエンドエフェクタにおいて、アームの先端部に装着されるハンド基部と、ハンド基部に回転可能に設けられた複数の基板保持部材と、複数の基板保持部材を各回転軸線周りに回転させる回転駆動手段と、を備える。複数の基板保持部材のそれぞれは、回転軸線に沿って延在する細長部材を有し、回転軸線周りに細長部材を回転させることによって、細長部材の側面全体のうちの基板を保持する部分が変わるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れ、切断時の加工物の落下を防止することが可能な取り外し工具を提供する。
【解決手段】 材料の上部に接続部で接続され、表面から垂直方向に貫通孔を有する中央部、中央部から一端に向かって延伸し、垂直方向において第１空隙を挟んで互に対向する第１及び第２アーム、中央部から他端に向かって延伸し、垂直方向に直交する面内で互に対向し、第２及び第３空隙を挟んでそれぞれ材料と対向する第１及び第２レグを備える加工物を材料から取り外す取り外し工具であって、基体１０の一主面に軸部１２が配置され、他の主面に、軸部１２の中心軸上に延伸する第１ピン２、第１ピン２の周囲に配置された第１〜第３フック３、５、７及び第２ピン９が配置される。第１ピン２を貫通孔に挿入して軸部１２を回転させることにより、第１〜第３フック３、５、７をそれぞれ第１〜第３空隙に位置させると共に、第２ピン９を加工物の一側面に接触させる。 （もっと読む）

【課題】平面視長方形である複数の移載物を同一平面に並べた積載位置から搬出位置へ前記移載物を移し替えるデパレタイズロボットのロボットハンドを提供する。
【解決手段】移載物３の厚みより長い抱え込み爪22,22を、移載物３の一辺より長い間隔で前後一対配し、各抱え込み爪22の下端部に抱え込みロッド23を架け渡して抱え込み枠21を構成し、互いの抱え込みロッド23を平行にし、鉛直線に対して左右対称に対向させた左右一対の抱え込み枠21,21それぞれを、各抱え込み爪22の上端部に設けた揺動軸226を本体部24に軸着して前記本体部24に支持させ、前記抱え込みロッド23,23が平行を保ったまま各抱え込み枠21を揺動させるエアシリンダ26を本体部24に設けたデパレタイズロボット１のロボットハンド２である。 （もっと読む）

【課題】ワークが不意に離脱するのを規制しつつ、長寿命化および作業の迅速化を図ること。
【解決手段】第１チューブ体２および第２チューブ体３と、各チューブ体２、３の両端がそれぞれ全周にわたって固定され、該チューブ体２、３との間に流体が給排される空間Ａが形成された固定部材５と、該固定部材５に連結された弾性変位可能な可動部材６と、を備え、第１チューブ体２は、膨張変形したときに可動部材６を押圧して弾性変位させ、第２チューブ体３は、当該つかみ装置１とワークＷとを軸線Ｏ方向に沿って相対的に接近移動させることでワークＷに内挿または外挿され、可動部材６には、第２チューブ体３がワークＷに内挿または外挿されるときに、弾性変位した可動部材６が復元変位することでワークＷの被係合部Ｗ１に係合し、ワークＷに対する第２チューブ体３の内挿または外挿が解除されるのを規制する係合部１６が設けられているつかみ装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ワークの状態に関係なく密集した複数のワークの中から任意のワークを簡単に取り出すことができるワーク取り出し方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るワーク取り出し方法によれば、検出されたワークＷの位置及び姿勢に基づき任意のワークＷが第１方向Ｄ１に押し動かされる。こうしてワークＷ上に第１チャック１５ａで把持可能な第１把持領域Ａ１が確保される。その結果、第１チャック１５ａはワークＷの第１把持領域Ａ１を確実に把持することができる。その後、ワークＷの一端が持ち上げられて、第２チャック１５ｂが把持可能な第２把持領域Ａ２が確保される。その結果、第２チャック１５ｂはワークＷの第２把持領域Ａ２を確実に把持することができる。こうしてワーク取り出し装置１は、ワークＷの状態に関係なく密集した複数のワークＷの中から任意のワークＷを簡単に取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】互いに隣接しつつこの隣接する方向に対して交差する方向にずれた位置にある複数のワークであっても容易に把持できるようにする。
【解決手段】ワーク把持装置１は、４つのワーク把持ユニット５，７，９，１１により４つの部品１３，１５，１７，１９をそれぞれ個別に把持する。部品１３，１５の上に部品１７，１９が載せられる。部品１３，１５を把持するワーク把持ユニット５，７は、上下シリンダ２７，２７Ａを備えており、下端のアーム３７，３７Ａが把持フレーム３に対して上下動可能である。４つのワーク把持ユニット５，７，９，１１で４つの部品１３，１５，１７，１９を把持した状態で、ワーク把持装置１全体を上昇させると、上下シリンダ２７，２７Ａが伸長して部品１３，１５が部品１７，１９に対して下方に離間した位置関係となる。 （もっと読む）

【課題】ウェハのデバイスが形成された面または形成される面に吸着痕や損傷を生じさせることなくウェハを搬送することができるウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法を提供すること。
【解決手段】搬送ハンド３０の内部には、段差部２４に設けられた吸着孔３２と、複数の通気用の孔３１，３３とが設けられている。段差部２４は、リブウェハ１０のデバイス面２と重ならない位置に設けられている。第１通気用の孔３１は、吸着孔３２に接続されている。各第１通気用の孔３１同士は互いに独立している。各第１通気用の孔３１には、異なる第２通気用の孔３３が接続されている。各第２通気用の孔３３は、それぞれ異なる配管２５を介して真空発生源２６に連結されている。つまり、複数の吸着孔３２に対する真空系統が互いに独立して設けられている。リブウェハ１０の吸着状態は、搬送ハンド３０の内部に流れる空気の流速に基づいて判定される。 （もっと読む）

【課題】簡素な構造からなり、少数のアクチュエーターで駆動することができるとともに、多様な目標物体に対応することができる把持装置を提供する。
【解決手段】把持装置１は、グリッパーの対向する左右の２指がともに平行リンクで構成される。左右の指部２５、３５の把持面には、薄く細かい物体を捕捉するための爪部が、内側に向かって突出する爪部が、先端縁に沿ってそれぞれ形設されている。爪は、その断面が４５度程度の鋭角をなし、開閉方向の内側に向かって突設している。したがって、左右の指部２５、３５を閉成すると、爪の鋭角な先端が対象物体と接地面の間に潜り込むので、掴み易くなる。 （もっと読む）

【課題】基板搬送用ロボットのハンド部のフォークに対して要求される耐熱性要求、剛性要求、軽量化要求を満たすと共に、長尺化要求をも満たすフォーク構造を提供する。
【解決手段】基板に薄膜処理を施す際に使用する基板を搬送するロボットのハンド部に使用されるフォーク構造において、幅方向に複数枚の板状部材１１，１２，１３を連ね、当該連ねられた複数枚の板状部材を長手方向に複数段継ないだ梁状構造物をなし、当該連ねられた複数枚の板状部材を長手方向に継ぐ位置において、基端側の複数枚の板状部材と先端側の複数枚の板状部材が互い違いに重なり合っており、当該複数の板状部材が互い違いに重なり合っている部位の少なくとも２箇所において、複数個のボルト・ナット５１ａ等による機械的な締結部品や凹凸面の嵌合によるせん断荷重伝達手段５１を設けた構成のフォーク構造とした。 （もっと読む）

【課題】センサを使用せず、簡単な構造で、様々な重さを有する柔軟物から高硬度物を把持することが可能な把持装置を提供する。
【解決手段】把持装置１０は、被把持物１２の上方に配置され、被把持物１２の把持に先駆けて上移動する支持体１５と、支持体１５の左右両側にそれぞれ基部が回動自在に連結され、先部が基部より左右外側の下方位置に配置され、基部を中心として同期して回動する左右対称形状の第１、第２の平行リンク２０、２１と、第１、第２の平行リンク２０、２１の先部に回動自在に連結された左右の連結部材２６、２７と、左右の連結部材２６、２７の内側にあって、基部が左右の連結部材２６、２７に回動自在に連結された第３、第４の平行リンク３２、３３と、第３、第４の平行リンク３２、３３の先部に設けられ、垂直状態を維持しながら対向配置される左右のパッド１３、１４とを有し、第３、第４の平行リンク３２、３３は水平に対して上向き傾斜している。 （もっと読む）

【課題】収容物の出し入れを行う面を下側とし、その面のフラップの封止を行うことなく、かつ、収容物の脱落を防止しつつ箱体を搬送する。
【解決手段】開閉自在な左右一対のフラップ２０１を底面に有する箱体２００の搬送装置であって、前記箱体２００を保持する保持ユニット１０と、保持ユニット移動手段とを備え、前記保持ユニット１０は、前記箱体２００の上面又は側面において前記箱体２００を保持し、前記箱体２００を昇降させる昇降手段１１と、前記一対のフラップ２０１のそれぞれに当接し前記フラップ２０１の開放を規制する一対の当接部材１４と、前記一対の当接部材１４が前記箱体の下方において互いに近接して前記フラップ２０１の開放を規制する開放規制位置と、前記一対の当接部材が前記箱体の下方において互いに離間して前記フラップの開放を許容する開放許容位置と、の間で前記一対の当接部材を移動させる当接部材開閉作動手段１２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で製造コストが安価であり、狭い場所にも適用可能な把持装置を提供すること。
【解決手段】１対の把持指の各々について、少なくとも端部が重なるように配置し連結された２枚以上の金属薄板１と、この連結側端部６の反対側端部において金属薄板を金属薄板の長さ方向に対して垂直に往復動させ、把持指の連結側端部を、応力作用により揺動動作させる手段を設けること特徴とする。この揺動動作により、把持対象物を抱き込み、確実に把持できる。 （もっと読む）

【課題】 わずかに位置誤差があってもワーク搬送装置のロボットハンドが被設置部材に干渉することなくワークを把持、搬送することができるとともに、ワークに把持部を設けなくても搬送できるワーク設置装置とワーク設置方法を提供することである。
【解決手段】 ３次元的に移動可能な把持機構５に取り付けられ、水平方向に移動可能であり、その間に外周面１ｂを開放可能に把持可能な複数のツメ部材１２と複数のツメ部材１２を互いに連動して水平方向に駆動する開閉アクチュエータ１４とを備える。ツメ部材１２はワーク１の外周面１ｂを把持する把持面１２ｂと水平な底面１ｃを支持する支持面１２ｃとを有する。被設置部材２は、上端部に案内テーパ面２ｂを有しワーク１の外周面１ｂと嵌合する嵌合部２ａと、ワーク１の底面１ｃを支持する底面支持部２ｃと、ワーク１が鉛直に下降してその底面１ｃが底面支持部２ｃに載る位置まで複数のツメ部材１２と干渉しないように設けられた切り欠き溝２ｄとを有する。 （もっと読む）

【課題】ワークが近接して配置されていたり、ワークに設けられた特定の凹みを利用してワークを把持するような場合でも、ハンドが挿入できるだけのスペースでワークの把持部に挿入することができ、ハンドでワークを挟む「挟み動作」により、先端可動爪を引き起こしてワーク下面を支持しその落下を防止する「すくい動作」ができる先端可動爪を有するチャックハンドを提供する。
【解決手段】搬送ロボットのハンド取付部に取り付けられたハンド本体１２と、ハンド本体に末端部が開閉可能に取り付けられた複数のハンド１４と、各ハンドの先端部に設けられハンドと直線状に位置するハンド伸直位置Lとハンドから引き起こされた他方位置Iに揺動可能な複数の先端可動爪１６と、各ハンド内に設けられ複数のハンドでワークを挟む「挟み動作」により先端可動爪をハンド伸直位置から引き起こす複数の揺動機構２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】設備コストを抑制し、かつ、ハンドと固定治具との間におけるワークの双方向の受け渡しを確実に実施することが可能であるワーク搬送方法およびワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】固定治具１１０に配置され、ワーク１０に配置される開口部に挿入自在であるロケートピン１２０、固定治具１１０に対して近接離間自在に配置されるワーク搬送用のハンド１３０、ハンド１３０に配置され、ワーク１０の開口部に挿入自在であり、固定治具１１０のロケートピン１２０と同心となるよう位置決めされる伸縮自在のロケートピン１４０、および、ハンド１３０のロケートピン１４０が開口部に挿入されたワーク１０を、ワーク１０が引き渡される固定治具１１０に向かって押し出すノックアウト機構１５０を有する。 （もっと読む）

【課題】載置ずれや変形を生じさせることなく、基板保持部に基板を受け渡すこと。
【解決手段】基板Ｐを保持する基板保持部としてのプレートホルダ９に基板Ｐを搬送する搬送装置は、基板Ｐを支持する支持装置としての搬送ハンド１２と、搬送ハンド１２を駆動し、プレートホルダ９からの搬送ハンド１２の一部の高さと他部の高さとを相対的に変化させ、かつその一部の高さ及び他部の高さを減少させて、搬送ハンド１２が支持する基板Ｐをプレートホルダ９に受け渡す駆動装置１３，１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】物品に位置ズレが生じていても、物品を適切に保持できる物品保持装置を提供する。
【解決手段】物品保持装置13は、物品２の側面部３，４，５に対して進退可能でそれぞれが異なる側面部３，４，５に引っ掛かるフック体21，41，51を備える。各フック体21，41，51には、対応する側面部３，４，５を検知する検知手段42，52を取り付ける。対応するフック体21，41，51を進退させる駆動手段23を各フック体21，41，51に対応して設ける。物品保持装置13は、検知手段42，52の検知に基づいて駆動手段23を制御して各フック体21，41，51の進出動作を個別に停止させる制御手段61を備える。 （もっと読む）

【課題】 発塵や、ハンドおよび基板の撓み、振動が少ないエンドイフェクタを提供するものである。
【解決手段】 基板Ｗの周縁を径方向外方から把持するエンドイフェクタが、ロボットハンドＨに取り付けられるベース部材１１と、ベース部材１１に設けられるＵ字状のハンド部材１２と、ハンド部材１２の連結側に接続して設けられ、ハンド部材１２の先端開口側を開閉駆動するアクチュエータ１３と、を備えている。ハンド部材１２は、左右対称な一対のハンド部１２１、両ハンド部１２１を一体に連結し、アクチュエータ１３に接続される連結可撓部１２２、および両ハンド部１２１に設けられ、基板Ｗの周縁を把持する基板把持部３０を有し、両ハンド部１２１の連結可撓部寄りの部分とベース部材１１とを回動支持部材２００にてそれぞれピン結合し、両ハンド部１２１をベース部材１１に対して回動自在に設ける。 （もっと読む）

【課題】ワークを確実にストレージ体に保持させることができ、またストレージ体からワークをマテハン部で確実に把持して移載することことができる移載ロボットを提供すること。
【解決手段】ストレージ体２（３）から別のストレージ体３（２）へワーク１００を移載するために用いられる移載ロボット１である。移載ロボット１は、ワーク１００を把持するマテハン部５と、これをを移動させるためのアーム１５とを備える。マテハン部５は、ワーク１００を把持するクランプ部５１、５２と、ワーク１００を把持した状態でマテハン部５に付与される鉛直方向の荷重を検出して検出信号Ｐを送信する第１ロードセルと、マテハン部５に付与される水平方向の荷重を検出して検出信号Ｑを送信する第２ロードセルとを有する。移載ロボット１は、検出信号Ｐ及び／又は検出信号Ｑに基づいて、マテハン部５の作動を制御するように構成されている。 （もっと読む）