【課題】フィルムの引き離しを容易に行うことができるフィルム吸着装置の提供。
【解決手段】フィルムＡの上面を吸着するフィルム吸着装置１であって、長さ方向に複数の圧力室１２を有すると共に、複数の圧力室１２とそれぞれ独立して連通し且つ上記長さ方向の両端部の間において膨出した吸着面１０ａを有する真空チャック１０と、吸着面１０ａをフィルムＡの上面に対して上記長さ方向の両端部のうち一方の端部から他方の端部まで順次接触させるハンド装置と、を有するフィルム吸着装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】半導体チップへの静電気によるダメージを十分に防ぐことができ、既存の半導体チップに幅広く適用することができる吸着部材を提供する。
【解決手段】半導体チップ２０に接触させるための接触面１１ａと、接触面１１ａにつながる側面１１ｃとを有する吸着部１１と、側面１１ｃから外方向に向かって突き出る第１放電部１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体素子を基板に接合する際に、必要な低酸素濃度の環境を効率よく形成して、好適に接合を行うことを可能にする半導体保持装置及びこれを備えた半導体接合装置を提供する。
【解決手段】半導体素子１を保持する保持部３と、この保持部３の周囲に設けられるとともに下方に向かうに従い漸次保持部３の内側に傾斜する傾斜面４ａを有するフード４と、このフード４の保持部３の内側を向く傾斜面４ａに向けて不活性ガス５を吹き出す吹き出し孔６とを備えて半導体保持装置Ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】ワークの変形を抑制してワークを安定して保持することが可能なワーク保持装置を提供する。
【解決手段】シート状のワークＷを保持するワーク保持装置１であって、ワークＷの一端を固定する固定手段１０と、ワークＷの一端を除いた端部に配置されるとともに、ワークＷの面に平行かつワークＷに対して外向きの張力を発生させる張力発生手段２０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の静電破壊の低減化を図る。
【解決手段】吸着パッド１２における支持部１２ｃの肉厚が吸着部１２ａの肉厚より薄く、かつ支持部１２ｃが屈曲可能に形成されていることにより、吸着パッド１２によってＩＣ１３を真空吸着した際に、支持部１２ｃが屈曲することで、ＩＣ１３と接触する吸着部１２ａの滑りを抑えてＩＣ１３の表面と吸着部１２ａとの間で起こる摩擦を低減することができ、ＩＣ１３の表面での帯電を少なくすることができる。その結果、ＩＣ１３の静電気放電による破壊を低減できる。 （もっと読む）

【課題】 様々な大きさのワークに適応可能な保持具を、低コストで提供することである。
【解決手段】 ベルヌーイの原理を利用して本体に設けた保持面１ａにワークＷを保持する保持具を前提とし、上記保持面１ａの外形より突出する風よけ部材８を備え、この風よけ部材８の全部あるいは一部が、保持面１ａに保持されたワークＷと対向する位置関係を保つ構成にし、ワークＷを保持搬送する際に、ワークＷが脱落する方向ｘ２の風圧を風よけ部材８がさえぎるようにした。 （もっと読む）

【課題】搬送中のワークの落下や位置ずれを防止しつつワークの高速な搬送を可能にするカバー付きロボットハンドを提供する。
【解決手段】搬送されるワーク１３を把持するカバー付きロボットハンド１２が、ロボットアーム１１の先端に取り付けられる基部１４と、基部１４に配置され且つワーク１３を把持する把持部１５と、基部１４に配置されたカバー１６と、把持部１５に対するカバー１６の相対位置を変更するカバー位置変更部１６ｄとを具備し、カバー位置変更部１６ｄが、カバー１６の相対位置を、ワーク１３の搬送中にワーク１３の一部を包囲する保護位置と、ワーク１３を把持又は解放する際にワーク１３の把持又は解放を阻害しない開放位置との間で変更する。 （もっと読む）

【課題】イオンエアを基板主面全体に拡散させることにより、異物の除去や除電を確実にかつ均一に行うことができる配線基板の非接触搬送装置を提供すること。
【解決手段】本発明の非接触搬送装置は吸引部を備える。吸引部は、吸引面に凹部７３が設けられるとともに、凹部７３の内周面にて開口する６個のエア吹出穴８１が設けられる。また、凹部７３の中心部には、基板主面１２０に向けてイオンエアを吹き付けるためのイオンエア吹出穴８２が設けられる。各エア吹出穴８１は、仮想円Ｃ２上においてイオンエア吹出穴８２を取り囲むように設けられ、中心軸Ｃ１を基準として等角度間隔で配置されるとともに、仮想円Ｃ２の接線Ｌ１に対して同じ角度θ１だけ傾斜した状態で開口する。 （もっと読む）

【課題】吸盤を用いてワークを把持する吸着パッドを用いて把持を行う際に、吸着力の不足により把持が不完全な状態になることや把持ができても移動する際に落下することを防止する。
【解決手段】ワークを把持する吸着パットであって、ワークの一方向に位置する固定部材１１と、固定部材１１のワークに対向する面に密着して取り付けられた中央に減圧空間１７を有する形状自在パッド１２と、減圧空間１７内の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる減圧装置と、を備える。さらに、形状自在パッド１２は、ワークの固定部材１１に対向する面に対して押し付ける押付力によりワークの表面形状をならうようになっている。 （もっと読む）

【課題】交互に挟まれた状態にある板ガラスと合紙を同時に取り出す際に、安定して両者を吸着保持でき、また、ガラス板からはみ出ている合紙端部の折れ曲がりや癖付き等に対しても確実に吸着保持できる吸着装置を提供すること。
【解決手段】板ガラスＧの一方の平面側を吸着するガラス吸着パッド１１と、ガラス吸着パッド１１が板ガラスＧを吸着する際、板ガラスＧの他方の平面側に位置する合紙Ｐの板ガラスＧの周辺からはみ出た合紙端部を、板ガラスＧの一方の平面側から、板ガラスＧの辺に沿って長手方向に配置され合紙端部に線状に接触する吸着開口部１２ａにより吸着する合紙吸着治具１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】ベルヌーイチャックで基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかなものとしながら、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なって、非接触状態での基板の移載を高速度で能率よく行なえる移載装置を提供する。
【解決手段】パラレルメカニズムのハンド部に、基板を非接触状態で吸引保持するベルヌーイチャックと、基板を位置決めする複数個のガイド体とを設ける。基板を吸引する際には、吸引開始位置におけるベルヌーイチャックをハンド部で位置保持して、ガイド体が基板の外郭線の外に位置する状態にして基板を吸引保持する。吸引保持された基板を、ノズル穴から吹き出される空気流で一方向へ旋回させ、旋回変位する基板の辺部をガイド体で受け止めて位置決めする。以上により、基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかにできる。さらに、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なえる。 （もっと読む）

【課題】基板を吸着パッドにより下側に保持して搬送し、基板を真空吸着して保持するワークステージ上に載置するための基板搬送アームにおいて、搬送アームの移動中に基板が吸着パッドから外れたとしても、簡便な手段により落下することを防止する。
【解決手段】複数の吸着パッド１を備え、基板を真空吸着し下側に保持して搬送する基板搬送アーム１０において、回転軸部により回転可能に取り付けられた腕部と、該腕部に取り付けられ該周縁の吸着パッド１の下側に突出する捕手部と、該腕部の先端に位置する滑走部からなる、一対の落下防止具２０、２０が、前記複数の吸着パッド１のうち、周縁に位置する吸着パッド１の一部に隣接して配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】単一の支持部材において必要に応じて正圧吸引と負圧吸引とを切り替えて板状部材を支持することができるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、ウエハＷの一方の面側から当該ウエハＷを吸引支持可能に設けられた支持手段１１と、この支持手段１１を移動可能に設けられた移動手段１２とを備えて構成されている。支持手段１１は、単一のアーム部材１５と、この単一のアーム部材１５に設けられた負圧吸引手段１６及び正圧吸引手段１７とを備えている。負圧吸引手段１６は、気体を吸引することでウエハＷを吸引支持可能に設けられる。正圧吸引手段１７は、ウエハＷの一方の面に気体を噴出することによりウエハＷを吸引支持可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】搬送条件に応じて正圧吸引と負圧吸引との少なくとも一方を使用して板状部材を支持することができるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、ウエハＷを厚さ方向両側から挟み込む位置に設けられた第１及び第２の支持手段１１、１２と、これらの支持手段１１、１２を移動可能に設けられた移動手段１３とを備えて構成されている。第１の支持手段１１は、気体を吸引することでウエハＷを吸引して支持する負圧吸引手段１６を備えている。第２の支持手段１２は、ウエハＷに気体を噴出することで当該ウエハＷを吸引して支持する正圧吸引手段２８を備えている。 （もっと読む）

【課題】搬送中の板状部材において、支持手段により支持される面と反対側の面に接触しないようにしつつ、板状部材が支持手段に対して移動することを防止できるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、ウエハＷの一方の面側から当該ウエハＷを吸引支持可能に設けられた支持手段１１と、この支持手段１１を移動可能に設けられた移動手段１２と、支持手段１１に支持されたウエハＷの他方の面側から離れて位置し、支持手段１１の吸引支持を補助可能に設けられた補助手段１３とを備えて構成されている。補助手段１３は、ウエハＷに気体を噴出することでウエハＷを支持手段１１側に付勢可能に設けられ、支持手段１１による吸引力を一定としても、ウエハＷの支持力を増大できる。 （もっと読む）

【課題】フィルム密封ワークを対象とし、あらかじめフィルムの吸着部に穴や切り込みを設けておく必要がなく、別個に切り込み用の装置が不要であり、ばら積みの場合でも、ワークの姿勢にかかわらず把持ができるフィルム密封ワーク用の真空吸着ハンドと真空吸着方法を提供する。
【解決手段】搬送ロボット２のハンド取付部２ａに取り付けられフィルム密封ワーク１の外面を真空吸着する真空吸着カップ１２と、真空吸着カップ１２により吸着されたフィルム密封ワーク１のフィルム１ａに穿孔するフィルム穿孔装置２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】薄板状ワークを吸着し、搬送するに際し、ウエハを搬送し、所望位置に載置するまでの過程で別途のデバイスに受け渡す受渡し工程を不要とでき、しかも、ウエハにダメージを与えない、産業用の搬送機械に取り付けられる、ワーク搬送用機器と、このワーク搬送用機器が取付けられた産業用の搬送機械を使用するワーク搬送方法を提供する。
【解決手段】ワーク搬送用機器１０は、薄板状ワークＷを吸着する吸引孔２ａを具備する２以上の把持部材２，…と、２以上の把持部材２，…を一体に固定する本体部材１と、を少なくとも有し、把持部材２のうち、少なくとも吸引孔２ａの開設された領域は本体部材１の側端から張り出して張り出し箇所２’を形成しており、本体部材１のうち、吸着される薄板状ワークＷ側の側面には撓み防止部材１４が配されて張り出し箇所２’を支持しており、少なくとも、該張り出し箇所２’が薄板状ワークＷ側へ撓むのを抑止している。 （もっと読む）

【課題】吸着口から吸入されるフラックスの量を十分に低減しながら、電子部品を揺動させることなく保持することが可能な電子部品吸着装置を提供すること。
【解決手段】この電子部品吸着装置１００は、電子部品ＥＤと接触し且つ当該電子部品よりも面積が大きい平面である接触面１１３ａを有する。接触面には、吸着口１１６及び通気口１１７が形成される。更に、電子部品吸着装置は、吸着口から気体を流入させる吸入装置１２１を備える。加えて、電子部品吸着装置は、通気口から気体を流入又は流出させる気流生成装置１２２を備える。電子部品吸着装置は、吸入装置によって吸着口から気体を流入させることにより電子部品を接触面に吸着させる。これによれば、吸着口から吸入されるフラックスの量を十分に低減しながら、電子部品を揺動させることなく保持することができる。 （もっと読む）

【課題】高価な力センサや複雑な信号処理を不要にしつつ、吸着部材を適切な力で対象物に確実に押し付けた状態で対象物を吸着把持できる搬送ロボットを提供する。
【解決手段】
支持体５が取り付けられ、支持体を移動させるように動作する動作機構７と、吸着部材３を対象物に押し付けるために、吸着部材と支持体のうち吸着部材を移動方向前方側にして、吸着部材を対象物に向けて移動させる押付移動を動作機構に行わせる動作制御部１１と、押付移動により吸着部材が対象物に押し付けられることで、吸着部材が弾性的に支持体側へ押し戻された量が所定量に達したかを検知する押付検知部９とを備える。押付検知部が、吸着部材の押し戻された量が所定量となったことを検知した時に、動作制御部は、押付移動を停止させる。 （もっと読む）

【課題】小型化および軽量化でき、把持部材を密に配置できるようにするロック機能付き把持装置を提供する。
【解決手段】把持装置１０のロック機構７は、進退方向と交差するスライド方向にスライド可能な第１および第２のスライド体１７，１９と、第１および第２のスライド体を互いに逆方向にスライドさせる駆動装置２１と、を備える。駆動装置２１は、第１および第２のスライド体をそれぞれ互いに逆向きの第１および第２のスライド方向に移動させることで、複数の把持部材３に対し第１のスライド方向に第１のスライド体を押し付け、複数の把持部材に対し第１のスライド方向と逆向きの第２のスライド方向に第２のスライド体を押し付け、これにより、複数の把持部材を同時にロックする。 （もっと読む）