【課題】フィルムの剥がれに強く、安定した吸着ができるフィルム吸着装置の提供。
【解決手段】フィルムＡを真空吸着する吸着面１０ａを有する第１の吸着部１０と、負圧室２５内部を通風する空気流れを形成する空気導入口２６及び空気導出口２７を有すると共に、フィルムＡが剥がれた時にできる隙間を流れる空気のエジェクタ効果による負圧によって、第１の吸着部１０による第１の吸着領域とは異なる第２の吸着領域におけるフィルムＡを吸引する開口部２２を有する第２の吸着部２０と、を有するフィルム吸着装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドの摩耗を検出することが可能な吸着装置及びロボットシステムを提供する。
【解決手段】ロボットシステム１０は、搬送物Ｇを吸着する吸着パッド７６及び吸着パッド７６の吸着圧力を検出する圧力センサ６６ａ〜６６ｄが設けられたエンドエフェクタ４８ａ、４８ｂを有するロボット２０と、吸着パッド７６が搬送物Ｇを吸着してから吸着パッド７６の吸着圧力が安定するまでの間に圧力センサ６６ａ〜６６ｄが検出した吸着圧力の過渡データＤに基づいて、吸着パッド７６の摩耗を判断する判断部８６を有する制御装置３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドなどの機能部品に対する真空源の構成や配管の取り回しを簡素化することのできる真空源ユニットを提供する。
【解決手段】空気を噴出させる噴気部８が先端部に形成されるとともに後端部に供給ポート１１が形成されたノズル体４と、噴気部８の外周側に所定の隙間を空けた状態でノズル体４と一体化され、その噴気部８の外周側から先端側に至る箇所にディフューザ部が形成されたスリーブ体５と、負圧が生じる部分からスリーブ体５の外周面に延びてその外周面に開口するようにスリーブ体５に形成された第一連通孔１８と、スリーブ体５を気密状態に挿入する取付孔２１が貫通して形成された本体部３と、その本体部３の外表面部に形成された複数の接続用ポート２２と、それらの接続用ポート２２と取付孔２１に挿入されているスリーブ体５における第一連通孔１８とを繋ぐ第二連通孔２２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】吸着状態の誤判断を防ぐことができる吸着装置、当該吸着装置を備えた気相成長装置、および吸着方法を提供すること。
【解決手段】本発明では、吸着部１６を構成する各吸着パッド（図示せず）には、流量センサ６６が接続されており、個々の流量センサ６６は、各吸着パッドとポンプ８２との間の空気の流量を測定する。また、全体用流量センサ６２は、吸着部１６とポンプ８２との間の空気の流量を測定する。制御部５４では、個々の流量センサ６６および全体用流量センサ６２の測定値に応じて、流量センサ６６の測定値の閾値を変更する。変更した閾値に基づいて、吸着部１６の吸着状態の判定を再度行うことによって、実際には基板トレイ３２を吸着しているにも拘らず、基板トレイ３２を吸着していないと誤判断されてしまうのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハのデバイスが形成された面または形成される面に吸着痕や損傷を生じさせることなくウェハを搬送することができるウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法を提供すること。
【解決手段】搬送ハンド３０の内部には、段差部２４に設けられた吸着孔３２と、複数の通気用の孔３１，３３とが設けられている。段差部２４は、リブウェハ１０のデバイス面２と重ならない位置に設けられている。第１通気用の孔３１は、吸着孔３２に接続されている。各第１通気用の孔３１同士は互いに独立している。各第１通気用の孔３１には、異なる第２通気用の孔３３が接続されている。各第２通気用の孔３３は、それぞれ異なる配管２５を介して真空発生源２６に連結されている。つまり、複数の吸着孔３２に対する真空系統が互いに独立して設けられている。リブウェハ１０の吸着状態は、搬送ハンド３０の内部に流れる空気の流速に基づいて判定される。 （もっと読む）

【課題】幅広い範囲の流量領域において、高い精度で判定を行う。
【解決手段】発熱素子および発熱素子の両側に設けられる一対の温度検出素子を有する流量センサの出力を用いて空気の流量を算出する流量算出部１３１と、流量センサの出力を増幅することで、空気の流量に対する出力電圧の変化の度合いを拡大させる増幅部１３２と、増幅部１３２による増幅率を変更する増幅率変更回路と、増幅部１３２の基準電圧をシフトすることで、空気の流量に対する出力電圧により表される出力特性をシフトさせる出力シフト回路と、増幅率変更回路をオン／オフする第１のスイッチと、出力シフト回路をオン／オフする第２のスイッチと、外部からの信号に応じて第１のスイッチおよび第２のスイッチのオン／オフをそれぞれ制御するスイッチ制御部１３３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】発生させる負圧を安定化することができる真空圧制御装置及び真空圧制御方法を提供する。
【解決手段】気体供給源８から供給される気体流量を制御することにより気体が供給される負圧発生装置に発生させる負圧を安定化する真空圧制御装置及び制御方法であって、負圧発生装置で発生された負圧の圧力を圧力センサ１０により検出し、検出された圧力値Ｐと、予め記憶されている目標負圧Ｐ_０とが異なる場合に、予め定められた負圧と気体流量との関係式とに基づき、目標気体流量Ｆ_０を第１の制御装置１３で求め、第２の制御装置１４が、目標気体流量Ｆ_０に基づいて流量コントローラ９による流量を目標気体流量Ｆ_０とし、かつ負圧発生装置２に現に供給されている気体流量を流量センサ１１で検出し、第２の制御装置１４において、検出された気体流量Ｆと目標気体流量Ｆ_０とを比較し、気体流量Ｆが気体流量Ｆ_０となるように流量コントローラ９の流量を設定する、真空圧制御装置及び真空圧制御方法。 （もっと読む）

【課題】被搬送物Ｗがロボットハンド９から落下することを回避して、被搬送物Ｗの搬送作業の煩雑化を十分に抑えること。
【解決手段】ハンド本体１１に設けられかつ真空圧を利用して被搬送物を吸着する複数のベローズ型吸着パッド１９と、吸着状態における各ベローズ型吸着パッド１９の軸長を測定する軸長センサ２９と、各軸長センサ２９から測定された各ベローズ型吸着パット１９の軸長に基づいて、搬送中における被搬送物Ｗの姿勢を判定するコントローラ３１と、を備えたこと。 （もっと読む）

【課題】合紙とガラス基板等の板状体を交互に積層してなる積層体を開梱する場合において、周辺環境による合紙折れ曲がり面の状態変化によっても、合紙の吸着不良を発生させずに、合紙除去可能な合紙除去装置を提供する。
【解決手段】合紙と基板が交互に積載され、前記合紙がガラス基板よりも大きく、少なくとも1辺に前記合紙吸着部を有した積層体から、前記合紙と前記基板を１枚ずつ交互に取り出す開梱装置を構成する、前記積層体から前記合紙を複数の吸着パットで真空吸着して取り出す合紙取出ロボットを有する合紙除去装置において、前記合紙の吸着面に対して基板に向かって縦に、少なくとも２個以上の吸着パットを複数列備える合紙取出ロボットを有する。また、複数の前記吸着パットが、個々の真空配管に電磁弁と圧力計とを有しており、予め定められた吸着圧に達しない前記吸着パットの個々の真空引きを停止する機能を有する。 （もっと読む）

【課題】アンパッカー装置による素ガラス投入において、合紙が外れることを防いで動作異常のないアンパッカー装置を提供する。
【解決手段】素ガラス基板と合紙が交互に積み重ねられたデンスパックから素ガラス基板を取り出すアンパッカー装置であって、素ガラス基板を真空吸着する素ガラス基板吸着手段と、合紙を真空吸着する合紙吸着手段と、ガラス基板吸着手段を駆動する駆動手段Ａと、合紙吸着手段を駆動する駆動手段Ｂと、駆動手段Ａと駆動手段Ｂを制御する制御手段と、を備え、更に、合紙吸着手段には、ミストを噴射するミスト噴射ノズルと、合紙を押し当てる加熱された金属バーと、を備えたことを特徴とするアンパッカー装置。 （もっと読む）

【課題】ロボットに基づいたサブストレートの大量移送のための改良技術を提供する。
【解決手段】サブストレート取扱いロボット２０は第一アーム２２と第二アーム２６が接続されているアーム駆動機構３４を含む。複数サブストレート・バッチローダー２４が第一アーム２２に接続され、単一面エンド・エフェクタ２８が第二アーム２６に接続されている。複数サブストレート・バッチローダー２４は保持するサブストレート数を示す真空信号を生じる。真空信号インタープリータがサブストレート装荷数に応じて、第一アーム２２の運動を代える。第二アーム２６に接続されている対象物センサー５８は、複数サブストレート・バッチローダー２４に隣接するカセットの中のサブストレート数を査定する。サブストレート装荷順コントローラが、カセットの中のサブストレート数に応じて、アームの運動を制御し、複数サブストレート・バッチローダー２４の完全装荷を促進する。 （もっと読む）

【課題】真空手段の作動及び停止を行なうための圧力設定を成形品毎に行なうことなく、簡単な制御で真空手段によるエネルギー消費量を軽減するとともに、成形品の落下を防止する真空吸着装置を提供する。
【解決手段】吸着部材に真空圧を作用させる真空手段と、真空手段と吸着部材との連通又は連通の遮断を行なう圧力保持弁と、配管を介して吸着部材内の圧力を検出する圧力検出器と、真空手段及び圧力保持弁の作動を制御する制御手段とを備える。制御手段は、圧力保持弁を開き、真空手段を作動させて、吸着部材によりワークを吸着しているときに、圧力検出器で検出した圧力が所定時間一定となった場合には、圧力保持弁を閉じ、真空手段の作動を停止させ、その後、圧力検出器で検出した圧力が一定幅低下した場合には、圧力保持弁を開き、真空手段を作動させる制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドに生じた摩耗や位置ずれを自動的に検知する吸着装置を提供する。
【解決手段】吸着パッド１０の基準位置Ｌ_０における吸着力Ｆ１を吸着センサ３０が測定し、測定された吸着力Ｆ１が閾値ＴＨより小さいと判定部４２が判定した場合には、駆動部２０が吸着パッド１０を昇降方向または交差方向に所定の変位量を変位させ、変位した位置（変位位置Ｌ_Ｄ）における吸着パッド１０の吸着力Ｆ２を吸着センサ３０が測定するとともに、吸着力Ｆ２が閾値ＴＨより大きいと判定部４２が判定した場合の変位量ΔＬを取得する機能を有する制御部４０を備える吸着装置１００。 （もっと読む）

【課題】小型で騒音の小さい吸着装置を提供する。
【解決手段】モータ２００と、モータ２００に入力端が連結されたクランク機構３００と、シリンダ４００と、吸気室５０５に通じる吸気路５０４が形成されており、吸気路５０４の端部に、吸気室５０５内の負圧が作用すると開放され、正圧が作用すると閉鎖される吸気用チェック弁５０２を有するシリンダヘッド５００と、クランク機構３００の出力端に連結されてシリンダ４００内を上下動するピストン６０３によってシリンダヘッド５００の吸気室５０５内の圧力を変化させる構成とされており、ピストン６０３に形成された排気路６１３の端部に、吸気室５０５内の負圧が作用すると閉鎖され、正圧が作用すると開放される排気用チェック弁６０２を有するダイヤフラムポンプ６００と、シリンダヘッド５００に設けられたバキュームパット７００と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】爆発性雰囲気の生成が予測される火気使用禁止区域内においても使用可能な真空検知スイッチを提供する。
【解決手段】検知対象空間となる各真空吸着パッド６の真空吸引空間１０ａに連通する真空検知室１８と大気開放する大気圧室１９との圧力差に応じて摺動変位するピストン１５により、圧縮空気導入ポート２６と圧縮空気出力ポート２８との間の空気通路を開閉する弁体２５を開閉操作する。圧縮空気導入ポート２６には空気圧力源８から圧縮空気が供給され、真空吸引空間１０ａが真空になったときに圧縮空気出力ポート２８から検知信号として圧縮空気を出力する。 （もっと読む）

【課題】個々の吸着パッドに取り付けられる小型軽量の電動エアーポンプによって吸着パッドの真空吸引を行い得るとともに、該電動エアーポンプによって真空破壊用の圧搾エアーを生成し得るワーク吸着移送システムの給排気制御装置を提供する。
【解決手段】電動エアーポンプ１の吸気口２と該吸気口２に接続される吸着パッド２３との間に配設した第一電磁弁２２を、吸着パッド２３内の真空度が所定真空度未満の場合には吸着パッド２３内のエアーを吸引する内気吸引状態に切り換え、吸着パッド２３内の真空度が所定真空度に達した場合には外気を吸引する外気吸引状態に切り換えられるようにして、電動エアーポンプ１の吸気口２からエアーを吸引し、排気口３から吐出されるエアーをエアー貯留槽２８に貯留するようにした。これにより、電動エアーポンプ１によって吸着パッド２３の真空吸引を行い得るとともに、該電動エアーポンプ１によって真空破壊用の圧搾エアーが生成できる。 （もっと読む）

【課題】自動分析装置のような高速処理が求められる装置に使用される吸着ヘッドを駆動方法において、吸着の成功率を高めることを目的とする。
【解決手段】負圧により反応容器３１を吸着する容器ピックアップ装置２１の駆動方法であって、反応容器３１に対する吸引力を発生し得ると推定される吸引推定領域に設定された予備位置に容器ピックアップ装置２１を配置した状態で、容器ピックアップ装置２１に負圧を加える第１のステップと、該第１のステップにおいて容器ピックアップ装置２１により反応容器３１を吸着できなかった場合には、容器ピックアップ装置２１に負圧を加えた状態で、前記吸引推定領域において容器ピックアップ装置２１を移動させる第２のステップと、を有することを特徴とする容器ピックアップ装置２１の駆動方法。 （もっと読む）

【課題】 弾性係数の小さいワークでも、ワークに対して僅かな芯振れを生じても確実に吸着保持し、耐久性の向上により高い信頼性が得られ、かつ歩留まりの悪化による生産効率の低下を回避できるワークの取出しヘッドを提供する。
【解決手段】 成形機（生産装置）１１の金型装置（生産ヘッド部）１２で保持したワーク４を吸着保持して取り出すワークの取出しヘッド１は、ワーク４の押圧時に被押圧部を弾性変形させ被押圧部の弾性復元力により密着して、該ワーク４と取出しヘッド１との間に気密な負圧発生空間１３の形成を可能とする取出しヘッド１から突出する箇所２０がある押圧部２と、負圧発生空間１３に対応する吸気通路３を備え、負圧検出器１８で検出した吸気通路３の負圧が負圧設定器１７で設定した負圧よりも小さい場合に不良ワーク４が吸着保持されていると判断して警報装置２３に作動信号を出力する比較・判断回路２２を有する。 （もっと読む）

【課題】基板にかかる応力を抑制しつつ確実に吸着保持できるようにする。
【解決手段】外観検査装置１は、基板吸着装置として板金１５に固定された３つの吸着部群１６Ａ〜１６Ｃを備える。吸着部群１６Ａ〜１６Ｃはガラス基板Ｗの搬送方向に並んで配置されており、各々が３つの吸着部１８Ａ〜１８Ｃを備える。吸着部１８Ａ〜１８Ｃは、ガラス基板Ｗの裏面に吸着可能で、首振り動作が可能な吸着パッド２２が１つずつ設けられている。最も中央にある吸着部群１６Ｂの吸着部１８Ｂは、上方に押し付け部３３が配置されている。押し付け部３３は補助パッド３５を降下させてガラス基板Ｗを吸着部１８Ｂに押し付ける。 （もっと読む）

【課題】 真空吸着パッドにおける前記の課題を解決し、コンクリート、モルタル、タイルの凹凸の著しい外壁素材にも高真空で吸着でき、例えば、簡素構造の小型軽量、低コスト、高耐久の、壁面走行安定化装置にも利用可能な真空吸着パッドを提供することを目的とする。
【解決手段】 パッド基板３３と、その周囲に沿ってパッド基板に固定したシール部材３５と、上記基内に設け、真空源に接続するための真空引き孔３７とを備え、これらパッド基板３３とシール部材３５とで囲まれるパッド内を真空に維持して被吸着面に吸着させる真空吸着パッドＰ１において、上記シール部材３５は、高分子ゲルで形成されるとともに、被吸着面側先端３５ａに向かって先細りとし、断面形状において、上記先端３５ａの角度が鋭角であり、かつ、この先端を、パッド基板に固定したシール部材固定部の幅方向中心よりも外側に位置させた。 （もっと読む）