【課題】ファンを用いて物品を搬送する物品搬送装置において、物品に関わる検出器を可及的に減らせるようにする。
【解決手段】移載装置１、非接触でガラス基板を搬送する装置である。移載装置は、ケース２２と、ファン２４と、吹き出し口２８と、電流値測定部と、ファン制御部３０と、を備えている。ケース２２は、ガラス基板に対向する物品対向部４２を有している。ファン２４は、ファンケース５４の内部に設けられている。吹き出し部は、物品対向部４２に設けられ、ファン２４との間で空気を流す。電流値測定部は、ファン２４の負荷を検出する。ファン制御部３０は、電流値測定部の検出結果によりファン２４を制御する。 （もっと読む）

【課題】支持姿勢や搬送動作にかかわらず板状部材の撓みを抑制できる支持装置および支持方法ならびに搬送装置および搬送方法を提供すること。
【解決手段】接着シートＭＳが貼付された板状部材Ｗの搬送装置１は、接着シートＭＳを介して板状部材Ｗを保持する保持手段２と、保持手段２で保持された板状部材Ｗを付勢して板状部材Ｗの面位置を所定位置に維持する面位置維持手段６と、保持手段２を移動させる移動手段３とを備え、面位置維持手段６は、板状部材Ｗを一方側に付勢するかまたは他方側に付勢することで、板状部材Ｗの支持姿勢や搬送動作にかかわらず板状部材Ｗの面位置を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】真空度付与装置において高い真空度から低い真空度への切替を速やかに行うことを可能とする真空度切替方法を提供する。
【解決手段】ワークＷを吸着または離脱させる吸引チャック７に接続されている流路部分８を高い真空度の第１の負圧にある状態から相対的に低い真空度に低圧化するに際し、第２の負圧制御装置４に流路部分８を接続した直後に、オン・オフをわずかな期間オフ状態として、流路部分８に外気を導入し、次に、オン・オフバルブ６をオン状態として、第２の負圧制御装置４から吸引チャック７に至る流路部分の低圧化を果し、しかる後、オン・オフバルブ６をオフ状態としてワークＷを離脱させる、真空度切替方法。 （もっと読む）

【課題】発生させる負圧を安定化することができる真空圧制御装置及び真空圧制御方法を提供する。
【解決手段】気体供給源８から供給される気体流量を制御することにより気体が供給される負圧発生装置に発生させる負圧を安定化する真空圧制御装置及び制御方法であって、負圧発生装置で発生された負圧の圧力を圧力センサ１０により検出し、検出された圧力値Ｐと、予め記憶されている目標負圧Ｐ_０とが異なる場合に、予め定められた負圧と気体流量との関係式とに基づき、目標気体流量Ｆ_０を第１の制御装置１３で求め、第２の制御装置１４が、目標気体流量Ｆ_０に基づいて流量コントローラ９による流量を目標気体流量Ｆ_０とし、かつ負圧発生装置２に現に供給されている気体流量を流量センサ１１で検出し、第２の制御装置１４において、検出された気体流量Ｆと目標気体流量Ｆ_０とを比較し、気体流量Ｆが気体流量Ｆ_０となるように流量コントローラ９の流量を設定する、真空圧制御装置及び真空圧制御方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低気圧源に接続し、基板の吸着に用いる吸着装置に関する。
【解決手段】吸着装置は、吸着本体と、気圧制御装置とを含む。吸着本体は、分布範囲を有し基板に接触する平面と、複数の孔とを含む。これらの孔は、平面上に形成され、実質的に平面の分布範囲内に均等に分布する。気圧制御装置は、制御により、低気圧源とこれらの孔とを空圧的に接続する。基板が平面に接触し、かつ気圧制御装置がこれらの孔と低気圧源とを空圧的に接続すると、基板と吸着本体とは相互に固着する。 （もっと読む）

【課題】Ｗｅｔ処理装置（洗浄装置あるいは現像装置等液体を用いるプロセス処理機）内の基板搬送にも適用可能で、配管系の不要なコンパクトな基板吸着装置の提供を目的とした。
【解決手段】少なくとも、基板を気密に吸着するためのラッパ状の吸着口を備えるゴムパッド８と、前記ゴムパッドの基部を膜保持ハウジング３０を介して気密に被覆するダイアフラム膜７と、前記ダイアフラム膜７を変形させるための圧力制御ブロック３と、を有することを特徴とする基板吸着装置である。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドを所定の真空度にする時間を短縮することができる吸着装置及びワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明のワーク搬送装置１は、搬送対象物であるワークｗの表面に配置される吸着パッド２１を真空ポンプ２２により真空引きしてワークｗを把持する吸着装置２と、吸着パッド２１を支持するクロスバー３１とクロスバー３１を移動させる駆動アーム３２と駆動アーム３２を移動可能に支持する支持部材３３とを有する構造部材３と、を備えており、前記吸着装置２は、支持部材３３に形成された真空タンク４と、真空タンク４と吸着パッド２１との間に配置された第一吸気流路５と、第一吸気流路５に配置された電磁弁６と、真空タンク４と真空ポンプ２２との間に配置された第二吸気流路７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体チップを吸着して搬送する搬送系に、気体を給排気する機構の荷重が掛かってしまうことを回避して、高精度、低荷重、低衝撃の搬送を実現すること。
【解決手段】吸着ヘッドは、フリップチップＷを吸着する吸着コレット１２と、該吸着コレットに連通する吸引流路管２５を備えて圧縮空気供給部１８に空気供給口２１ａを近接対峙させて該吸引流路管内を減圧するエジェクタ１１とを備えて、前記圧縮空気供給部に非接触状態のまま移動する。 （もっと読む）

【課題】異なる高さに積層されているシート状部品を、吸着して取り出し、ワークテーブルに搬送してセットする自動装置を提供する。
【解決手段】吸着体ホルダーの先端に吸着体２を設ける。この吸着体と該ホルダーのセンターに配置して、コイルバネを設けた可動ピンを、吸着体ホルダーに貫通させて装着する。さらに、この該ホルダーを保持体５に挿入して設ける。次に、保持体の内部の適当なる位置に、近接センサーを設ける。また保持体の側面よりホースニップルを取付けて、吸着体ホルダーに繋止して設ける。さらにホースニップルに、ソレノイドバルブへ接続された、エアチューブを装着する。最後に、搬送ロボットアーム１０に設けられた、ホールド基体１１に、保持体を装着する。 （もっと読む）

【課題】真空発生器を動作させるのに用いた圧縮空気の有効利用を図る。
【解決手段】真空発生システム１において、コンプレッサ１１から吐出される圧縮空気により動作する真空発生器１３の後段に真空発生器２８を設け、真空発生器１３と真空発生器２８との間にタンク２２を設ける。真空発生器１３から排出された圧縮空気はタンク２２に蓄積される。真空発生器２８は、タンク２２に蓄積された圧縮空気を用いて動作する。また、経路２４により、コンプレッサ１１とタンク２２とを真空発生器１３を介さずに接続する。これにより、コンプレッサ１１からタンク２２へ圧縮空気を直接的に供給することもでき、真空発生器１３が停止している期間でも、真空発生器２８を動作させることができる。 （もっと読む）

【課題】真空手段の作動及び停止を行なうための圧力設定を成形品毎に行なうことなく、簡単な制御で真空手段によるエネルギー消費量を軽減するとともに、成形品の落下を防止する真空吸着装置を提供する。
【解決手段】吸着部材に真空圧を作用させる真空手段と、真空手段と吸着部材との連通又は連通の遮断を行なう圧力保持弁と、配管を介して吸着部材内の圧力を検出する圧力検出器と、真空手段及び圧力保持弁の作動を制御する制御手段とを備える。制御手段は、圧力保持弁を開き、真空手段を作動させて、吸着部材によりワークを吸着しているときに、圧力検出器で検出した圧力が所定時間一定となった場合には、圧力保持弁を閉じ、真空手段の作動を停止させ、その後、圧力検出器で検出した圧力が一定幅低下した場合には、圧力保持弁を開き、真空手段を作動させる制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】種々の重量や形状を有する物品を、塑性変形や破損を起こさせることなく、且つ充分な吸引力によって安定して保持して搬送することが可能な保持搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の保持搬送装置１は、複数の吸引孔を有する物品吸着面が設けられた吸引ヘッド２と、吸引ヘッド２の吸引室９に連結された負圧供給手段４とを備えている。この負圧供給手段４は、吸引ヘッド２が物品吸着面に物品を当接させて物品を吸引保持する際に、前記物品吸着面のほぼ全領域に前記物品が配置されて大多数の吸引孔から外気を直接吸引しない状態で前記物品をほとんど塑性変形させることなく吸引保持することができ、且つ、前記物品吸着面に物品が当接していない領域が広く前記物品に当接していない多くの吸引孔から外気を直接吸引する状態でも物品の吸引保持を維持できるような負圧を吸引ヘッド２にもたらすことができるよう広い風量の領域に対して低くフラットな吸込み側静圧特性を有している。 （もっと読む）

【課題】非接触型搬送保持具および非接触型搬送保持装置の提供。
【解決手段】内側に一端が閉じ他端が開放された円筒状空間部１２を有し円筒部１３と底部１４を有するボデー１１と、ボデー１１の円筒部１３に形成され円筒状空間部１２の側面を構成する円筒状のボデー内周面１５と、ボデーの底部１４に形成され円筒状空間部１２の底面を構成する平坦なボデー底面１６と、ボデーの円筒状空間部１２の開放側端部に形成された平坦なボデー開放側端面１７と、ボデー内周面１５のボデー底面側端部に形成され円筒状空間部１２にガスを接線成分をもたせて導入する１つ以上のガス導入口１８と、を有する非接触型搬送保持具１０。円筒状空間部１２にガスを供給すると円筒状空間部１２内に負圧が生じて、被搬送物を吸引保持する。被搬送物とボデー開放側端面１７との間にはガスの流出隙間があるので、被搬送物は非接触保持される。 （もっと読む）

【課題】個々の吸着パッドに取り付けられる小型軽量の電動エアーポンプによって吸着パッドの真空吸引を行い得るとともに、該電動エアーポンプによって真空破壊用の圧搾エアーを生成し得るワーク吸着移送システムの給排気制御装置を提供する。
【解決手段】電動エアーポンプ１の吸気口２と該吸気口２に接続される吸着パッド２３との間に配設した第一電磁弁２２を、吸着パッド２３内の真空度が所定真空度未満の場合には吸着パッド２３内のエアーを吸引する内気吸引状態に切り換え、吸着パッド２３内の真空度が所定真空度に達した場合には外気を吸引する外気吸引状態に切り換えられるようにして、電動エアーポンプ１の吸気口２からエアーを吸引し、排気口３から吐出されるエアーをエアー貯留槽２８に貯留するようにした。これにより、電動エアーポンプ１によって吸着パッド２３の真空吸引を行い得るとともに、該電動エアーポンプ１によって真空破壊用の圧搾エアーが生成できる。 （もっと読む）

【課題】保持力の大きいノンコンタクト搬送システムを提供すること。
【解決手段】負圧吸引によりワーク９を保持するとともに、ワーク９との非接触を確保するために、ロードセル３または近接センサ２などのセンサ信号をもとに、ワーク９と吸引パッド１間の距離制御を行い、非接触の吊上げ搬送を実現する。 （もっと読む）

【課題】 吸着具の流路内を流れる流量に基づいて、ワークの吸着および離脱を確実に検出し得る吸着検出方法および吸着検出装置を提供する。
【解決手段】 吸着具内に形成され負圧源に接続される流路内の流量Ｌが、吸着具にワークが接触していない空吸い状態のもとで吸着レンジの上限値Ｌ_ＯＮ以上となった後に、吸着具の流路内を流れる負圧空気の流量が上限値Ｌ_ＯＮ以下となったとき（Ｆ点）には、ワークが吸着具に吸着されたと判定し、吸着具を移動してワークをある位置から他の位置に移動する。ワークが所定の位置まで搬送されたら吸着具に対する負圧空気の供給を停止（Ｈ点）し、停止した状態のもとで吸着具内に流入する空気の流量が下限値Ｌ_ＯＦＦ以下となったときにワークが吸着具から離脱したと判定する。 （もっと読む）

【課題】 試料を保持するための吸着圧力を小さくすることにより、試料に与えられる損傷を防止することが可能な真空チャック装置及び吸着圧力制御方法を提供する。
【解決手段】 真空チャック装置１を、吸着用パッド１１と、吸着用パッド１１内の吸着圧力を検出するための真空センサ１４と、吸着用パッド１１と真空源１３とを連通する通路１２を流れる気体流量を検出する流量センサ１５と、を備えて構成し、検出される吸着圧力が所定の閾値圧力を超え、かつ検出される気体流量が所定の閾値流量を下回るとき吸着用パッド１１に印加する吸着圧力を低減する。 （もっと読む）

ガラス搬送装置および方法であって、ガラスシートがガラス製造設備内のある地点から別の地点へと移動される際に、ガラスシートの振動を最小限に抑えるようにガラスシートと係合しそれを保持するための強化ロボットが使用される、ガラス搬送装置および方法が本明細書に記載されている。強化ロボットは、１つ以上の吸着カップおよび１つ以上の空気力学式装置を使用することによって、ガラスシートと係合しそれを保持する。吸着カップは、ガラスシートが移動される際に、ガラスシートの外側縁部または非品質領域と接触してそれを支持する。また、空気力学式装置は、ガラスシートが移動される際に、ガラスシートと接触せずに空気力学式装置がガラスシートの品質領域を支持および保持できるように、ガラスシートの中央部分または品質領域に向かってガスを放出する。該装置はまた、空気力学式装置から放出されるガスの温度がガラスシートの温度と実質的に一致するように、空気力学式装置からガラスシートに向かって放出されるガスの温度を調節するための温度制御装置を使用してもよい。
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