【課題】搬送物の状態に応じて使い分けることができるエンドエフェクタを、簡単な構造によって達成すること。
【解決手段】本発明のエンドエフェクタにおいて、アームの先端部に装着されるハンド基部と、ハンド基部に回転可能に設けられた複数の基板保持部材と、複数の基板保持部材を各回転軸線周りに回転させる回転駆動手段と、を備える。複数の基板保持部材のそれぞれは、回転軸線に沿って延在する細長部材を有し、回転軸線周りに細長部材を回転させることによって、細長部材の側面全体のうちの基板を保持する部分が変わるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ワークの搬送効率をより向上することができるチャック装置を提供すること。
【解決手段】チャック装置１は、チャック部１０〜５０を備える。チャック部１０は、３つのチャック１１を支持する支持板１２が連結部材１３によりギア１４と連結されてなる。支持板１２は、側板６２にＹ方向に沿って上下に移動自在に支持されている。駆動側のギア８２の回転によりギア８７が回転すると、クランク機構である連結部材１３により回転運動が直線運動に変換され、支持板１２が上下に往復運動し、チャック１１も上下に往復移動する。チャック部２０〜５０も同様である。チャック装置１は、隣り合うチャック部同士の往復方向における位置にずれが生じるように構成されている。例えば、チャック部２０が前進すれば隣のチャック部１０が後退する動作を行う。これにより隣り合うチャック部の間隔を広げなくてもチャックの数を増加してワークの搬送効率を向上できる。 （もっと読む）

【課題】製造コストが安く、常に正常な位置決め状態に取り付ける。
【解決手段】一方の抱持腕部９ｂには、締め付け部９の中空中心部Ｐへ指向し且つ途中部が取付ねじ挿通用孔部１１と交差する位置決めねじ螺合用雌ねじ部１３を有する。位置決めねじ１３を位置決めねじ螺合用雌ねじ部１４にねじ込んで該位置決めねじ１３先端を直動軸５の平坦面５ａに押圧することで位置決めをし、取付ねじ１０で、フランジ６を直動軸５に取り付ける。位置決めねじ１３の長さを、該位置決めねじ１３の先端が平坦面５ａを押圧したときに該位置決めねじ１３の基端が取付ねじ挿通用孔部１１内に突出せず、且つ先端が平坦面５ａ以外の外面を押圧したときに基端が取付ねじ挿通孔部１１内に突出する長さに設定している。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板の一括搬送および１枚の基板の枚葉搬送の切換えに要する時間を短縮することができ、構成も簡略化できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】搬出入機構４は、複数枚の基板Ｗを積層状態で一括して保持するバッチハンド４０と、このバッチハンド４０を進退させるバッチハンド進退機構と、１枚の基板Ｗを保持する枚葉ハンド３９と、この枚葉ハンド３９を進退させる枚葉ハンド進退機構と、バッチハンド進退機構および枚葉ハンド進退機構を保持する保持ベース４１と、保持ベース４１を上下動させる昇降ブロック４３と、前記保持ベース４１を鉛直方向に沿う旋回ブロック４２とを含む。 （もっと読む）

【課題】一のロボット加工機で穴加工と搬送の両方を行えるようにする。
【解決手段】複数の関節からなるロボットアーム１２を備え、穴加工を行うロボット加工機１０であって、ワークの搬送を行うハンドユニット１６と、主軸１８ａによって穴加工を行う加工ユニット１８と、ハンドユニット１６と加工ユニット１８とを交換して保持するユニット交換機構１４と、ユニット交換機構１４によってハンドユニット１６から加工ユニット１８に交換し、穴加工を行うように制御する制御装置Ｃとを有する。ロボットアーム１２は可搬重量が制限されているが、ユニット交換機構１４によってユニットを交換できるので、非同時であるものの穴加工と搬送の両方を行える。 （もっと読む）

【課題】無駄な機能を購入することなくネットワークを用いた簡単なシステムで多様な作業を行うことができる機能可変型ロボットシステムを提供する。
【解決手段】車輪を駆動して移動する自律移動型ロボット１０と、当該自律移動型ロボット１０に着脱自在に取り付けられ、所定の機能を実行する複数の機能モジュール２０と、自律移動型ロボット１０の移動を制御するパーソナルコンピュータと、複数の機能モジュール２０の制御プログラムを格納しているデータベースと、複数の機能モジュール２０の各々に付加され、当該機能モジュール２０固有の情報を格納している記憶手段２４と、自律移動型ロボット１０に搭載され、記憶手段２４に記憶されている当該固有情報を読み取り、当該機能モジュールを識別する識別手段１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】吸着ノズルを保持するノズルヘッドのヘッド保持部材に対する着脱が容易な電子部品保持装置，電子部品装着システム，電子部品装着方法を提供する。
【解決手段】ヘッド保持部材５２の吸着面１３０をリボルバヘッド５６の被吸着面２００に密着させてヘッド吸着用負圧室２０４を形成し、リボルバヘッド５６を負圧により吸着し、回転，昇降させる。リボルバヘッド５６は１２個ずつの吸着ノズル２１２，バルブ装置２６４を備え、ヘッド保持部材５２の昇降に連動してレバー駆動部材５１０を回動レバー２２４，第一，第二バルブスプール２８０，３１０に係合させて吸着ノズル２１２を機械的に昇降させ、バルブ装置２６４を負圧供給状態と正圧供給状態とに機械的に切り換えさせ、吸着ノズル２１２に電子部品を吸着，装着させる。 （もっと読む）