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Fターム[3C007FS00]の内容

マニピュレータ、ロボット (46,145) | 吸着装置単体の形態 (580)

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【課題】ファンを用いて物品を搬送する物品搬送装置において、物品に関わる検出器を可及的に減らせるようにする。
【解決手段】移載装置1、非接触でガラス基板を搬送する装置である。移載装置は、ケース22と、ファン24と、吹き出し口28と、電流値測定部と、ファン制御部30と、を備えている。ケース22は、ガラス基板に対向する物品対向部42を有している。ファン24は、ファンケース54の内部に設けられている。吹き出し部は、物品対向部42に設けられ、ファン24との間で空気を流す。電流値測定部は、ファン24の負荷を検出する。ファン制御部30は、電流値測定部の検出結果によりファン24を制御する。 (もっと読む)


【課題】平板状の基板を着脱自在に搬送するロボットハンドに使用する基板載置用パッドおよびそれを用いたパッド機構に関し、基板の保持力を高めると共に、耐久性が高く長寿命の新しい基板載置用パッドを提供すること。
【解決手段】弾力性のある外郭層2の内部に閉じた空間3を有することを特徴とする基板載置用パッド1であって、特に、外郭層の基板に接する側の面4が外側に凸な曲面を有し、平坦な基板が載置された際に、基板の荷重により基板との接触面積が増加する。 (もっと読む)


【課題】半導体ウエーハの如く薄い板状物にダメージを与えることなく搬送することができるようにする。
【解決手段】板状物Wと保持パッド22の保持面22aとの間の空間に融解状態の媒体23を供給し、この媒体23を冷却して凝固させることで板状物Wを保持させて搬送し、搬送後には、媒体23を融解して保持パッド22を板状物Wから離脱させるようにしたので、媒体23が介在することで保持パッド22が非接触状態で板状物Wを保持することとなり、薄い板状物Wであってもダメージを与えることなく保持して搬送できるようにした。 (もっと読む)


【課題】
装置が簡便で操作が容易で、微小部品の形状を問わず操作が可能であり、微小部品に機械的な損傷を与えにくい微小部品の操作方法を提供することにある。
【解決手段】
キャピラリに液体を満たし、キャピラリの先端のキャピラリ穴から液体が漏れ脱さない表面張力と内圧とが均衡した状態で、キャピラリ穴を微小部品に接触させ、キャピラリを上昇させることにより液体の液架橋力により微小部品を持ち上げ、キャピラリを微小部品を載置したい設置面の位置の上方に移動し、位置でキャピラリを下降させ、微小部品が位置に着地した状態でキャピラリを横方向に移動させて液体を微小部品及び設置面に漏れ出させ、その後、キャピラリを上昇させ微小部品を位置に載置することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 大型化、薄型化された半導体ウエハ等の板状部材を移載対象としても、当該板状部材の損傷原因を回避して移載することに適した移載装置及び移載方法を提供する。
【解決手段】第1ないし第3のテーブルT1、T2、T3間で、半導体ウエハW等の板状部材を移載する移載装置10であり、当該移載装置10は、半導体ウエハWの支持面を備えた支持手段11と、当該支持手段11を移動させる多関節型ロボット12とを含む。支持面は、シート基材SBに接着剤層Aが積層された接着シートSの積層体により構成され、最外層にある接着シートSと半導体ウエハWとの接着、剥離により、前記テーブルT1〜T3間で移載することができる。 (もっと読む)


【課題】 大型化、薄型化された半導体ウエハ等の板状部材を移載対象としても、当該板状部材の損傷原因を回避して移載することに適した移載装置及び移載方法を提供する。
【解決手段】第1ないし第3のテーブルT1、T2、T3間で、半導体ウエハW等の板状部材を移載する移載装置10であり、当該移載装置10は、半導体ウエハWの支持面を備えた支持手段11と、当該支持手段11を移動させる多関節型ロボット12とを含む。支持面は、シート基材SBに接着剤層Aが積層された接着シートSにより構成され、当該接着シートSと半導体ウエハWとの接着、剥離により、前記テーブルT1〜T3間で移載することができる。 (もっと読む)


【課題】基板の保持性を高められ、ダストが発生せず、生産性に優れ、基板の受け渡しを円滑に行うことができる保持装置及び基板受け渡し方法を提供する。
【解決手段】搬送機構のハンド11の基板支持面11aの少なくとも一部に、電圧の大きさによって粘着力が可変な機能性粘着素子からなる保持部13を配置し、基板Wを搬送するときは、上記機能性粘着素子の粘着力で基板Wを保持し、ステージ12へ基板Wを移載するときは、上記機能性粘着素子の粘着力を消失させる。一方、ステージ12の上面から上方へ突出可能なリフターピン14の先端部にも上記機能性粘着素子からなる保持部15を配置し、リフターピン14で基板Wを支持するときは、リフターピン14の機能性粘着素子の粘着力で基板Wを保持し、上記搬送機構へ基板Wを移載するときは、リフターピン14の機能性粘着素子の粘着力を消失させる。 (もっと読む)


【課題】ペルティエ素子を用いた、新たな半導体ウェーハの搬送装置を提供する。
【解決手段】平板のリング状に形成されたペルティエ素子12と、ペルティエ素子12の下面に固定された絶縁板からなるリング状の保持板14と、ペルティエ素子12の上面に固定された絶縁材からなる筒状のヒートシンク16と、ヒートシンク16の上面側を閉塞する蓋体18と、蓋体18で閉塞されたチャンバー20内の空気を排除する吸引装置29と、ヒートシンク16に形成された熱媒体回路30と、熱媒体回路30に熱媒体を供給する送液部37と、ペルティエ素子12へ通電する通電装置15と、蓋体18に連携され、蓋体18とともに、ヒートシンク12等を移動させる移動機構38とを具備することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】極めてウェハにやさしい方法で動作するハンドリング装置および、対応するウェハのハンドリング方法であって、特に厚さ100μm未満のウェハを搬送するのに適したハンドリング方法を提供する。
【解決手段】100μm以下の厚さを持つウェハ4のハンドリング装置およびハンドリング方法に関し、加圧媒体を供給あるいは除去することで容積を増減させることが可能な作業スペース8を、少なくとも1つに区切るために粘着膜が配置され、その作業スペースの容積を増減させることで、その粘着膜とウェハとの間の接触面積が調節可能なハンドリング装置およびハンドリング方法。 (もっと読む)


【課題】付着式ピンセットに対して好適な新規の移載システムを提供する。
【解決手段】
微細部品を付着するための粘着材、この粘着材を先端に導くための導出パイプ、この導出パイプ先端に粘着材を送り出す手段、導出パイプ先端より突出及び後退して、付着した微細部品を離脱するスライドパイプからなる付着式ピンセット1を搭載するキャリア5と、このキャリア5を水平方向に走行案内する走行レール2,3と、キャリア5を上下方向に昇降案内する昇降レール4と、キャリア5を走行及び昇降レール2,3,4に沿って駆動する手段20,30,40と、スライドパイプを前進及び後退する手段とを備えた。 (もっと読む)


【課題】 作業効率を向上させ、作業の迅速化を図ることのできるチャック治具を提供する。
【解決手段】 XYZの三次元方向に移動可能、そして回転可能に設置された治具本体1と、この治具本体1の複数の面にそれぞれ形成された複数の凹み穴10と、各凹み穴10を被覆して半導体ウェーハW等の被保持物品を着脱自在に密着保持する複数の保持層20と、各保持層20に被覆された凹み穴10の空気を外部に排気する複数の排気路30とを備える。半導体ウェーハWを片面持ちではなく、両面持ちで密着保持することができるので、作業の迅速化が期待できる。 (もっと読む)


【課題】 例え基板が薄い場合でも、ハンドリング時等に容易に破損するのを抑制できる吸着装置を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハWを保持する吸着治具1を吸着パッド10に取り外し可能に支持させ、吸着治具1を、板体2と、板体2に形成される凹み穴3と、凹み穴3を被覆して半導体ウェーハWを保持する変形可能な保持層5と、板体2に設けられて保持層5に被覆された凹み穴3の空気を排気する排気孔6とから構成して凹み穴3に、保持層5用の複数の支持突起4を設ける。また、吸着パッド10を、吸着治具1の板体裏面に重なるパッド11と、パッド11から伸びるアーム14から構成してパッド11に、吸着治具1の板体裏面に対向する対向溝穴12と、吸着治具1の排気孔6に連通する連通溝穴13をそれぞれ設け、パッド11とアーム14には、パッド11の対向溝穴12に連通する給排路15、及びパッド11の連通溝穴13に連通する排出路16を設ける。 (もっと読む)


粒子の捕捉を含む種々の用途のための、誘電泳動(DEP)ピンセット装置および方法。2つの電極が、先端を形成する細長物上に配置されているか、またはこれを構成する。これらの電極間に電圧を印加して、不均一な電磁場を先端に近接して発生させ、これによって誘電泳動トラップを作り出す。一旦捕捉すると、この粒子を、細長物または粒子が存在している媒体を操作することにより、所望の位置に移動させることができる。複数のDEPピンセット装置を、先端のアレイを形成するように配置してもよく、それぞれがその先端に限定した局所的な電磁場を発生することができる。かかるDEPアレイは、ナノリソグラフィまたはナノマニピュレーションに関連するナノファブリケーションプロセス、およびデータ記憶および検索用途において用いることができる。
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